感光性樹脂組合物的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、使用該感光性樹脂組合物的感光性元件、永久掩 ?？刮g劑和具備該永久掩模抗蝕劑的印刷配線板。
【背景技術(shù)】
[0002] 在印刷配線板的制造領(lǐng)域中，進(jìn)行在印刷配線板上形成永久掩?？刮g劑的操作。 在使用印刷配線板時(shí)，永久掩?？刮g劑具有防止導(dǎo)體層腐蝕或保持導(dǎo)體層間的電絕緣性的 作用。近年來(lái)，在印刷配線板上將半導(dǎo)體元件通過(guò)焊料進(jìn)行倒裝芯片安裝、引線接合安裝等 的工序中，永久掩?？刮g劑還具有作為阻焊膜的作用，即防止焊料附著于印刷配線板的導(dǎo) 體層的不必要部分。
[0003] 以往，印刷配線板制造中的永久掩?？刮g劑使用熱固性樹脂組合物通過(guò)絲網(wǎng)印刷 來(lái)制作，或者使用感光性樹脂組合物通過(guò)照相法來(lái)制作。例如，在使用FC(FlipChip，倒裝 芯片）、TAB(TapeAutomatedBonding，卷帶自動(dòng)接合）和COF(ChipOnFilm，薄膜覆晶）等 安裝方式的柔性配線板中，除了 1C芯片、電子部件、LCD(LiquidCrystalDisplay)面板和 連接配線圖案部分以外，絲網(wǎng)印刷熱固性樹脂糊，進(jìn)行熱固化而形成永久掩模抗蝕劑（例 如，專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 另外，對(duì)于搭載于電子部件的BGA(BallGridArray，球柵陣列）、CSP(ChipSize Package，芯片尺寸封裝）等半導(dǎo)體封裝基板，（1)為了在半導(dǎo)體封裝基板上通過(guò)焊料對(duì)半 導(dǎo)體元件進(jìn)行倒裝芯片安裝，（2)為了對(duì)半導(dǎo)體元件與半導(dǎo)體封裝基板進(jìn)行引線接合，或 (3)為了將半導(dǎo)體封裝基板焊接在母體基板上，需要除去其接合部分的永久掩?？刮g劑。因 此，在形成該永久掩?？刮g劑時(shí)，使用照相法，即：將感光性樹脂組合物涂布干燥后選擇性 地照射紫外線等活性光線使其固化，使用顯影液僅除去未照射部分，形成圖像。照相法從其 作業(yè)性良好考慮適合大量生產(chǎn)，因此在電子材料行業(yè)廣泛用于感光性樹脂組合物的圖像形 成（例如，專利文獻(xiàn)2~4)。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2003-198105號(hào)公報(bào)
[0008] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開平11-240930號(hào)公報(bào)
[0009] 專利文獻(xiàn)3 :日本特開2010-235739號(hào)公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)4 :日本特開2011-133851號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0012] 然而，在使用專利文獻(xiàn)2~4所記載的添加了顏料、填料等的感光性樹脂組合物的 情況下，顏料、填料等會(huì)妨礙紫外線的透過(guò)或吸收紫外線，因此如果想要形成20~40μm以 上這樣厚膜的永久掩?？刮g劑，則有時(shí)無(wú)法充分獲得底部的感光性樹脂組合物的光固化， 其結(jié)果是，存在顯影后產(chǎn)生底部被切掉的底切的情況。
[0013] 如果為了提高底部的光固化性而使紫外線照射的曝光量增多，則光衍射和光暈變 大，圖案截面的中間部（中心部）和最深部（底部）的線寬大于表面部（上部）的線寬，因 此存在產(chǎn)生抗蝕劑形狀的惡化、或分辨率降低這樣的問(wèn)題。另外，因氧阻聚而導(dǎo)致在抗蝕劑 深度方向上從表面至3μπι左右的區(qū)域中光固化不足，使抗蝕劑上部缺失，從而也存在抗蝕 劑形狀惡化這樣的問(wèn)題。因此現(xiàn)狀是，在形成20~40μm以上這樣厚膜的永久掩?？刮g劑 的情況下，不存在底部的光固化性良好且分辨率優(yōu)異的感光性樹脂組合物。
