一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，涉及硅片制作工藝中的一種工具，具體涉及一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，大約有20%的工序與硅片清洗有關(guān)。硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴重的污染，清洗的目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染。
[0003]目前硅片清洗主要是以化學(xué)清洗為主，化學(xué)清洗是指利用各種化學(xué)試劑和有機溶劑與吸附在被清洗物體表面上的雜質(zhì)及油污發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或溶解作用，或伴以超聲、加熱、抽真空等物理措施，使雜質(zhì)從被清除物體的表面脫附，然后用大量高純熱、冷去離子水沖洗，從而獲得潔凈表面的過程?；瘜W(xué)清洗又可以分為濕法化學(xué)清洗和干法化學(xué)清洗，其中濕法化學(xué)清洗技術(shù)在硅片表面清洗中仍處于主導(dǎo)地位。
[0004]當清洗液和硅片接觸時，在硅片表面存在著一層非常薄的水膜，由于分子間引力的作用，這一層水膜相對于硅片是靜止不動的，也被稱為邊界層。邊界層的存在，對于硅片的清洗效果有著非常重要的影響。對于那些直徑小于邊界層厚度的顆粒，只能依靠顆粒自身慢慢地擴散通過邊界層，進入水流中，然后被水流帶離硅片表面，這些顆粒很難在清洗過程中被去除。邊界層厚度取決于液體的粘度，液體和硅片表面的相對速度等。減小邊界層厚度已經(jīng)成為提高清洗效率的一個重要挑戰(zhàn)。
[0005]在濕法化學(xué)清洗中，需要采用清洗花籃來盛放硅片，再將清洗花籃放入清洗液中?，F(xiàn)有的清洗花籃放入到清洗液后都是固定不動的，為了能夠減小邊界層的厚度只能夠加快水流速度，就需要不斷提高設(shè)備功率，造成了電量的大量損耗。
[0006]另外，現(xiàn)有的清洗花籃為插槽型結(jié)構(gòu)，即清洗花籃均勻開設(shè)多個插槽，每個插槽內(nèi)插入一個硅片，由于各個插槽間水平高度一致且相鄰插槽間距離短，所以在插入及取出硅片的過程中就會帶來不便，很容易出現(xiàn)硅片碎裂的情況。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]根據(jù)以上現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃，通過對花籃整體的結(jié)構(gòu)布局做重新規(guī)劃設(shè)計，通過外置的電機驅(qū)動能夠使其旋轉(zhuǎn)，以增加液體和硅片表面的相對速度，減少邊界層厚度，并且具有便于取放硅片的特點，降低破損率。
[0008]本實用新型所述的一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃，其特征在于：包括框架和框架兩側(cè)的支座，所述的框架為上下貫通的四邊形結(jié)構(gòu)，框架的兩個長邊為中間高兩邊低的倒V型結(jié)構(gòu)，兩個長邊內(nèi)壁對稱開設(shè)有若干組插槽，框架的短邊外壁固定連接轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸與相鄰的支座相貫通，且轉(zhuǎn)軸位于支座外側(cè)一端設(shè)置有插銷；位于其中一個支座和框架之間的轉(zhuǎn)軸上固定連接有旋轉(zhuǎn)齒輪，旋轉(zhuǎn)齒輪通過鏈條與外置的電機相連。
[0009]其中，優(yōu)選方案如下：
[0010]所述的框架采用特氟綸材料制作。特氟綸材料耐腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性好、使用壽命長，且價格低廉。
[0011 ] 所述的插槽設(shè)有25組。25組的設(shè)計方案符合目前常規(guī)的設(shè)計要求，與目前的硅片清洗花籃組數(shù)相同。
[0012]本實用新型中，旋轉(zhuǎn)齒輪通過鏈條與外置的電機相連，在電機的驅(qū)動下帶動轉(zhuǎn)軸使框架旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)相對支座的旋轉(zhuǎn)運動。
[0013]本實用新型所具有的有益效果是：（I)盛放硅片的框架可以借助電機驅(qū)動做旋轉(zhuǎn)運動，增加液體和硅片表面的相對速度，有效減少邊界層厚度，使得硅片清洗能夠更加干凈；（2)采用特氟綸材料制作，價格低廉，便于市場化推廣；(3)框架采用中間高兩邊低的倒V型結(jié)構(gòu)，使得相鄰的兩個插槽之間具有高度差，就可以利用這一高度差便于取放硅片，不至于碰觸到相鄰的硅片，以減少硅片破損現(xiàn)象的發(fā)生。
