硅片花籃夾持裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種夾持裝置，具體的說是硅片花籃夾持裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著近年來半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)硅片的要求越來越高，尤其是對(duì)于6英寸及以上硅片的清洗工藝提出了更高的要求，且目前業(yè)內(nèi)清洗硅片的方法大多是針對(duì)6英寸以下硅片的。硅晶圓的生產(chǎn)過程中從硅單晶棒開始，一般主要包括切片、倒角、背處理、拋光、清洗到最終取得完美鏡面的拋光片結(jié)束，完美鏡面的拋光片對(duì)硅片表面形貌及顆粒度都有非常高的要求。拋光后的硅片表面附著大量顆粒，需要使用化學(xué)試劑清洗去除掉表面的顆粒物。
[0003]現(xiàn)有的硅片清洗工藝一般包括化學(xué)清洗、甩干等步驟，在化學(xué)清洗工藝這個(gè)步驟主要包括SC-1、SC-2、DHF清洗工藝。SC-1主要是氨水雙氧水混合液，SC-2是鹽酸雙氧水混合液，DHF是氫氟酸雙氧水混合液，這幾種酸都是危險(xiǎn)化學(xué)藥品，硅片在清洗過程中需要不斷的更換清洗槽，由于硅片需要全部浸入化學(xué)液中，操作過程中化學(xué)液會(huì)濺到人體皮膚上，極度危害人體健康，容易出現(xiàn)安全事故。
[0004]業(yè)界目前使用的清洗裝置結(jié)構(gòu)如專利CN201320067211.8，工作原理是用手壓手持裝置，兩邊卡口會(huì)張大，花籃夾持裝置卡住花籃兩邊后松開即可，一旦開始清洗，整個(gè)花籃重心全部在卡口處，轉(zhuǎn)移過程中極易脫落進(jìn)化學(xué)槽，還會(huì)使得化學(xué)液濺出，容易出現(xiàn)安全事故，而且在甩干前的卸下夾具時(shí)，需要手從上面再次壓下，使得卡口與花籃分離，這樣的正上方操作極易對(duì)顆粒要求非常高的硅片造成二次人為沾污，影響了產(chǎn)品良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型旨在克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種硅片花籃夾持裝置，使操作人員不與藥液直接接觸，保證了操作人員的人身安全。
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0007]一種硅片花籃夾持裝置，其特征在于:它包括底座、兩個(gè)連接臂和兩個(gè)手柄，所述底座為由橫桿和豎桿組成的矩形框架，所述橫桿上部設(shè)有定位凹槽，所述兩個(gè)連接臂分別豎直設(shè)于豎桿上部，所述兩個(gè)手柄分別橫向設(shè)于兩個(gè)連接臂的外側(cè)。
[0008]所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述手柄與連接臂之間垂直連接。
[0009]所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述定位凹槽的形狀為倒三角形、半圓形或矩形。
[0010]所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述定位凹槽的寬度為10mm-15mm，深度為 10mm-20mmo
[0011]所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述手柄長度為100mm-150mm，寬度為15mm-30mmo
[0012]所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述矩形框架的寬度為15mm-20mm，厚度為 10mm-20mmo
[0013]所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述連接臂的形狀為三角形、半圓形、矩形、鏤空三角形、鏤空半圓形或鏤空矩形。
[0014]所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述底座、連接臂和手柄均采用聚丙烯制成。
[0015]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)有便捷的花籃定位凹槽，便于花籃的快速放置與抽取，防止二次污染，簡化操作流程，提高工作效率；同時(shí)防止花籃在移動(dòng)過程中的晃動(dòng)，避免硅片的二次損傷。減少皮膚與化學(xué)液的直接接觸，有效防止安全事故的發(fā)生。
【附圖說明】
[0016]下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明:
[0017]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為圖1側(cè)視方向的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為圖1俯視方向的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]如圖1-圖3所示:一種硅片花籃夾持裝置，硅片花籃夾持裝置，它包括底座3、兩個(gè)連接臂2和兩個(gè)手柄1，所述底座為由橫桿31和豎桿32組成的矩形框架，所述橫桿上部設(shè)有定位凹槽4，所述兩個(gè)連接臂分別豎直設(shè)于豎桿上部，所述兩個(gè)手柄分別橫向設(shè)于兩個(gè)連接臂的外側(cè)；所述手柄與連接臂之間垂直連接；所述定位凹槽的形狀為倒三角形、半圓形或矩形，優(yōu)選為半圓形；所述定位凹槽的寬度為10mm-15mm，深度為10mm-20mm ;所述手柄長度為100mm-150mm，寬度為15mm-30mm ;所述矩形框架的寬度為15mm-20mm，厚度為10mm-20mm;所述連接臂的形狀為三角形、半圓形、矩形、鏤空三角形、鏤空半圓形或鏤空矩形，優(yōu)選三角形；所述底座、連接臂和手柄均采用聚丙烯制成。
[0021]將裝有硅片的花籃豎直插入底座中，通過定位凹槽固定花籃，通過本實(shí)用新型將花籃放置在化學(xué)液中，使用化學(xué)液對(duì)硅片進(jìn)行清洗；在清洗過程前，只需一人雙手握住手柄，平穩(wěn)的將花籃放入化學(xué)液槽中清洗，在清洗過程中手柄可以放置在清洗機(jī)機(jī)臺(tái)面板上，手柄暴露于空氣中，未浸泡入化學(xué)清洗液中，確保整個(gè)清洗裝置不被化學(xué)液浸沒，減少了人與化學(xué)液接觸幾率，在轉(zhuǎn)移過程中，定位凹槽可以固定住花籃，不讓其晃動(dòng)，降低了硅片表面在轉(zhuǎn)移過程中由于晃動(dòng)導(dǎo)致的二次沾污問題；在清洗結(jié)束后，只需抓住手柄將花籃移除清洗槽，再將花籃從本實(shí)用新型中直接豎直取出即可。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片花籃夾持裝置，其特征在于:它包括底座、兩個(gè)連接臂和兩個(gè)手柄，所述底座為由橫桿和豎桿組成的矩形框架，所述橫桿上部設(shè)有定位凹槽，所述兩個(gè)連接臂分別豎直設(shè)于豎桿上部，所述兩個(gè)手柄分別橫向設(shè)于兩個(gè)連接臂的外側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述手柄與連接臂之間垂直連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述定位凹槽的形狀為倒三角形、半圓形或矩形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述定位凹槽的寬度為10mm-15mm，深度為 10mm-20mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述手柄長度為100mm-1 50mm,寬度為 15mm-30mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述矩形框架的寬度為15mm-20mm，厚度為 10mm-20mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述連接臂的形狀為三角形、半圓形、矩形、鏤空三角形、鏤空半圓形或鏤空矩形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃夾持裝置，其特征在于:所述底座、連接臂和手柄均采用聚丙稀制成。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片花籃夾持裝置，它包括底座、兩個(gè)連接臂和兩個(gè)手柄，所述底座為由橫桿和豎桿組成的矩形框架，所述橫桿上部設(shè)有定位凹槽，所述兩個(gè)連接臂分別豎直設(shè)于豎桿上部，所述兩個(gè)手柄分別橫向設(shè)于兩個(gè)連接臂的外側(cè)。本實(shí)用新型不僅可以避免橡膠手套與藥液直接接觸，使操作人員不與藥液直接接觸，保證了操作人員的人身安全；且采用定位凹槽以及花籃邊緣整體受力的方案，提高花籃清洗、移動(dòng)過程的穩(wěn)定性，防止花籃掉落或晃動(dòng)造成的二次損傷。
【IPC分類】H01L21-673, H01L21-687
【公開號(hào)】CN204538002
【申請?zhí)枴緾N201520187272
【發(fā)明人】柏友榮, 陳杰, 肖型奎, 劉浦鋒, 宋洪偉, 陳猛
【申請人】上海超硅半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年3月31日