[0014]進(jìn)一步，近年來(lái)，伴隨電子設(shè)備的小型化、高性能化，永久掩?？刮g劑的孔徑大小 和孔間的隔開間距有微細(xì)化的傾向。例如，使用孔徑大小為100μπι且孔間的隔開間距為 100μm、或孔徑大小為80μm且孔間的間隔為80μm這樣的高精細(xì)圖案。因此，例如在倒裝 芯片安裝時(shí)，要求在分辨率提高的同時(shí)，從焊料填充性的觀點(diǎn)出發(fā)抗蝕劑形狀的穩(wěn)定性優(yōu) 異的永久掩?？刮g劑。
[0015]本發(fā)明鑒于這樣的問(wèn)題而完成，其目的是提供感光性樹脂組合物、使用該感光性 樹脂組合物的感光性元件、永久掩?？刮g劑和具備該永久掩?？刮g劑的印刷配線板，所述 感光性樹脂組合物由于在孔開口部底部的固化性優(yōu)異，因此不會(huì)產(chǎn)生底部被切掉的底切 和抗蝕劑上部的缺失，另外由于不會(huì)使紫外線照射的曝光量增多，因此圖案截面的中間部 (中心部）和最深部（底部）的線寬不大于表面部的線寬，即能夠形成圖案輪廓的直線性良 好且抗蝕劑形狀優(yōu)異、分辨率優(yōu)異的圖案。
[0016]另外，提供通過(guò)使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，能夠形成伴隨近年來(lái)電子設(shè)備 的小型化和高性能化的經(jīng)微細(xì)化的孔徑大小和孔間的隔開間距的形成穩(wěn)定性優(yōu)異的圖案 的感光性元件、永久掩?？刮g劑和具備該永久掩模抗蝕劑的印刷配線板。
[0017] 解決問(wèn)題的方法
[0018]本發(fā)明人等為了解決上述問(wèn)題反復(fù)進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)通過(guò)下述發(fā)明能夠 解決。即本發(fā)明提供下述感光性樹脂組合物、感光性元件、永久掩模抗蝕劑和印刷配線板。
[0019] [1] -種感光性樹脂組合物，其包含（A)酸改性含乙烯基環(huán)氧樹脂、（B)?；⒀?化物系光聚合引發(fā)劑、（C)添加劑和（D)光聚合性化合物，該（C)添加劑為選自以下物質(zhì)中 的至少一種：(C1)烷基氨基苯衍生物；(C2)吡唑啉系敏化劑或蒽系敏化劑；(C3)選自咪唑 系光聚合引發(fā)劑、叮啶系光聚合引發(fā)劑和二茂鈦系光聚合引發(fā)劑中的至少一種光聚合引發(fā) 劑；(C4)選自受阻酚系抗氧化劑、醌系抗氧化劑、胺系抗氧化劑、硫系抗氧化劑和磷系抗氧 化劑中的至少一種抗氧化劑；以及（C5)含硫醇基化合物。
[0020] [2] -種感光性元件，其具有支撐體和在該支撐體上使用上述[1]所述的感光性 樹脂組合物形成的感光層。
[0021] [3] -種永久掩?？刮g劑，由上述[1]所述的感光性樹脂組合物形成。
[0022] [4] -種印刷配線板，具備上述[3]所述的永久掩?？刮g劑。
[0023] 發(fā)明的效果
[0024]根據(jù)本發(fā)明，能夠獲得不產(chǎn)生底部被切掉的底切和抗蝕劑上部的缺失而能夠形成 圖案輪廓的直線性良好且抗蝕劑形狀優(yōu)異、分辨率優(yōu)異的圖案的感光性樹脂組合物，能夠 形成經(jīng)微細(xì)化的孔徑大小和孔間的隔開間距的形成穩(wěn)定性優(yōu)異的圖案的感光性元件、永久 掩?？刮g劑和具備其的印刷配線板。
【附圖說(shuō)明】
[0025] 圖1是使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的抗蝕劑的截面示意圖。
[0026]圖2是表示實(shí)施例所使用的負(fù)掩模的圖案形狀的圖。
[0027]圖3是表示實(shí)施例所使用的負(fù)掩模的圖案形狀的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028] [感光性樹脂組合物]
[0029] 本發(fā)明的實(shí)施方式（以下，也僅稱為"本實(shí)施方式"）所涉及的感光性樹脂組合物 為包含（A)酸改性含乙烯基環(huán)氧樹脂（以下，也稱為"(A)成分"）、（B)?；⒀趸锵倒?聚合引發(fā)劑（以下，也稱為"(B)成分"）、（〇添加劑（以下，也稱為"（C)成分"）和（D)光 重合性化合物（以下，也稱為"(D)成分"）的感光性樹脂組合物，該（C)添加劑為選自以下 物質(zhì)中的至少一種：(C1)烷基氨基苯衍生物（以下，也稱為"（C1)成分"）、（C2)吡唑啉系 敏化劑或蒽系敏化劑（以下，也稱為"（C2)成分"）、（C3)選自咪唑系光聚合引發(fā)劑、叮啶系 光聚合引發(fā)劑和二茂鈦系光聚合引發(fā)劑中的至少一種光聚合引發(fā)劑（以下，也稱為"（C3) 成分"）、（C4)選自受阻酚系抗氧化劑、醌系抗氧化劑、胺系抗氧化劑、硫系抗氧化劑和磷系 抗氧化劑中的至少一種抗氧化劑（以下，也稱為"（C4)成分"）、以及（C5)含硫醇基化合物 (以下，也稱為"（C5)成分"）。
