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太陽能電池硅片清洗裝置的制造方法

文檔序號:10044157閱讀:479來源:國知局
太陽能電池硅片清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種清洗裝置,尤其涉及一種太陽能電池硅片清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,硅片的應(yīng)用越來越廣,在各種領(lǐng)域中都得到了應(yīng)用。
[0003]半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機膠體纖維等,會導(dǎo)致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。
[0004]硅片清洗時需要用到清洗裝置,但是一般的清洗裝置清洗效果比較差,而且硅片清洗后還要取出進行甩干,操作起來比較麻煩。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型發(fā)明的目的是提供一種太陽能電池硅片清洗裝置,該太陽能電池硅片清洗裝置解決了清洗裝置清洗效果不好和清洗后甩干操作不方便的問題。
[0006]為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本實用新型的太陽能電池硅片清洗裝置包括支架、清洗槽、表面開有孔洞的轉(zhuǎn)筒,清洗槽設(shè)置在支架上,清洗槽內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)筒,清洗槽下方設(shè)有電機,電機輸出端連接轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸延伸至清洗槽內(nèi),轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)筒連接,所述轉(zhuǎn)筒內(nèi)設(shè)有若干層隔網(wǎng),所述清洗槽內(nèi)設(shè)有溫度傳感器、加熱裝置、超聲波發(fā)生器,清洗槽外側(cè)設(shè)有控制器,溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接,所述清洗槽外壁下端設(shè)有出水管,出水管與排水管連接,出水管與排水管之間設(shè)有給水管,給水管的出水端延伸至清洗槽上方,所述出水管上設(shè)有第一閥門,排水管上設(shè)有第二閥門,給水管上設(shè)有水栗。
[0007]所述加熱裝置為加熱管。
[0008]所述電機為防震電機。
[0009]所述隔網(wǎng)與轉(zhuǎn)筒內(nèi)壁卡槽連接。
[0010]所述第一閥門、第二閥門均為電磁閥。
[0011]采用這種太陽能電池硅片清洗裝置,具有以下優(yōu)點:
[0012]1、由于清洗槽內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)筒,清洗槽下方設(shè)有電機,電機輸出端連接轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸延伸至清洗槽內(nèi),轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)筒連接,這樣在硅片清洗時,可以提高清洗效果,而且清洗完后,可以利用轉(zhuǎn)筒進行甩干,操作起來非常方便;
[0013]2、由于清洗槽內(nèi)設(shè)有溫度傳感器、加熱裝置,溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接,當(dāng)清洗槽內(nèi)的清洗液溫度高于或低于設(shè)定值范圍時,由控制器控制加熱裝置是否工作,這樣就能保證清洗液始終保持在最適宜的清洗溫度,提高了清洗效果;而且使用了超聲波發(fā)生器,進一步提高了清洗效果;
[0014]3、由于清洗槽外壁下端設(shè)有出水管,出水管與排水管連接,出水管與排水管之間設(shè)有給水管,這樣可以使清洗液進行循環(huán)流動,進一步提高了清洗效果。
【附圖說明】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細(xì)的說明。
[0016]圖1是本實用新型太陽能電池硅片清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]其中有:1.支架;2.清洗槽;3.轉(zhuǎn)筒;4.電機;5.轉(zhuǎn)軸;6.隔網(wǎng);7.超聲波發(fā)生器;8.溫度傳感器;9.加熱裝置;10.控制器;11.出水管;12.排水管;13.給水管;14.第一閥門;15.水栗;16.第二閥門。
【具體實施方式】
[0018]圖1所示太陽能電池硅片清洗裝置,包括支架1、清洗槽2、表面開有孔洞的轉(zhuǎn)筒3,清洗槽2設(shè)置在支架1上,清洗槽2內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)筒3,清洗槽2下方設(shè)有電機4,電機4輸出端連接轉(zhuǎn)軸5,轉(zhuǎn)軸5延伸至清洗槽2內(nèi),轉(zhuǎn)軸5與轉(zhuǎn)筒3連接,所述轉(zhuǎn)筒3內(nèi)設(shè)有若干層隔網(wǎng)6,所述清洗槽2內(nèi)設(shè)有溫度傳感器8、加熱裝置9、超聲波發(fā)生器7,清洗槽2外側(cè)設(shè)有控制器10,溫度傳感器8、加熱裝置9分別與控制器10連接,所述清洗槽2外壁下端設(shè)有出水管11,出水管11與排水管12連接,出水管11與排水管12之間設(shè)有給水管13,給水管13的出水端延伸至清洗槽2上方,所述出水管11上設(shè)有第一閥門14,排水管12上設(shè)有第二閥門16,給水管13上設(shè)有水栗15。
