專利名稱：傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本文所公開的實施方式涉及傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人。
背景技術(shù)：
常規(guī)地，已知一種傳動機構(gòu)，該傳動機構(gòu)包括馬達(dá)、帶和帶輪等，以在兩個平行軸之間傳遞馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)。傳動機構(gòu)被使用在對準(zhǔn)裝置等中，當(dāng)諸如晶片的基板在形成于所謂的局部清潔裝置(例如，設(shè)備前端模塊(EFEM))中的空間中由機器人搬運時，所述對準(zhǔn)裝置等執(zhí)行該基板的定位。在下文中，對準(zhǔn)裝置被描述為“基板定位裝置”。具體地，基板定位裝置構(gòu)造成使得，第一帶輪被固定到馬達(dá)的輸出軸，第二帶輪被固定到供安裝基板的臺的支承軸上，并且?guī)@所述第一帶輪和第二帶輪纏繞。因此，基板定位裝置通過基于馬達(dá)的運動來移動所述臺而執(zhí)行基板的定位(例如，參見日本專利特開第2004 - 200643號公報)。此外，由橡膠制成的齒形帶通常被用作所述帶。然而，在使用齒形帶的常規(guī)傳動機構(gòu)中，馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)可能不被精確地傳遞。這是因為齒形帶的齒節(jié)之間的寬度(在下文中，被稱為“齒節(jié)寬”)可能因成形時的誤差而變化。在基板定位裝置以及通過使用所述傳動機構(gòu)來驅(qū)動臂的機器人中都能夠以相同的方式出現(xiàn)這種問題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述，提供一種傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人，所述傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人即使在使用 具有其中齒節(jié)寬變化的周期性變化特征的帶的情況下，也能夠以比節(jié)寬的變化更低的高精度來傳遞驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)。根據(jù)本文所公開的實施方式的一方面的傳動機構(gòu)包括驅(qū)動帶輪、從動帶輪和帶。所述驅(qū)動帶輪設(shè)置在驅(qū)動軸上并且包括具有預(yù)定的節(jié)寬的外部齒。所述從動帶輪設(shè)置在從動軸上并且包括具有所述節(jié)寬的外部齒。所述帶具有與所述驅(qū)動帶輪和所述從動帶輪的所述外部齒嚙合的內(nèi)部齒，并且所述內(nèi)部齒具有與所述驅(qū)動帶輪和所述從動帶輪的所述外部齒相同的節(jié)寬。此外，所述帶包括具有周期性變化特征的子帶，在所述周期性變化特征中，所述齒節(jié)寬周期性地變化，并且這些子帶被設(shè)置在齒節(jié)寬的周期性變化特征的相位彼此移位的狀態(tài)。根據(jù)所公開的實施方式的該方面，即使在使用具有其中齒節(jié)寬周期性地變化的周期性變化特征的子帶的情況下，也能夠以比所述齒節(jié)寬的變化更低的高精度來傳遞驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)。


本公開內(nèi)容的目的和特征從結(jié)合附圖給出的實施方式的下述說明將顯而易見，在附圖中:
圖1是示出包括根據(jù)實施方式的基板定位裝置和機器人的搬運系統(tǒng)的總體構(gòu)造的不意圖；圖2A是示出根據(jù)實施方式的基板定位裝置的構(gòu)造的示意性立體圖；圖2B是傳感器單元的示意性放大圖；圖3A是根據(jù)實施方式的傳動機構(gòu)的示意性俯視圖；圖3B是圖3A所示的部分Ml的示意性放大圖；圖4A和圖4B是用于示出使得帶的相位移位的示例的視圖；圖5是示出從動帶輪和驅(qū)動帶輪之間的相移的圖；圖6A和圖6B是示出從動帶輪和驅(qū)動帶輪之間的相移的量的實驗結(jié)果的圖；圖7A是示出子帶的成型的示例的圖；圖7B是示出子帶的布置的示例的圖；圖7C是示出子帶的布置的另一示例的圖；以及圖8是示出根據(jù)實施方式的機器人的構(gòu)造的示意性側(cè)視圖。
