專利名稱：用于惰性氣體的閥系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，可使用于一般需要供給惰性氣體的處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
已知技術(shù)中的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，如圖1所示，包含微量閥102、兩個(gè)高純度氣體絕緣閥104、兩個(gè)惰性氣體鋼瓶106、兩個(gè)銜接器108、兩個(gè)高壓排氣閥110、兩個(gè)高壓絕緣閥112、兩個(gè)調(diào)節(jié)器114、真空產(chǎn)生器116、排氣孔118、兩個(gè)低壓排氣閥120、兩個(gè)低壓絕緣閥122、兩個(gè)手動閥124、兩個(gè)供氣開關(guān)126、惰性氣體出口128。
一般而言，惰性氣體的供給必需源源不絕，因此需要有左右兩個(gè)供氣系統(tǒng)，當(dāng)由左側(cè)系統(tǒng)供給惰性氣體時(shí)，右側(cè)系統(tǒng)為備用，反之亦然。當(dāng)左側(cè)系統(tǒng)惰性氣體鋼瓶的惰性氣體用完時(shí)，則關(guān)閉左側(cè)的供氣開關(guān)，同時(shí)打開右側(cè)的供氣開關(guān)，如此可保持惰性氣體的供給不會中斷，此時(shí)可進(jìn)行左側(cè)惰性氣體鋼瓶的更換。同理，當(dāng)右側(cè)系統(tǒng)惰性氣體鋼瓶的惰性氣體用完時(shí)，則關(guān)閉右側(cè)的供氣開關(guān)，同時(shí)打開左側(cè)的供氣開關(guān)，如此可保持惰性氣體的供給不會中斷，此時(shí)可進(jìn)行右側(cè)惰性氣體鋼瓶的更換。惰性氣體鋼瓶106系藉由銜接器108而連接系統(tǒng)的管路。當(dāng)欲更換惰性氣體鋼瓶106時(shí)，高純度的氣體例如高純度的氮?dú)饪山?jīng)由微量閥102及高純度氣體絕緣閥104流入系統(tǒng)中做為吹掃作用，藉以避免當(dāng)更換惰性氣體鋼瓶106時(shí)外部空氣與水氣進(jìn)入系統(tǒng)。當(dāng)惰性氣體鋼瓶106更換后，可同時(shí)關(guān)閉高純度氣體絕緣閥104且打開高壓排氣閥110，并藉由真空產(chǎn)生器116，將系統(tǒng)中的氣體抽出系統(tǒng)的外而經(jīng)由排氣孔118排出。待系統(tǒng)抽成真空后，可關(guān)閉高壓排氣閥110及高純度氣體絕緣閥104，以進(jìn)行惰性氣體鋼瓶106的正常供氣。
當(dāng)惰性氣體鋼瓶106正常供氣時(shí)，惰性氣體經(jīng)由高壓絕緣閥112流至調(diào)節(jié)器114，此時(shí)惰性氣體為高壓狀態(tài)。經(jīng)由調(diào)節(jié)器114，高壓的惰性氣體可調(diào)節(jié)為低壓的惰性氣體。正常供氣時(shí)，低壓絕緣閥122是打開的而低壓排氣閥120是關(guān)閉的。低壓的惰性氣體經(jīng)由低壓絕緣閥122流至手動閥124，然后再經(jīng)由供氣開關(guān)126流至惰性氣體出口128而達(dá)成惰性氣體的正常供氣。手動閥124的作用在于預(yù)防供氣開關(guān)126的故障。如果供氣開關(guān)126故障，可關(guān)閉手動閥124而阻止惰性氣體排出。左右兩個(gè)供氣開關(guān)126是用于控制系統(tǒng)由左側(cè)或右側(cè)來供給惰性氣體。
已知用于惰性氣體的閥系統(tǒng)的缺點(diǎn)在于所需零件太多，會造成制造成本過高及維護(hù)困難，同時(shí)亦會造成操做上的程序較多且難度較高。為了時(shí)間及金錢的考慮，有必要針對如何降低制造成本及維護(hù)成本，同時(shí)簡化操作上的程序來加以設(shè)計(jì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即是為了解決已知用于惰性氣體的閥系統(tǒng)的缺點(diǎn)，提供一種用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，可有效減少不必要的零件而降低制造成本及維護(hù)成本，同時(shí)由于使用零件的減少，可降低操作上的困難度及節(jié)省操作時(shí)間。
依據(jù)本發(fā)明的一個(gè)觀點(diǎn)，提供一種用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，包含微量閥202、兩個(gè)高純度氣體絕緣閥204、兩個(gè)惰性氣體鋼瓶206、兩個(gè)銜接器208、兩個(gè)高壓排氣閥210、兩個(gè)高壓絕緣閥212、兩個(gè)調(diào)節(jié)器214、真空產(chǎn)生器216、排氣孔218、兩個(gè)測試閥230、兩個(gè)手動閥224、兩個(gè)供氣開關(guān)226、惰性氣體出口228，其特征在于測試閥可用于排出低壓的惰性氣體或用于連接一檢測器來測量惰性氣體是否不當(dāng)漏出。