[0019]所述加熱裝置9為加熱管。
[0020]所述電機4為防震電機。
[0021]所述隔網(wǎng)6與轉(zhuǎn)筒3內(nèi)壁卡槽連接。
[0022]所述第一閥門14、第二閥門16均為電磁閥。
[0023]當(dāng)需要清洗時,將硅片放置在轉(zhuǎn)筒3內(nèi)的隔網(wǎng)6上,然后啟動電機4,使轉(zhuǎn)筒3轉(zhuǎn)動,同時打開第一閥門14和水栗15,關(guān)閉第二閥門16,這樣清洗液就能始終處于循環(huán)狀態(tài);當(dāng)清洗液溫度超過或低于設(shè)定溫度時,溫度傳感器8將溫度信號傳給控制器10,由控制器10控制是否啟動或關(guān)閉加熱裝置9,使清洗液始終保持在最適宜的溫度;當(dāng)硅片清洗完之后,關(guān)閉水栗15,打開第二閥門16,清洗液通過排水管12排出,然后通過轉(zhuǎn)筒3將硅片甩干。
[0024]本申請中沒有詳細(xì)說明的技術(shù)特征為現(xiàn)有技術(shù)。上述實施例僅例示性說明本申請的原理及其功效,而非用于限制本申請。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本申請的精神及范疇下,對上述實施例進行修飾或改變。因此,所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本申請所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本申請的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項】
1.一種太陽能電池硅片清洗裝置,其特征在于:包括支架、清洗槽、表面開有孔洞的轉(zhuǎn)筒,清洗槽設(shè)置在支架上,清洗槽內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)筒,清洗槽下方設(shè)有電機,電機輸出端連接轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸延伸至清洗槽內(nèi),轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)筒連接,所述轉(zhuǎn)筒內(nèi)設(shè)有若干層隔網(wǎng),所述清洗槽內(nèi)設(shè)有溫度傳感器、加熱裝置、超聲波發(fā)生器,清洗槽外側(cè)設(shè)有控制器,溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接,所述清洗槽外壁下端設(shè)有出水管,出水管與排水管連接,出水管與排水管之間設(shè)有給水管,給水管的出水端延伸至清洗槽上方,所述出水管上設(shè)有第一閥門,排水管上設(shè)有第二閥門,給水管上設(shè)有水栗。2.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片清洗裝置,其特征在于:所述加熱裝置為加熱管。3.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片清洗裝置,其特征在于:所述電機為防震電機。4.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片清洗裝置,其特征在于:所述隔網(wǎng)與轉(zhuǎn)筒內(nèi)壁卡槽連接。5.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片清洗裝置,其特征在于:所述第一閥門、第二閥門均為電磁閥。
【專利摘要】本實用新型涉及一種太陽能電池硅片清洗裝置,包括支架、清洗槽、表面開有孔洞的轉(zhuǎn)筒,清洗槽設(shè)置在支架上,清洗槽內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)筒,清洗槽下方設(shè)有電機,電機輸出端連接轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸延伸至清洗槽內(nèi),轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)筒連接,所述轉(zhuǎn)筒內(nèi)設(shè)有若干層隔網(wǎng),所述清洗槽內(nèi)設(shè)有溫度傳感器、加熱裝置、超聲波發(fā)生器,清洗槽外側(cè)設(shè)有控制器,溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接,所述清洗槽外壁下端設(shè)有出水管,出水管與排水管連接,出水管與排水管之間設(shè)有給水管,給水管的出水端延伸至清洗槽上方,所述出水管上設(shè)有第一閥門,排水管上設(shè)有第二閥門,給水管上設(shè)有水泵,本實用新型解決了清洗裝置清洗效果和清洗后甩干操作不方便的問題。
【IPC分類】B08B3/10, B08B3/06, B08B3/12
【公開號】CN204953426
【申請?zhí)枴緾N201520584548
【發(fā)明人】何晨旭, 孔祥照, 朱潔, 朱姚培
【申請人】江蘇榮馬新能源有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年8月5日
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