具體實施例方式在下文中，將參照形成實施方式的一部分的附圖來詳細(xì)地描述傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人的實施方式。此外，實施方式并不旨在局限于下述的具體細(xì)節(jié)。此外，將利用例`如構(gòu)造成使用機器人來搬運半導(dǎo)體晶片的搬運系統(tǒng)來給出下述說明。在本文中，“半導(dǎo)體晶片”簡單地被稱為“晶片”，并且機器人的“末端執(zhí)行器”被稱為“手”，并且“齒形帶”被稱為“帶”。首先，將參照圖1來描述根據(jù)實施方式的包括基板定位裝置和機器人的搬運系統(tǒng)的總體構(gòu)造。圖1示出了包括根據(jù)實施方式的基板定位裝置和機器人的搬運系統(tǒng)I的總體構(gòu)造。為了便于理解說明，在圖1中示出了包括Z軸的三維笛卡爾坐標(biāo)系，該Z軸的正向和負(fù)向分別豎直向上和向下(即，“豎直方向”)。因此，沿著XY平面的方向被稱為“水平方向”。該笛卡爾坐標(biāo)系能夠以相同的方式被示出在用于下述說明的其他附圖中。此外，在下述說明中，附圖標(biāo)記可被分配給多個部件之中的僅一個部件，并且可以省除對其他部件分配附圖標(biāo)記。在該情況下，假定其他部件與分配有附圖標(biāo)記的部件具有相同的構(gòu)造。如圖1所示，搬運系統(tǒng)I包括基板搬運單元2、基板供給單元3和基板處理單元4?；灏徇\單元2包括機器人10和供設(shè)置該機器人10的殼體20?；骞?yīng)單元3設(shè)置在殼體20的一個側(cè)面21上，并且基板處理單元4設(shè)置在殼體20的另一側(cè)面22上。此外，附圖中的附圖標(biāo)記100表示搬運系統(tǒng)I的安裝面。機器人10包括臂單元12，該臂單元具有手11，所述手11能夠以兩段(即，上段和下段)的方式保持待被搬運的晶片W。臂單元12被支承為能夠沿水平方向旋轉(zhuǎn)，并且能夠相對于基座13豎直地移動?；?3被安裝在基座安裝框架23上，該基座安裝框架23形成殼體20的底壁。此外，將在下文參照圖8來描述機器人10。在殼體20中，借助過濾單元24形成清潔空氣的向下流，該過濾單元是所謂的設(shè)備前端模塊(EFEM)并且設(shè)置在殼體20的頂部處。借助所述向下流，殼體20的內(nèi)部保持處于高清潔度的狀態(tài)。此外，在基座安裝框架23的下表面上設(shè)置腿部25，以支承殼體20，而在殼體20與安裝面100之間保持預(yù)定間隙C?；骞?yīng)單元3包括:箍30，所述箍沿豎直方向以多段的方式容納多個晶片W ;以及開箍器(未示出)，所述開箍器執(zhí)行箍30的蓋的打開和關(guān)閉，以允許將晶片W取出到殼體20中。此外，能夠在具有預(yù)定高度的臺31上以預(yù)定間隔設(shè)置均包括箍30和開箍器的多個組。基板處理單元4是在半導(dǎo)體制造過程中對晶片W執(zhí)行諸如清潔處理、成膜處理和光刻處理之類的預(yù)定處理的處理單元?；逄幚韱卧?包括執(zhí)行該預(yù)定處理的處理裝置40。處理裝置40設(shè)置在殼體20的與基板供應(yīng)單元3相對的另一側(cè)面22上，而使機器人10位于該處理裝置40和基板供應(yīng)單元3之間。此外，在殼體20中設(shè)置基板定位裝置50，以執(zhí)行晶片W的定位。將參照圖2A等在下文詳細(xì)地描述基板定位裝置50?；谶@種構(gòu)造，在搬運系統(tǒng)I中，晶片W由執(zhí)行升降和旋轉(zhuǎn)操作的機器人10從箍30取出并通過基板定位裝置50裝載到處理裝置40中。接著，將已經(jīng)在處理裝置40中經(jīng)受了預(yù)定處理的晶片W借助機器人10的升降和旋轉(zhuǎn)操作而卸載和搬運，然后被容納在箍30中。接下來，將參照圖2A來描述根據(jù)實施方式的基板定位裝置50的構(gòu)造。圖2A是示出根據(jù)實施方式的基板定位裝置50的構(gòu)造的示意性立體圖。如圖2A所示，基板定位裝置50包括馬達(dá)51、傳動機構(gòu)52、安裝臺53和傳感器單元54。傳動機構(gòu)52包括驅(qū)動帶輪52a、從動帶輪52b和帶52c。