一種背拋光用清洗花籃的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種多晶硅片清洗裝置，尤其是用于背拋光技術(shù)的清洗花籃。
【背景技術(shù)】
[0002]目前多晶硅電池刻蝕工藝多采用酸法刻蝕技術(shù)，該工藝容易出現(xiàn)過(guò)刻現(xiàn)象且背面刻蝕效果較差。為了使多晶電池達(dá)到更好的背面腐蝕與拋光效果，我公司進(jìn)行了背拋光技術(shù)的研發(fā)與推廣。背面拋光技術(shù)是將硅片制絨后凹凸不平的背面通過(guò)堿液腐蝕做成拋光效果，使光波在電池內(nèi)部能夠被多次反射吸收，增加電池對(duì)入射光線的利用率，從而提升電池片轉(zhuǎn)化效率。
[0003]背拋光技術(shù)采用槽式堿法刻蝕工藝，即使用四甲基氫氧化銨對(duì)硅片進(jìn)行選擇性刻蝕，以達(dá)到背面拋光的效果。由于硅片和四甲基氫氧化銨反應(yīng)時(shí)會(huì)有大量氣泡產(chǎn)生，氣泡粘附在硅片表面，導(dǎo)致硅片脫離承載盒浮出液面，從而產(chǎn)生大量不良品。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型目的是提供一種背拋光用清洗花籃，以增強(qiáng)槽體溶液的流動(dòng)性，使反應(yīng)更充分，且能更好的固定硅片，防止硅片漂出液面。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0006]—種背拋光用清洗花籃，包括兩片平行設(shè)置的擋板和連接兩片擋板的支持桿，所述擋板上設(shè)有勻流孔，所述支持桿為上下平行的兩排，每排3-4根，兩片擋板的頂部還設(shè)有兩根固定壓條。
[0007]所述擋板的其中一片上設(shè)有花籃提手。
[0008]所述擋板的頂部設(shè)有卡槽，固定壓條兩端固定在卡槽內(nèi)。
[0009]本實(shí)用新型花籃主體是由多孔狀PVDF板材構(gòu)成，具有較好的耐酸堿特性，且有利于槽體溶液的流動(dòng);增加兩根壓條，更好的固定硅片；的新式花籃能夠有效防止背拋光工藝漂片顯現(xiàn)的產(chǎn)出，而且操作簡(jiǎn)單方便，實(shí)用性強(qiáng)。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0012]實(shí)施例:
[0013]如圖1所示的背拋光用清洗花籃，包括兩片平行設(shè)置的PVDF材質(zhì)的擋板100和連接兩片擋板的支持桿200，二者形成花籃的主框架，擋板上設(shè)有勻流孔300，用于增加槽體溶液流動(dòng)性，支持桿為上下平行的兩排，上排3根，下排4根，為PP材質(zhì)，用于固定承載盒，兩片擋板的頂部設(shè)有卡槽110，固定壓條12 O兩端固定在卡槽內(nèi)，擋板的其中一片上設(shè)有用于機(jī)械手臂抓取的花籃提手130。
[0014]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種背拋光用清洗花籃，其特征在于，包括兩片平行設(shè)置的擋板和連接兩片擋板的支持桿，所述擋板上設(shè)有勻流孔，所述支持桿為上下平行的兩排，每排3-4根，兩片擋板的頂部還設(shè)有兩根固定壓條。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背拋光用清洗花籃，其特征在于，所述擋板的其中一片上設(shè)有花籃提手。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背拋光用清洗花籃，其特征在于，所述擋板的頂部設(shè)有卡槽，固定壓條兩端固定在卡槽內(nèi)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種背拋光用清洗花籃，包括兩片平行設(shè)置的擋板和連接兩片擋板的支持桿，所述擋板上設(shè)有勻流孔，所述支持桿為上下平行的兩排，每排3-4根，兩片擋板的頂部還設(shè)有兩根固定壓條。本實(shí)用新型花籃主體是由多孔狀PVDF板材構(gòu)成，具有較好的耐酸堿特性，且有利于槽體溶液的流動(dòng)；增加兩根壓條，更好的固定硅片；的新式花籃能夠有效防止背拋光工藝漂片顯現(xiàn)的產(chǎn)出，而且操作簡(jiǎn)單方便，實(shí)用性強(qiáng)。
【IPC分類】H01L21/673
【公開(kāi)號(hào)】CN205282458
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620009577
【發(fā)明人】薛相龍, 陸敏
【申請(qǐng)人】上海艾力克新能源有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2016年1月6日