【附圖說明】
[0014]圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖中：1、框架2、插槽3、支座4、轉(zhuǎn)軸5、插銷6、旋轉(zhuǎn)齒輪。
【具體實施方式】
[0016]以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步描述。
[0017]實施例I :
[0018]如圖I所示，一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃，包括框架I和框架I兩側(cè)的支座3，所述的框架I為上下貫通的四邊形結(jié)構(gòu)，框架的兩個長邊為中間高兩邊低的倒V型結(jié)構(gòu)，兩個長邊內(nèi)壁對稱開設(shè)有若干組插槽2，框架I的短邊外壁固定連接轉(zhuǎn)軸4，轉(zhuǎn)軸4與相鄰的支座3相貫通，且轉(zhuǎn)軸4位于支座3外側(cè)一端設(shè)置有插銷5 ;位于其中一個支座3和框架I之間的轉(zhuǎn)軸4上固定連接有旋轉(zhuǎn)齒輪6，旋轉(zhuǎn)齒輪6通過鏈條與外置的電機相連。
[0019]所述的框架I采用特氟綸材料制作。特氟綸材料耐腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性好、使用壽命長，且價格低廉。
[0020]所述的插槽2設(shè)有25組。25組的設(shè)計方案符合目前常規(guī)的設(shè)計要求，與目前的硅片清洗花籃組數(shù)相同。
[0021]本實用新型中，旋轉(zhuǎn)齒輪6通過鏈條與外置的電機相連，在電機的驅(qū)動下帶動轉(zhuǎn)軸4使框架I旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)相對支座3的旋轉(zhuǎn)運動。
【主權(quán)項】
1.一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃，其特征在于：包括框架和框架兩側(cè)的支座，所述的框架為上下貫通的四邊形結(jié)構(gòu)，框架的兩個長邊為中間高兩邊低的倒V型結(jié)構(gòu)，兩個長邊內(nèi)壁對稱開設(shè)有若干組插槽，框架的短邊外壁固定連接轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸與相鄰的支座相貫通，且轉(zhuǎn)軸位于支座外側(cè)一端設(shè)置有插銷；位于其中一個支座和框架之間的轉(zhuǎn)軸上固定連接有旋轉(zhuǎn)齒輪，旋轉(zhuǎn)齒輪通過鏈條與外置的電機相連。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃，其特征在于：所述的框架采用特氟綸材料制作。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃，其特征在于：所述的插槽設(shè)有25組。
【專利摘要】本實用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，涉及硅片制作工藝中的一種工具，具體涉及一種旋轉(zhuǎn)式硅片清洗花籃，包括框架和框架兩側(cè)的支座，所述的框架為上下貫通的四邊形結(jié)構(gòu)，框架的兩個長邊為中間高兩邊低的倒V型結(jié)構(gòu)，兩個長邊內(nèi)壁對稱開設(shè)有若干組插槽，框架的短邊外壁固定連接轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸與相鄰的支座相貫通，且轉(zhuǎn)軸位于支座外側(cè)一端設(shè)置有插銷；位于其中一個支座和框架之間的轉(zhuǎn)軸上固定連接有旋轉(zhuǎn)齒輪，旋轉(zhuǎn)齒輪通過鏈條與外置的電機相連。本實用新型通過對花籃整體的結(jié)構(gòu)布局做重新規(guī)劃設(shè)計，通過外置的電機驅(qū)動能夠使其旋轉(zhuǎn)，以增加液體和硅片表面的相對速度，減少邊界層厚度，并且具有便于取放硅片的特點，降低破損率。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN205159294
【申請?zhí)枴緾N201520820086
【發(fā)明人】徐海濤
【申請人】青島金匯源電子有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年10月21日