馬達(dá)51是用于使得軸AXl旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動源。在馬達(dá)51的輸出軸(即，驅(qū)動軸，在下文中被描述為軸AXl)處，設(shè)置有傳動機構(gòu)52的驅(qū)動帶輪52a，并且該驅(qū)動帶輪52a隨著馬達(dá)51的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。此外，馬達(dá)51的旋轉(zhuǎn)角度(即，驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)角度)由編碼器(未示出)等來檢測。從動帶輪52b相對于圍繞軸AX2的旋轉(zhuǎn)軸(未示出)(即，從動軸，在下文中被描述為軸AX2)以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置。此外，帶52c圍繞驅(qū)動帶輪52a和從動帶輪52b纏繞。帶52c傳遞驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)，以使得從動帶輪52b旋轉(zhuǎn)。將參照圖3A和圖3B詳細(xì)地描述驅(qū)動帶輪52a、從動帶輪52b和帶52c的形狀等。此外，用于供安裝晶片W的安裝臺53被連接到從動帶輪52b。當(dāng)從動帶輪52b被驅(qū)動以旋轉(zhuǎn)時，安裝臺53使得所安裝的晶片W旋轉(zhuǎn)，從而使晶片W的位置對準(zhǔn)。將在下文參照圖2B來描述該位置對準(zhǔn)。盡管未示出，但是能夠設(shè)置有吸附單元，以將晶片W吸附到安裝臺53上。因此，晶片W能夠由預(yù)定保持力(即，吸附力)保持，以防止由于離心力而引起的移位，由此改善定位對準(zhǔn)的精度。傳感器單元54是用于檢測例如設(shè)置在晶片W的周緣上的切口(在下文中稱為“凹口”)的檢測單元。在該實施方式中，將以示例的方式描述使用光學(xué)傳感器來構(gòu)造傳感器單元54的情況，但是 這并不旨在限制傳感器單元54的構(gòu)造。在此，將參照圖2B來描述晶片W的位置對準(zhǔn)。圖2B是傳感器單元54的示意性放大圖。如圖2B所不,傳感器單兀54包括受光部54a和發(fā)光部54b。而且,受光部54a包括線傳感器54aa。受光部54a和發(fā)光部54b設(shè)置成彼此面對，而在它們之間具有供晶片W的邊緣穿過的間隙。在該間隙處，由來自發(fā)光部54b的光形成光軸R。此外，當(dāng)晶片W在遮擋光軸R的情況下旋轉(zhuǎn)時，線傳感器54aa基于光軸R的光量變化來檢測凹口 Wn。也就是說，通過使得安裝臺53旋轉(zhuǎn)直到線傳感器54aa檢測到凹口 Wn，基板定位裝置50執(zhí)行晶片W的位置對準(zhǔn)。此外，通過基于光強度的變化來檢測晶片W的邊緣并接著計算離心率的量等，能夠執(zhí)行晶片W的位置對準(zhǔn)。另選地，在捕獲了晶片W的圖像之后，能夠基于所捕獲的圖像執(zhí)行晶片W的位置對準(zhǔn)。此外，傳感器單元54還檢測處于位置對準(zhǔn)的晶片W的旋轉(zhuǎn)角度(見圖2B中的箭頭201)。當(dāng)晶片W的旋轉(zhuǎn)角度(B卩，從動帶輪52b的旋轉(zhuǎn)角度)與由如上所述的編碼器等檢測到的驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)角度精確地匹配時，認(rèn)為以良好的精度執(zhí)行位置對準(zhǔn)。也就是說，重要的是，驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)被精確地傳遞到從動帶輪52b。因此，在根據(jù)實施方式的傳動機構(gòu)52中，帶52c由多個子帶構(gòu)成，并且這些子帶的齒節(jié)寬的周期性變化特征的相位彼此移位，由此使得帶52c的齒節(jié)寬的周期性變化特征均衡，這將在下文詳細(xì)地描述。圖3A是根據(jù)實施方式的傳動機構(gòu)52的示意性俯視圖，圖3B是圖3A所示的部分Ml的示意性放大圖。如圖3A所示，繞軸AXl旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動帶輪52a具有以預(yù)定節(jié)寬P設(shè)置的外部齒。