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一種用于多晶硅片清洗的花籃的制作方法

文檔序號:10358811閱讀:608來源:國知局
一種用于多晶硅片清洗的花籃的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于光伏多晶硅片切割清洗領域,具體涉及一種用于多晶
[0002]硅片清洗的花籃。
【背景技術】
[0003]多晶硅片清洗,其原理可用“空化”現(xiàn)象來解釋:即超聲波振動在液體中傳播的音波壓強達到一個大氣壓時,其功率密度為0.35瓦/厘米,這時超聲波的音波壓強峰值就可達到真空或負壓,但實際上無負壓存在,因此在液體中產(chǎn)生一個很大的壓力,將液體分子拉裂成空洞。此空洞非常接近真空,它在超聲波壓強反向達到最大時破裂,由于破裂而產(chǎn)生的強烈沖擊將硅片表面的污染物撞擊下來,這種由無數(shù)細小的空化氣泡破裂而產(chǎn)生的沖擊現(xiàn)象稱為“空化現(xiàn)象”,從而達到清洗多晶硅片的目的。
[0004]目前,在硅片清洗工序中,主要使用的是超聲波清洗,而脫膠后的硅片是疊放在一起,為了保證硅片的清洗效果,硅片在進入超聲波清洗機之前,必須將硅片插入清洗花籃中,從而將硅片均勻分開,徹底清洗。
[0005]然而,如圖4及圖5所示的現(xiàn)有的用于多硅片清洗的花籃,一方面,在插片過程中,硅片在滑落至花籃底部的過程中,硅片倒角極易磕碰至靠近花籃底部的兩側(cè)擋桿處,從而產(chǎn)生卡片、碎片等不良;另一方面,現(xiàn)有花籃采用的材料及棱邊的設計,在超聲清洗過程中,硅片在花籃底部的硅片卡槽中來回擺動與花籃底部接觸部位進行摩擦,從而產(chǎn)生硅片棱邊劃痕、棱邊缺陷的現(xiàn)象,嚴重影響了產(chǎn)品的外觀及品質(zhì),降低了清洗效率。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型的目的是克服在現(xiàn)有的硅片清洗過程中,多晶花籃在插片及超聲波清洗過程中,出現(xiàn)的硅片卡片、碎片及花籃底部的硅片棱邊劃痕或缺損的問題。
[0007]為此,本實用新型提供了一種用于多晶硅片清洗的花籃,包括花籃本體,支撐擋桿,支撐板,插片凹槽,其中,所述花籃本體兩側(cè)的插片凹槽均穿有與所述插片凹槽相垂直的支撐擋桿,且所述支撐擋桿與所述插片凹槽與硅片的連接處設有與硅片相適配的倒角。
[0008]上述一種用于多晶硅片清洗的花籃,所述花籃本體的兩側(cè)均設有兩根支撐擋桿,一根設置于距所述花籃本體底部的1/2位置處,另外一根設置于距所述花籃本體底部的3/4位置處。
[0009]上述一種用于多晶硅片清洗的花籃,所述支撐板選用軟性橡膠材料制成。
[0010]本實用新型的有益效果:本實用新型提供的這種用于多晶硅片清洗的
[0011]花籃,通過對支撐擋桿位置及其結構的設計,在保證了花籃底部強度的同時,又有效避免了硅片的卡片、碎片等不良現(xiàn)象的發(fā)生;通過對花籃底部支撐板的設計,可以減少硅片棱邊劃痕、棱邊缺陷的問題;該用于多晶硅清洗的花籃,清洗效率高,對清洗工作的作業(yè)人員提供了極大的便利,具有良好的應用前景及市場價值。
【附圖說明】
[0012]以下將結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。
[0013]圖1是本實用新型一種用于多晶硅片清洗的花籃的結構示意圖。
[0014]圖2是本實用新型一種用于多晶硅片清洗的花籃的縱截面示意圖。
[0015]圖3是本實用新型一種用于多晶硅片清洗的花籃底部的結構示意圖。
[0016]圖4是現(xiàn)有的用于多硅片清洗的花籃的縱截面示意圖。