依據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)觀點(diǎn)，提供一種用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，其中測試閥是一個(gè)三向閥，第一方向及第二方向做為正常供氣之用，第三方向做為排氣之用或做為檢測惰性氣體管路是否不當(dāng)漏出。
依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，其優(yōu)點(diǎn)在于以單一的測試閥來取代已知的低壓排氣閥及低壓絕緣閥，不僅可以達(dá)到整個(gè)閥系統(tǒng)的零件數(shù)目降低，亦可減少操作上的復(fù)雜困難度。由于零件的精簡可以進(jìn)而降低制造成本及維護(hù)成本。此外，測試閥可以與一檢測器連接而測量惰性氣體在管路中是否不當(dāng)漏出的情形發(fā)生。


圖1是已知用于惰性氣體的閥系統(tǒng)的方塊圖。
圖2是依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)的方塊圖。
具體實(shí)施例方式
以下參見圖2，進(jìn)一步詳細(xì)敘述本發(fā)明的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)的細(xì)部構(gòu)造及功能。
首先，如圖2所示，本發(fā)明的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，包含微量閥202、兩個(gè)高純度氣體絕緣閥204、兩個(gè)惰性氣體鋼瓶206、兩個(gè)銜接器208、兩個(gè)高壓排氣閥210、兩個(gè)高壓絕緣閥212、兩個(gè)調(diào)節(jié)器214、真空產(chǎn)生器216、排氣孔218、兩個(gè)測試閥230、兩個(gè)手動閥224、兩個(gè)供氣開關(guān)226、惰性氣體出口228。
如同一般已知用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，本發(fā)明的設(shè)計(jì)同樣分為左右兩個(gè)供氣系統(tǒng)。當(dāng)由左側(cè)系統(tǒng)供給惰性氣體時(shí)，右側(cè)系統(tǒng)為備用。左側(cè)系統(tǒng)與右側(cè)系統(tǒng)的供氣選擇是由左右供氣開關(guān)226來控制。當(dāng)欲由左側(cè)系統(tǒng)供給惰性氣體時(shí)，則打開左側(cè)供氣開關(guān)同時(shí)關(guān)閉右側(cè)供氣開關(guān)，反之亦然。
左側(cè)系統(tǒng)與右側(cè)系統(tǒng)各具有一組高純度氣體絕緣閥204、惰性氣體鋼瓶206、銜接器208、高壓排氣閥210、高壓絕緣閥212、調(diào)節(jié)器214、測試閥230、手動閥224、供氣開關(guān)226。
整個(gè)用于惰性氣體的閥系統(tǒng)在右側(cè)具有一真空產(chǎn)生器216并設(shè)有一排氣孔218，其功能將敘述于后。整個(gè)用于惰性氣體的閥系統(tǒng)在左側(cè)具有一微量閥202，高純度氮?dú)?PN2)可經(jīng)由微量閥202供給至系統(tǒng)。微量閥的設(shè)計(jì)系允許微量的高純度氮?dú)?PN2)少量流過微量閥。然后高純度氮?dú)?PN2)再經(jīng)由高純度氣體絕緣閥204來控制是否流入系統(tǒng)中。當(dāng)欲更換惰性氣體鋼瓶206時(shí)，為防止外部水氣或空氣經(jīng)由銜接器208進(jìn)入系統(tǒng)中，此時(shí)可打開高純度氣體絕緣閥204并關(guān)閉高壓排氣閥210及高壓絕緣閥212，以使高純度氮?dú)?PN2)流入系統(tǒng)的管路中作為吹掃管路之用，可防止外部水氣或空氣經(jīng)由銜接器208進(jìn)入系統(tǒng)中。
當(dāng)完成惰性氣體鋼瓶206的更換后，可關(guān)閉高純度氣體絕緣閥204及高壓絕緣閥212并打開高壓排氣閥210，然后由真空產(chǎn)生器216將管路抽成真空而排出氣體至排氣孔218。完成管路的真空處理后，此時(shí)可關(guān)閉高純度氣體絕緣閥204及高壓排氣閥210并打開高壓絕緣閥212，于是惰性氣體鋼瓶206中的惰性氣體可經(jīng)由高壓絕緣閥212流出。此時(shí)惰性氣體處于高壓狀態(tài)。
隨后，高壓的惰性氣體可藉由調(diào)節(jié)器214調(diào)整為低壓的惰性氣體。接著，低壓的惰性氣體可藉由本發(fā)明獨(dú)特設(shè)計(jì)的測試閥230來控制是否排出系統(tǒng)，或流經(jīng)手動閥224、供氣開關(guān)226而至惰性氣體出口228。