此外，繞軸AX2旋轉(zhuǎn)的從動帶輪52b也具有以節(jié)寬P設(shè)置的外部齒。此外，如圖3B所示，帶52c也具有以節(jié)寬P設(shè)置的內(nèi)部齒。因此，如圖3A所示，在帶52c圍繞驅(qū)動帶輪52a和從動帶輪52b纏繞的情況下，帶52c的內(nèi)部齒與驅(qū)動帶輪52a和從動帶輪52b的外部齒嚙合。因此，可以將馬達(dá)51(見圖2A)的旋轉(zhuǎn)在彼此平行的軸AXl和軸AX2之間傳遞。 同時，帶52c通常由諸如橡膠的彈性材料形成，并且內(nèi)部齒的節(jié)寬P由于在成型時的誤差而可能變化。在該情況下，很可能出現(xiàn)從動帶輪52b的旋轉(zhuǎn)角度相對于驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)角度提前或延遲(即，旋轉(zhuǎn)不均勻)的情況。在根據(jù)本實施方式的傳動機構(gòu)52中，通過相對于彼此移位帶52c的子帶的齒節(jié)寬的周期性變化特征的相位，來降低該旋轉(zhuǎn)不均勻。這將參照圖4A和圖4B詳細(xì)地描述。圖4A和圖4B是示出移位帶52c的齒節(jié)寬變化的周期性特征的相位的示例的圖。此外，在下述說明中，說明在帶52c的一圈中齒節(jié)寬P的變化的周期性特征。在此，如圖4A所示，為了便于說明，線M標(biāo)記出帶52c上的某一位置。這同樣適用于圖4B。首先，如圖4B的上部所示，在該實施方式中一根帶52c構(gòu)造成分割為多個子帶。例如，帶52c沿著圖4B的上部中示出的作為切割線的虛線被切割。因此，一根帶52c被分割為如圖4B的下部所示的兩個子帶52c-l和52c-2。然后，如圖4B的下部所示，例如，子帶52c-2旋轉(zhuǎn)與半圈對應(yīng)的180度(見該圖中的彎曲箭頭以及虛線標(biāo)記M)。此外，在保持圖4B所示的每個標(biāo)記M的位置的情況下，兩個子帶52c-l和52c-2圍繞驅(qū)動帶輪52a和從動帶輪52b纏繞。也就是說，兩個子帶52c_l和52c-2分別設(shè)置成使其齒節(jié)寬變化的周期性特征的相位彼此移位180度。
在本文中，子帶52c-l和52c-2的面對的端部能夠結(jié)合到一起，或者能夠并排設(shè)置而不結(jié)合。這將參照圖7B和圖7C在下文進行描述。此外，已經(jīng)示出了使子帶52c-2旋轉(zhuǎn)180度的示例，但是子帶52c-l能夠以相同的方式旋轉(zhuǎn)。在此，在使得如圖4B所示形成帶52c的兩個子帶的周期性特征的相位移位的情況下，將參照圖5和圖6來描述從動帶輪52b相對于驅(qū)動帶輪52a的相移以及相移量。圖5是示出從動帶輪52b相對于驅(qū)動帶輪52a的相移的圖，并且圖6A和圖6B是示出從動帶輪52b相對于驅(qū)動帶輪52a的相移量的實驗結(jié)果的圖。此外，在圖5和圖6的上部中示出了在帶52c中這些子帶的周期性特征的相位移位之前的狀態(tài)，并且在圖5和圖6的下部中示出了在這些子帶的周期性特征的相位移位之后的狀態(tài)。在帶52c的相位如圖5的上部中所示未移位的情況下，從動帶輪52b相對于驅(qū)動帶輪52a的相移繪制出例如類似于正弦波的曲線a，該曲線a基于從動帶輪52b的提前或延遲而以恒定周期c上下變化。假定恒定周期c對應(yīng)于帶52c的一圈，那么這意味著帶52c具有針對每圈回轉(zhuǎn)繪制為曲線a的周期性特征。 此外，恒定周期c不必具體地是一圈。另一方面，在帶52c被分割為兩個子帶并且通過使至少一個子帶旋轉(zhuǎn)而使這些子帶的周期性特征的相位彼此移位對應(yīng)于帶的半圈(見圖4B)的180度的情況下，由子帶52c-2繪制的曲線b的相移被附加到從動帶輪52b相對于驅(qū)動帶輪52a的相移上(見圖5的下部)。因此，由于曲線b抵消由大致等同于分割之前的帶52c的子帶52c-l繪制的曲線a，因此理想地，可以抵消從動帶輪52b相對于驅(qū)動帶輪52a的相移(見圖5B的下部中的a+b)。換句話說，即使在使用具有其中齒的節(jié)寬P變化的周期性特征的帶52c的情況下，也可以使得從動帶輪52b順隨驅(qū)動帶輪52a。因此，驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)能夠以比節(jié)寬P的變化更低的高精度傳遞到從動帶輪52b。