[0030] 以下，對(duì)各成分進(jìn)行說(shuō)明。
[0031] <㈧酸改性含乙烯基環(huán)氧樹脂>
[0032] 本實(shí)施方式的感光性樹脂組合物含有酸改性含乙烯基環(huán)氧樹脂作為（A)成分。
[0033]㈧酸改性含乙烯基環(huán)氧樹脂只要是利用含乙烯基的有機(jī)酸將環(huán)氧樹脂改性所得 的物質(zhì)就沒有特別限制，優(yōu)選為使環(huán)氧樹脂（a)與含乙烯基單羧酸（b)反應(yīng)而得到的環(huán)氧 樹脂（a'），更優(yōu)選為進(jìn)一步使該環(huán)氧樹脂（a'）與含飽和基或不飽和基的多元酸酐（c)反 應(yīng)而得到的環(huán)氧樹脂（a"）。
[0034]作為環(huán)氧樹脂（a)，優(yōu)選為選自具有下述通式（I)~（V)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧 樹脂中的至少一種。對(duì)具有各通式所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂進(jìn)行說(shuō)明。
[0035] 〔具有通式（I)所表示的結(jié)構(gòu)單元的酚醛清漆型環(huán)氧樹脂〕
[0036] 首先，作為環(huán)氧樹脂（a)，優(yōu)選舉出具有下述通式（I)所表示的結(jié)構(gòu)單元的酚醛清 漆型環(huán)氧樹脂，作為具有這樣的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂，優(yōu)選舉出例如下述通式（I'）所表示 的酚醛清漆型環(huán)氧樹脂
[0037][化1]
[0038]
[0039] 通式（I)中，R11表示氫原子或者甲基，Y1表示縮水甘油基。
[0040] 在具有通式（I)所表示的結(jié)構(gòu)單元的酚醛清漆型環(huán)氧樹脂中，通式（I)所表示的 結(jié)構(gòu)單元的含量?jī)?yōu)選大于或等于70質(zhì)量％，更優(yōu)選大于或等于90質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選大于 或等于95質(zhì)量％。
[0041] 另外，通式（I'）中，R11'表示氫原子或者甲基，Υ1'表示氫原子或者縮水甘油基，且 氫原子與縮水甘油基的摩爾比優(yōu)選為〇 :1〇〇~30 :70,更優(yōu)選為0 :100~10 :90,進(jìn)一步 優(yōu)選為0:100。由氫原子與縮水甘油基的摩爾比可知，至少一個(gè)Υ1'表示縮水甘油基。通式 (I'）中，nl表示大于或等于1的整數(shù)。另外，多個(gè)R11'彼此可以相同也可以不同，多個(gè)Υ1' 可以相同也可以不同。
[0042]nl如上所述為大于或等于1的整數(shù)，優(yōu)選為10~200,更優(yōu)選為30~150,進(jìn)一步 優(yōu)選為30~100。如果nl處于上述范圍內(nèi)，則有能夠得到抗蝕劑形狀、分辨率、耐熱性、密 合性和電絕緣性的平衡更加優(yōu)異的抗蝕圖案的傾向。
[0043] 作為通式（I'）所表示的酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，優(yōu)選舉出例如苯酚酚醛清漆型環(huán) 氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂等。這些酚醛清漆型環(huán)氧樹脂例如能夠通過(guò)利用公知的 方法使苯酚酚醛清漆樹脂、甲酚酚醛清漆樹脂等酚醛樹脂與表氯醇等表齒醇反應(yīng)而得到。