[0017]圖5是現(xiàn)有的用于多硅片清洗的花籃底部的結構示意圖。
[0018]附圖標記說明:1、花籃本體;2、支撐擋桿;3、支撐板;4、插片凹槽。
【具體實施方式】
[0019]為進一步闡述本實用新型達成預定目的所采取的技術手段及功效,以下結合附圖及實施例對本實用新型的【具體實施方式】、結構特征及其功效,詳細說明如下。
[0020]如圖1所示,一種用于多晶硅片清洗的花籃的結構示意圖,包括花籃本體1,支撐擋桿2,支撐板3,插片凹槽4,其中,支撐板3選用軟性橡膠材料制成;花籃本體I兩側(cè)的插片凹槽4均穿有與插片凹槽4相垂直的支撐擋桿2,且支撐擋桿2與插片凹槽4與硅片的連接處設有與硅片相適配的倒角;花籃本體I的兩側(cè)均設有兩根支撐擋桿2,一根設置于距花籃本體I底部的1/2位置處,另外一根設置于距花籃本體I底部的3/4位置處。
[0021]該種用于多晶硅片清洗的花籃,在硅片脫膠完成后,將硅片插入插片凹槽4中,從而將硅片均勻分開,進而放入超聲波清洗機進行清洗;其中,花籃本體I兩側(cè)的支撐擋桿2在保證花籃本體I的底部強度不變的同時,又在支撐擋桿2與插片凹槽4與硅片的連接處設有的與硅片相適配的倒角的條件下有效地避免現(xiàn)有的清洗過程中的硅片卡片、碎片等不良現(xiàn)象的發(fā)生,而且在一定程度上改善了硅片在接觸時硅片倒角受損的問題;此外,由軟性橡膠材料制成的支撐板3可以避免硅片底部棱邊劃痕、棱邊缺陷的問題。
[0022]以上例舉僅僅是對本實用新型的舉例說明,并不構成對本實用新型的保護范圍的限制,凡是與本實用新型相同或相似的設計均屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種用于多晶硅片清洗的花籃,包括花籃本體(1),支撐擋桿(2),支撐板(3),插片凹槽(4),其特征在于:所述花籃本體(I)兩側(cè)的插片凹槽(4)均穿有與所述插片凹槽(4)相垂直的支撐擋桿(2),且所述支撐擋桿(2)與所述插片凹槽(4)與硅片的連接處設有與硅片相適配的倒角。2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于多晶硅片清洗的花籃,其特征在于:所述花籃本體(I)的兩側(cè)均設有兩根支撐擋桿(2),一根設置于距所述花籃本體(I)底部的1/2位置處,另外一根設置于距所述花籃本體(I)底部的3/4位置處。3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于多晶硅片清洗的花籃,其特征在于:所述支撐板(3)選用軟性橡膠材料制成。
【專利摘要】本實用新型屬于光伏多晶硅片切割清洗領域,具體涉及一種用于多晶硅片清洗的花籃,包括花籃本體、支撐擋桿、支撐板、插片凹槽,花籃本體的左右兩側(cè)均設置有兩根支撐擋桿,且支撐擋桿與插片凹槽與硅片的連接處設有與硅片相適配的倒角;支撐板為軟性橡膠材料制成;通過對支撐擋桿距離及其結構的設計,在保證了花籃底部強度的同時,又有效地避免了硅片的卡片、碎片等不良現(xiàn)象的發(fā)生;通過花籃底部的支撐板的設計,可以減少硅片棱邊劃痕、棱邊缺陷的問題;該用于多晶硅清洗的花籃,清洗效率高,對清洗工作的作業(yè)人員提供了極大的便利,具有良好的應用前景及市場價值。
【IPC分類】B08B13/00, B08B3/12
【公開號】CN205270296
【申請?zhí)枴緾N201520810889
【發(fā)明人】拜鵬, 高偉, 朱菲菲, 張瑞峰
【申請人】西安烽火光伏科技股份有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2015年10月20日
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