此外，從動帶輪52b順隨驅(qū)動帶輪52a的程度能夠由從動帶輪52b相對于驅(qū)動帶輪52a的相移量的幅值來更清楚地表示。例如，在帶52c中進行相移之前的相移量代表距相移量“O”的相對大的幅值，如圖6A所示。另一方面，在帶52c中的相位相對于彼此移位(見圖4B)的情況下，由于如上所述這些相位彼此抵消，因此可以降低距相移量“O”的相移量幅值，如圖6B所示。也就是說，這顯示出從動帶輪52b被控制成更有效地順隨驅(qū)動帶輪52a。因此，驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)能夠以比節(jié)寬P的變化更低的高精度被傳遞到從動帶輪52b。雖然已經(jīng)描述了這樣的示例，即帶52c被分割為兩個子帶并且其中一個子帶旋轉(zhuǎn)180度以使得帶52c的相位移位，但是本公開內(nèi)容不局限于該示例。例如，帶52c能夠被分割為三個子帶，并且相位以120度移位。此外，雖然已經(jīng)描述了根據(jù)帶52c的分割數(shù)量通過均等地分割與帶52c的一圈對應(yīng)的360度來移位相位的情況，但是本發(fā)明不局限于這種情況。例如，相位能夠任意地移位。
在任意地移位相位的情況下，優(yōu)選的是例如使用通過合適地調(diào)節(jié)或模擬待移位的相位來進行確定的技術(shù)，使得如圖6B所示的相移量的幅值能夠變?yōu)樽钚≈?。此外，相移能夠被確定成使得如圖5所示的相移曲線a和b例如能夠構(gòu)造成彼此盡可能地抵消。相位能夠以這種方式任意地移位的事實可意味著，能夠任意地操作從動帶輪52b順隨驅(qū)動帶輪52a的精度。接下來，將參照圖7A描述子帶的成形示例。圖7A是示出子帶52c-l、52c_2和52c-3的成形示例的圖。如圖7A所示，帶52c通常作為切斷構(gòu)件被提供，所述切斷構(gòu)件通過將管狀塊體52cB以規(guī)則間隔切割成圓形形狀而形成。此外，塊體52cB可以由于如上所述在成形期間的誤差而不均勻地形成。鑒于此，在從塊體52cB成形子帶52c-l、52c_2和52c_3的情況下，優(yōu)選的是使用被認(rèn)為具有類似誤差的彼此相鄰的切斷構(gòu)件。例如，在帶52c包括兩個子帶的情況下，優(yōu)選的是，將通過在圖7A所示的示例中預(yù)先地在塊體52cB上標(biāo)記出標(biāo)記M之后切斷塊體52cB而形成的子帶52c_l和52c_2、或帶52c-2 和 52c-3 結(jié)合。此外，在帶52c由三個子帶構(gòu)成的情況下，優(yōu)選的是將子帶52c-l、52c_2和52c_3依次結(jié)合。采用該構(gòu)造，由于帶52c由被認(rèn)為具有相似誤差的相鄰切斷構(gòu)件構(gòu)成，因此通過移位相位而能夠容易地實現(xiàn)齒節(jié)寬P的周期性變化特征的平均化。也就是說，驅(qū)動帶輪52a的旋轉(zhuǎn)能夠以高精度容易地傳遞到從動帶輪52b，該高精度的誤差等于或小于節(jié)寬P的變化。接下來，將參照 圖7B和圖7C描述子帶的布置的示例。圖7B和圖7C是示出子帶52c-l和52c-2的布置的示例的圖。首先，如圖7B所示，子帶52c-l和52c_2的面對的端部能夠通過粘結(jié)等而彼此結(jié)
八
口 ο如圖7C所示，子帶52c-l和52c_2能夠平行地設(shè)置，使得子帶52c_l和52c_2的面對的端部之間的距離變?yōu)榈扔诨虼笥贠的預(yù)定間隙(即，包括使得子帶52c-l和52c-2彼此接觸的情況)。此外，由于子帶52c-l和52c-2是相鄰的切斷構(gòu)件(見圖7A)，因此子帶52c_l和52c-2能夠以相反順序設(shè)置。此外，在該實施方式中，使用相鄰的切斷構(gòu)件以便于操縱，但是子帶不必要是相鄰的切斷構(gòu)件。也就是說，子帶能夠包括由一個管狀塊體52cB形成但是彼此不相鄰的切斷構(gòu)件，只要能夠獲得相同的效果即可。此外，子帶能夠由分離的管狀塊體52cB形成。此外，子帶可以不具有相同的寬度，只要能夠獲得相同的效果即可。雖然已經(jīng)描述了傳動機構(gòu)52被設(shè)置在基板定位裝置50中的示例，但是傳動機構(gòu)52能夠被包括在搬運系統(tǒng)I的機器人10中。在下文中，將參照圖8來描述這種情況。圖8是示出根據(jù)本實施方式的機器人10的構(gòu)造的示意性側(cè)視圖。在圖8中，圖1所示的機器人10的手11和臂單元12被更具體地示出。此外，假定下部手11與上部手11以相同的形式設(shè)置，下部手11用虛線表示并且將省除對其的說明。此外，包括在機器人10中的傳動機構(gòu)用附圖標(biāo)記52’表不。
