一種硅片清洗筐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造屬于硅材料加工領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片清洗筐。
【背景技術(shù)】
[0002]面對(duì)當(dāng)前競(jìng)爭(zhēng)越來越激烈的半導(dǎo)體材料市場(chǎng)，提高硅片產(chǎn)品的自身品質(zhì)是提高產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的有效途徑之一，而硅片表面的清洗效果為考察硅片表面質(zhì)量的一項(xiàng)重要參數(shù)。
[0003]原始的超聲波清洗機(jī)使用的清洗筐，僅為裝載標(biāo)準(zhǔn)片籃的載體，起到帶動(dòng)片籃隨著清洗機(jī)的機(jī)械手在超聲波清洗機(jī)的各槽內(nèi)轉(zhuǎn)移及隨著拋動(dòng)臂在清洗槽內(nèi)進(jìn)行拋動(dòng)。硅片在片籃內(nèi)處于相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，由于超聲波被片籃阻擋或洗手、清洗液在狹小的空間內(nèi)無法自由流動(dòng)，導(dǎo)致硅片與片籃接觸的位置存在片籃印，影響硅片表面的清洗效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明創(chuàng)造要解決的問題是提供一種能夠有效改善清洗效果的硅片清洗籃。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是:一種硅片清洗筐，包括清洗筐和片籃，所述片籃置于清洗筐底部，所述片籃內(nèi)排放有硅片，還包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸承、齒輪、齒條和重力傳動(dòng)墜，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸承和齒輪由內(nèi)向外依次套裝，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定在清洗筐內(nèi)片籃所在位置的底部，所述齒條與齒輪嚙合，所述齒條下端與重力傳動(dòng)墜連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與排放在片籃內(nèi)的硅片相接觸。
[0006]優(yōu)選地，所述軸承為單向軸承。
[0007]本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:能夠使硅片各個(gè)位置都均勻接收超聲作用，防止出現(xiàn)清洗死角或片籃印，有效改善硅片表面的清洗效果，提高硅片表面質(zhì)量，進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
【附圖說明】
[0008]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2是本發(fā)明創(chuàng)造在清洗筐向上拋動(dòng)時(shí)的工作原理示意圖；
[0010]圖3是本發(fā)明創(chuàng)造在清洗筐向下拋動(dòng)時(shí)的工作原理示意圖；
[0011]圖中:1-清洗筐，2-片籃，3-娃片，4-轉(zhuǎn)動(dòng)軸，5-軸承，6-齒輪，7-齒條，8-動(dòng)力傳動(dòng)墜。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的具體實(shí)施例做詳細(xì)說明。
[0013]一種硅片清洗筐，包括清洗筐I和片籃2，所述片籃2置于清洗筐I底部，所述片籃2內(nèi)排放有硅片3，還包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸4、軸承5、齒輪6、齒條7和重力傳動(dòng)墜8，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸4、軸承5和齒輪6由內(nèi)向外依次套裝，其中所述軸承5為單向軸承，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸4固定在清洗筐I內(nèi)片籃2所在位置的底部，所述齒條7與齒輪6嚙合，所述齒條7下端與重力傳動(dòng)墜8連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸4與排放在片籃2內(nèi)的硅片3相接觸。
[0014]原硅片清洗筐的工作原理如下:清洗筐I在設(shè)備內(nèi)上下移動(dòng)，帶動(dòng)片籃2作拋動(dòng)動(dòng)作，同時(shí)硅片3也隨之作拋動(dòng)動(dòng)作。硅片3在片籃2內(nèi)處于靜止?fàn)顟B(tài)，由于超聲波被片籃2阻擋或吸收，清洗液在狹小的空間內(nèi)無法自由流動(dòng)，導(dǎo)致硅片3與片籃2接觸的位置存在片籃印。
[0015]本發(fā)明創(chuàng)造的工作原理如下:
[0016]清洗筐I向上拋動(dòng)時(shí)，重力傳動(dòng)墜8帶動(dòng)齒條7相對(duì)清洗筐I向下運(yùn)動(dòng)，齒條7帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的齒輪6轉(zhuǎn)動(dòng)，但由于軸承5為單向軸承，所以此時(shí)與硅片3接觸的轉(zhuǎn)動(dòng)軸4不轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0017]清洗筐I向下拋動(dòng)時(shí)，重力傳動(dòng)墜8帶動(dòng)齒條7運(yùn)動(dòng)但受到清洗槽底部阻擋，相對(duì)清洗筐I向上運(yùn)動(dòng)，齒條7帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的齒輪6轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)與硅片3接觸的轉(zhuǎn)動(dòng)軸4隨齒輪6 —起轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)片籃2內(nèi)硅片3旋轉(zhuǎn)。
[0018]清洗筐I循環(huán)上下拋動(dòng)運(yùn)動(dòng)，硅片3在片籃2內(nèi)進(jìn)行單向旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)硅片3的各個(gè)位置都可以均勻接受超聲作用，有效防止出現(xiàn)清洗死角。
[0019]以上對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明創(chuàng)造的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片清洗筐，包括清洗筐和片籃，所述片籃置于清洗筐底部，所述片籃內(nèi)排放有硅片，其特征在于:還包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸承、齒輪、齒條和重力傳動(dòng)墜，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸承和齒輪由內(nèi)向外依次套裝，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定在清洗筐內(nèi)片籃所在位置的底部，所述齒條與齒輪嚙合，所述齒條下端與重力傳動(dòng)墜連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與排放在片籃內(nèi)的硅片相接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗筐，其特征在于:所述軸承為單向軸承。
【專利摘要】本發(fā)明創(chuàng)造提供一種硅片清洗筐，包括清洗筐、片籃、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸承、齒輪、齒條和重力傳動(dòng)墜，所述片籃置于清洗筐底部，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸承和齒輪由內(nèi)向外依次套裝，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定在清洗筐內(nèi)片籃所在位置的底部，所述齒條與齒輪嚙合，所述齒條下端與重力傳動(dòng)墜連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與排放在片籃內(nèi)的硅片相接觸。本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：能夠使硅片各個(gè)位置都均勻接收超聲作用，防止出現(xiàn)清洗死角或片籃印，有效改善硅片表面的清洗效果，提高硅片表面質(zhì)量，進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
【IPC分類】B08B13-00, B08B3-12
【公開號(hào)】CN104826850
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510307101
【發(fā)明人】邢玉軍, 蘇榮義, 趙勇, 孫紅永, 張全紅
【申請(qǐng)人】天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請(qǐng)日】2015年6月4日