一種硅片開槽機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實用新型涉及半導體材料加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片開槽機。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導體晶片加工中，需在硅片表面由酸行開槽處理?，F(xiàn)有技術(shù)中，硅片開槽用開槽機的使用方法是:將待開槽硅片裝入花籃內(nèi)，花籃整個放入混合酸液中，待腐蝕時間達至|J，將花籃提出酸液。該機存在以下缺點:I)酸液在腐蝕硅片過程中，將釋放大量反應熱，該熱能不能及時散去，其結(jié)果是導致酸液溫度升高，而高溫酸液必將影響反應的正常進行;2)反應完成后，從酸液取出的花籃帶出大量酸液，該酸液不能得到很好處理，容易造成機臺的污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，提供一種硅片開槽機，該機通過花籃吊架將裝有硅片的花籃放入酸液槽內(nèi)，反應后先提升花籃后將花籃置于容納槽內(nèi)控液;本開槽機還設(shè)有對酸液進行降溫的降溫管，采用的技術(shù)方案是:一種硅片開槽機，包括機架，在所述機架上設(shè)有機臺，所述機臺的上方為控制部分，所述機臺上設(shè)有酸液槽，其特征在于:所述開槽機包括設(shè)置在所述酸液槽上方的花籃吊裝部件，所述花籃吊裝部件包括電機，所述電機的輸出軸連接偏心輪，所述偏心輪上固定有連接桿，所述連接桿的底部設(shè)有花籃吊架。
[0004]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述花籃吊架包括底板，所述底板的周邊固定有花籃吊件。
[0005]本實用新型的技術(shù)特征還有:固定在所述底板上的花籃吊件為四個。
[0006]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述酸液槽還連接降溫管，所述降溫管上設(shè)有控制閥。
[0007]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述降溫管為金屬管，所述金屬管表面上設(shè)有四氟乙如層。
[0008]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述機臺上、酸液槽的一側(cè)還設(shè)有容納槽。
[0009]本實用新型的技術(shù)特征還有:所述酸液槽上還設(shè)有液位計。
[0010]本實用新型的有益效果在于:本開槽機通過偏心輪升降花籃，且酸腐蝕后的花籃可靜置于酸液槽上方，使得酸液從花籃或者花籃內(nèi)的硅片上流出，以防止酸液對機臺造成污染;降溫管中通有氟利昂用于酸液的降溫，保證反應溫度的穩(wěn)定;液位計直觀顯示了酸液液位的高低;本開槽機具有操作便利、污染小、反應效果好之優(yōu)點。
【附圖說明】
[0011]附圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖，附圖2是本實用新型去掉透明罩板后結(jié)構(gòu)示意圖，附圖3是花籃吊架結(jié)構(gòu)示意圖，其中I是機架，2是機臺，3是酸液槽，4是花籃吊裝部件，41是電機的輸出軸，42是偏心輪，43是連接桿，44是花籃吊架，441是底板，442是花籃吊件，5是控制閥，6是降溫管，7是液位計，8是控制面板，9是透明罩板，10是容納槽。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖，對本實用新型的【具體實施方式】進行說明。本實用新型公開了一種硅片開槽機，將硅片放入開槽機上的酸液槽內(nèi)，腐蝕一定時間后，完成硅片的腐蝕開槽。該開槽機包括機架I，在機架I上設(shè)有機臺2，機臺2的上方為控制部分，該控制部分包括控制面板8，在控制面板8上有啟動按鈕、電流計等部件，機臺2上設(shè)有酸液槽3和容納槽10。
[0013]開槽機還包括設(shè)置在酸液槽3上方的花籃吊裝部件4，使用時，將裝有硅片的花籃掛在花籃吊裝部件4的花籃吊架44上，具體結(jié)構(gòu)是:花籃吊裝部件4包括電機(圖中未示出)，電機的輸出軸41連接偏心輪42，偏心輪42上固定有連接桿43，連接桿43的底部設(shè)有花籃吊架44。
[0014]本實施例中花籃吊架44包括底板441，底板441的周邊固定有花籃吊件442。本處固定在底板441上的花籃吊件442為四個，即可同時將四個花籃掛在花籃吊件上實現(xiàn)硅片的腐蝕。
[0015]酸液槽3還連接降溫管6，降溫管6中充有氟利昂，降溫管6上還設(shè)有控制閥5。本實施例中降溫管6為金屬管，為保溫目的，在金屬管表面上設(shè)有四氟乙烯層。機臺2上、酸液槽3的一側(cè)還設(shè)有容納槽10，酸液槽3上還設(shè)有液位計7。
[0016]使用時，將花籃掛接在花籃吊架44上，打開電機，偏心輪42轉(zhuǎn)動，花籃下降至酸液槽中液面至下，開始腐蝕開槽;待時間達到后，電機反轉(zhuǎn)，花籃升高后離開酸液槽，靜置一段時間，使得硅片上的酸液回流到酸液槽中；最后，將花籃放置于容納槽10中繼續(xù)控酸，直至酸液不再流下，花籃提離開槽機。
[0017]當然，上述說明并非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的實質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種硅片開槽機，包括機架，在所述機架上設(shè)有機臺，所述機臺的上方為控制部分，所述機臺上設(shè)有酸液槽，其特征在于:所述開槽機包括設(shè)置在所述酸液槽上方的花籃吊裝部件，所述花籃吊裝部件包括電機，所述電機的輸出軸連接偏心輪，所述偏心輪上固定有連接桿，所述連接桿的底部設(shè)有花籃吊架。2.按照權(quán)利要求1所述的硅片開槽機，其特征在于:所述花籃吊架包括底板，所述底板的周邊固定有花籃吊件。3.按照權(quán)利要求2所述的硅片開槽機，其特征在于:固定在所述底板上的花籃吊件為四個。4.按照權(quán)利要求1所述的硅片開槽機，其特征在于:所述酸液槽還連接降溫管，所述降溫管上設(shè)有控制閥。5.按照權(quán)利要求4所述的硅片開槽機，其特征在于:所述降溫管為金屬管，所述金屬管表面上設(shè)有四氟乙烯層。6.按照權(quán)利要求1所述的硅片開槽機，其特征在于:所述機臺上、酸液槽的一側(cè)還設(shè)有容納槽。7.按照權(quán)利要求1所述的硅片開槽機，其特征在于:所述酸液槽上還設(shè)有液位計。
【專利摘要】一種硅片開槽機，包括機架，在機架上設(shè)有機臺，機臺的上方為控制部分，機臺上設(shè)有酸液槽，開槽機包括設(shè)置在酸液槽上方的花籃吊裝部件，花籃吊裝部件包括電機，電機的輸出軸連接偏心輪，偏心輪上固定有連接桿，連接桿的底部設(shè)有花籃吊架。本開槽機通過偏心輪升降花籃，且腐蝕后的花籃可靜置于酸液槽上方，以防止酸液對機臺造成污染；降溫管中通有氟利昂用于酸液的降溫，保證反應溫度的穩(wěn)定；液位計直觀顯示了酸液液位的高低；本開槽機具有操作便利、污染小、反應效果好之優(yōu)點。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN205211712
【申請?zhí)枴緾N201520934126
【發(fā)明人】張運, 孫者利
【申請人】濟南卓微電子有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2016年2月25日