如圖8所示，機器人10包括手11、臂單元12和傳動機構(gòu)52’。臂單元12包括第一臂12c、關(guān)節(jié)單元12d、第二臂12e和關(guān)節(jié)單元12f。第一臂12c以可樞轉(zhuǎn)的方式連接到升降單元(未示出)，該升降單元相對于基座13(見圖1)以可沿豎直方向(Z軸方向)滑動的方式設(shè)置。此外，關(guān)節(jié)單元12d是繞軸線al旋轉(zhuǎn)的關(guān)節(jié)。如圖8所示,關(guān)節(jié)單元12d由例如馬達(dá)51’和與馬達(dá)51’的輸出軸連接的驅(qū)動帶輪52a’構(gòu)成。第二臂12e借助關(guān)節(jié)單元12d以可樞轉(zhuǎn)的方式連接到第一臂12c。此外，關(guān)節(jié)單元12f是繞軸線a2旋轉(zhuǎn)的關(guān)節(jié)。如圖8所示，關(guān)節(jié)單元12f構(gòu)造成包括例如從動帶輪52b’，旋轉(zhuǎn)從驅(qū)動帶輪52a’通過帶52c’被傳遞到該從動帶輪52b’。此外，能夠設(shè)置均與圖8所示的相同的兩個或更多個從動帶輪52b’，使得旋轉(zhuǎn)通過兩個或更多個帶52c’被傳遞。手11借助關(guān)節(jié)單元12f以可樞轉(zhuǎn)的方式連接到第二臂12e。于是，每個帶52c’與傳動機構(gòu)52的情況一樣包括多個子帶，并且這些子帶通過使得周期性變化特征的相位移位來設(shè)置。通過如此設(shè)置傳動機構(gòu)52’，機器人10能夠通過在實現(xiàn)臂單元12的輕質(zhì)化的情況下以比齒節(jié)寬P的變化更低的高精度傳遞馬達(dá)51’的旋轉(zhuǎn)，而操作臂單元12和手11。因此，可以改善需要精確操作的機器人10的操作精度。此外，由于可以減少成為振動因素的帶52c’的旋轉(zhuǎn)不均勻，因此能夠進一步改善機器人10的操作精度。如上所述，根據(jù)本實施方式的傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人中的每個都包括驅(qū)動帶輪、從動帶輪以及帶。驅(qū)動帶輪設(shè)置在驅(qū)動軸上，并且包括具有預(yù)定節(jié)寬的外部齒。從動帶輪設(shè)置在從動軸上，并且包括具有該節(jié)寬的外部齒。帶包括具有相同節(jié)寬的內(nèi)部齒，所述內(nèi)部齒與驅(qū)動帶輪和從動帶輪的外部齒嚙合。此外，帶包括多個子帶，在這些子帶中，節(jié)寬以規(guī)則的間隔變化，并且這些子帶被設(shè)置在其中齒節(jié)寬的周期性變化特征的相位被移位的狀態(tài)。因此，按照根據(jù)本實施方式的傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人，即使在使用具有其中齒的節(jié)寬周期性地變化的周期性特征的帶的情況下，驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)也能夠以比節(jié)寬的變化更低的高精度被傳遞。在上述實施方式中，描述了將馬達(dá)用作驅(qū)動源的示例，但是當(dāng)然能夠在該馬達(dá)和驅(qū)動帶輪之間應(yīng)用減速器。在該情況下，驅(qū)動帶輪被設(shè)置在減速器的用作驅(qū)動軸的輸出軸處。在上述實施方式中，已以示例的方式描述了基板主要是晶片的情況，但是當(dāng)然本發(fā)明能夠被應(yīng)用而與基板的類型無關(guān)。此外，在上述實施方式中，已以示例的方式描述了單臂機器人，但是本文所公開的實施方式還能夠適用于具有兩個或更多個臂的多臂機器人。此外，在上述實施方式中，已以示例的方式描述了被包括在基板搬運系統(tǒng)中的傳動機構(gòu)。但是，與包括有傳動機構(gòu)的系統(tǒng)的類型無關(guān)。此外，傳動機構(gòu)能夠被設(shè)置在除了該系統(tǒng)以外的設(shè)備中，并且也與該設(shè)備的類型無關(guān)。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，能夠根據(jù)設(shè)計需要和其他因素來構(gòu)想各種修改、組合、子組合和變化，只要這些修改、組合、子組合和變化落入所附的權(quán)利要求或其等同物的范 圍內(nèi)即可。