測試閥230可以是一種三向閥，第一方向及第二方向做為正常供氣之用，第三方向做為排氣之用或做為檢測惰性氣體管路是否不當(dāng)漏出。
低壓的惰性氣體流經(jīng)測試閥230而送至手動閥224，然后再經(jīng)由供氣開關(guān)226而送至惰性氣體出口228。手動閥224的作用在于如果系統(tǒng)的供氣無法正常關(guān)閉時(shí)，可藉由手動閥224來緊急手動地關(guān)閉系統(tǒng)的供氣。供氣開關(guān)226的作用，如同前述，在于可控制整個(gè)用于惰性氣體的閥系統(tǒng)是由左側(cè)或右側(cè)來供給惰性氣體。
依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，其優(yōu)點(diǎn)在于簡化系統(tǒng)設(shè)計(jì)和操作。此外，測試閥亦可視需要而外接一檢測器連接，而測量惰性氣體在管路中是否有不當(dāng)漏出的情形發(fā)生。不僅整個(gè)閥系統(tǒng)的零件數(shù)目降低，亦可減少在操作上的復(fù)雜困難度。由于零件的精簡可以進(jìn)而降低制造成本及維護(hù)成本。同時(shí)測試閥可與一檢測器連接而精確地測量惰性氣體的品質(zhì)流量是否正常。除了測漏的效果外，測試閥亦具有可排出惰性氣體的功能，不用藉由真空產(chǎn)生器216來排氣，亦可省去已知系統(tǒng)中必須打開或關(guān)閉低壓排氣閥與低壓絕緣閥的煩復(fù)的操作程序?？梢越档驮诓僮魃系膹?fù)雜困難度。
雖然在以上的敘述中已說明了本發(fā)明的特定實(shí)施例，須注意以上敘述只是用于幫助了解本發(fā)明的實(shí)施，并非用于限定本發(fā)明的精神。熟悉本技術(shù)領(lǐng)域者可在本案說明書的揭示下，在不脫離本發(fā)明的精神范圍內(nèi)，做成許多不同的修改。因此，本發(fā)明的范圍是由以下所附的申請專利范圍來界定。
權(quán)利要求
1.一種用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，包含一微量閥，允許高純度氣體可微量通過；兩個(gè)高純度氣體絕緣閥，可控制高純度氣體的流入；兩個(gè)惰性氣體鋼瓶，用于供給惰性氣體；兩個(gè)銜接器，用于銜接該惰性氣體鋼瓶至系統(tǒng)；兩個(gè)高壓排氣閥，可控制氣體的流入或排出；兩個(gè)高壓絕緣閥，可控制氣體的流入；兩個(gè)調(diào)節(jié)器，可將高壓的惰性氣體調(diào)整為低壓的惰性氣體；一真空產(chǎn)生器，可用于將系統(tǒng)中的管路抽成真空；一排氣孔，用于排出系統(tǒng)中的不必要的氣體；兩個(gè)測試閥，用于排出惰性氣體或控制惰性氣體的流量；兩個(gè)手動閥，用于緊急手動地關(guān)閉供氣系統(tǒng)；兩個(gè)供氣開關(guān)，可控制整個(gè)用于惰性氣體的閥系統(tǒng)是由左側(cè)或右側(cè)來供氣；及一惰性氣體出口，其特征在于該測試閥可用于排出低壓的惰性氣體或用于連接一檢測器來測量惰性氣體是否不當(dāng)漏出。
2.如權(quán)利要求1所述的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，其特征在于，該測試閥是一個(gè)三向閥，可以是一種三向閥，第一方向及第二方向做為正常供氣之用，第三方向做為排氣之用或做為檢測惰性氣體管路是否不當(dāng)漏出。
全文摘要
一種用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，包含微量閥、兩個(gè)高純度氣體絕緣閥、兩個(gè)惰性氣體鋼瓶、兩個(gè)銜接器、兩個(gè)高壓排氣閥、兩個(gè)高壓絕緣閥、兩個(gè)調(diào)節(jié)器、真空產(chǎn)生器、排氣孔、兩個(gè)測試閥、兩個(gè)手動閥、兩個(gè)供氣開關(guān)、惰性氣體出口，其特征在于測試閥可用于排出低壓的惰性氣體或用于連接一檢測器來測量惰性氣體是否不當(dāng)漏出。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于以單一的測試閥來取代已知的低壓排氣閥及低壓絕緣閥，不僅可以達(dá)到整個(gè)閥系統(tǒng)的零件數(shù)目降低，亦可減少操作上的困難度及操作時(shí)間。由于零件的精簡可以進(jìn)而降低制造成本及維護(hù)成本。此外，測試閥可以與一檢測器連接而測量惰性氣體在管路中是否不當(dāng)漏出的情形發(fā)生。
文檔編號F17D3/01GK1752509SQ20041006650
公開日2006年3月29日 申請日期2004年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月20日
發(fā)明者陳偉賢 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司