技術(shù)編號：5812935
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于一種用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，可使用于一般需要供給惰性氣體的處理系統(tǒng)。背景技術(shù) 已知技術(shù)中的用于惰性氣體的閥系統(tǒng)，如圖1所示，包含微量閥102、兩個高純度氣體絕緣閥104、兩個惰性氣體鋼瓶106、兩個銜接器108、兩個高壓排氣閥110、兩個高壓絕緣閥112、兩個調(diào)節(jié)器114、真空產(chǎn)生器116、排氣孔118、兩個低壓排氣閥120、兩個低壓絕緣閥122、兩個手動閥124、兩個供氣開關(guān)126、惰性氣體出口128。一般而言，惰性氣體的供給必需源源不絕，因此...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。