權(quán)利要求
1.一種傳動機構(gòu),所述傳動機構(gòu)包括: 驅(qū)動帶輪，所述驅(qū)動帶輪設(shè)置在驅(qū)動軸上并且包括具有預(yù)定的節(jié)寬的外部齒； 從動帶輪，所述從動帶輪設(shè)置在從動軸上并且包括具有所述節(jié)寬的外部齒；以及帶，所述帶包括具有所述節(jié)寬的內(nèi)部齒，所述內(nèi)部齒與所述驅(qū)動帶輪和所述從動帶輪的所述外部齒哨合； 其中，所述帶包括具有周期性變化特征的子帶，在所述周期性變化特征中，所述節(jié)寬周期性地變化，并且這些子帶被設(shè)置在其周期性變化特征的相位彼此移位的狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳動機構(gòu)，其中，所述子帶的數(shù)量是n，并且這些子帶之間的相移是360/n度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳動機構(gòu)，其中，所述子帶的數(shù)量是2，并且這些子帶之間的相移是180度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的傳動機構(gòu)，其中，這些子帶是相鄰的切斷構(gòu)件，通過將管狀構(gòu)件以規(guī)則間隔切割成圓形形狀而形成這些相鄰的切斷構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的傳動機構(gòu)，其中，所述帶通過將這些子帶的面對的端部結(jié)合而獲得。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的傳動機構(gòu)，其中，通過將這些子帶的面對的端部設(shè)置成在這些相對的端部之間具有預(yù)定的間隙，來設(shè)置所述帶，所述間隙等于或大于O。
7.一種基板定位裝置，所述基板定位裝置包括: 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的傳動機構(gòu)； 馬達(dá)，所述馬達(dá)使得所述驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)；以及 基板安裝臺，所述基板安裝臺連接到所述從動軸并且響應(yīng)于所述從動軸的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。
8.一種機器人，所述機器人包括根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的傳動機構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明涉及傳動機構(gòu)、基板定位裝置和機器人。所述傳動機構(gòu)包括驅(qū)動帶輪，所述驅(qū)動帶輪設(shè)置在驅(qū)動軸上并且包括具有預(yù)定的節(jié)寬的外部齒；從動帶輪，所述從動帶輪設(shè)置在從動軸上并且包括具有所述節(jié)寬的外部齒；以及帶，所述帶包括具有所述節(jié)寬的內(nèi)部齒，所述內(nèi)部齒與所述驅(qū)動帶輪和所述從動帶輪的所述外部齒嚙合。此外，所述帶包括具有周期性變化特征的子帶，在所述周期性變化特征中，所述節(jié)寬周期性地變化，并且這些子帶被設(shè)置在其周期性變化特征的相位彼此移位的狀態(tài)。
文檔編號H01L21/677GK103227130SQ20121044152
公開日2013年7月31日 申請日期2012年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月30日
發(fā)明者古市昌稔 申請人:株式會社安川電機