[0044] 作為通式（I'）所表示的酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，能夠商業(yè)購(gòu)得例如YDCN-701、 YDCN-702、YDCN-703、YDCN-704、YDCN-704L、YDPN-638、YDPN-602(以上為新日鐵住金化 學(xué)（株）制、商品名）、DEN-431、DEN-439(以上為陶氏化學(xué)（株）制、商品名）、E0CN-120、 E0CN-102S、E0CN-103S、E0CN-104S、E0CN-1012、E0CN-1025、E0CN-1027、BREN(以上為日本 化藥（株）制、商品名）、EPN-1138、EPN-1235、EPN-1299(以上為BASF日本（株）制、商品 名）、N-73〇、N-77〇、N-865、N-665、N_673、VH-415〇、VH-4240(以上為DIC(株）制、商品名） 等。
[0045]〔具有通式（II)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂〕
[0046] 作為環(huán)氧樹脂（a)，優(yōu)選舉出具有下述通式（II)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂， 作為具有這樣的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂，優(yōu)選舉出例如下述通式（II'）所表示的雙酚A型環(huán) 氧樹脂和雙酚F型環(huán)氧樹脂。
[0047] [化 2]
[0048]
[0049] 通式（II)中，R1Z表示氫原子或者甲基，Yz表示縮水甘油基。
[0050] 在具有通式（II)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂中，通式（II)所表示的結(jié)構(gòu)單元 的含量?jī)?yōu)選大于或等于70質(zhì)量％，更優(yōu)選大于或等于90質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選大于或等于95 質(zhì)量％。
[0051]另外，通式（II'）中，R12'表示氫原子或者甲基，Υ2'表示氫原子或者縮水甘油基， 且氫原子與縮水甘油基的摩爾比優(yōu)選為〇 : 100~30 :70,更優(yōu)選為0 :100~10 :90,進(jìn)一步 優(yōu)選為0:100。由氫原子與縮水甘油基的摩爾比可知，至少一個(gè)Υ2'表示縮水甘油基。通式 (II'）中，η2表示大于或等于1的整數(shù)。另外，多個(gè)R12'可以相同也可以不同，在η2大于或 等于2的情況下，多個(gè)Υ2'可以相同也可以不同。
[0052]η2如上所述為大于或等于1的整數(shù)，優(yōu)選為10~100,更優(yōu)選為10~80,進(jìn)一步 優(yōu)選為15~60。如果η2處于上述范圍內(nèi)，則有能夠得到抗蝕劑形狀、分辨率、密合性、耐熱 性和電絕緣性的平衡更加優(yōu)異的抗蝕圖案的傾向。
[0053] 由通式（II'）表示且Υ2'為縮水甘油基的雙酚Α型環(huán)氧樹脂或雙酚F型環(huán)氧樹脂 能夠通過(guò)例如使下述通式（VII)所表示的雙酚A型環(huán)氧樹脂或雙酚F型環(huán)氧樹脂的羥基與 表氯醇等表鹵醇反應(yīng)而得到。
[0054] [化 3]
[0055]
[0056] 通式（VII)中，R12和n2與上述相同。
[0057] 如果考慮得到抗蝕劑形狀、分辨率、膜強(qiáng)度、耐熱性、絕緣可靠性、耐熱沖擊性和分 辨率的平衡更加優(yōu)異的抗蝕圖案，則表鹵醇的使用量?jī)?yōu)選相對(duì)于通式（VII)所表示的環(huán)氧 樹脂中的羥基1摩爾設(shè)為2~10摩爾。
[0058] 從與其同樣的觀點(diǎn)考慮，在通式（VII)所表示的環(huán)氧樹脂與表鹵醇反應(yīng)時(shí)，優(yōu)選 使用堿性催化劑。作為堿性催化劑，優(yōu)選舉出例如堿土金屬氫氧化物、堿金屬碳酸鹽、堿金 屬氫氧化物等，從催化劑活性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鈣等堿金屬 氫氧化物。另外，其使用量?jī)?yōu)選相對(duì)于通式（VII)所表示的環(huán)氧樹脂中的羥基1摩爾為 0. 9~2摩爾。
[0059] 在通式（VII)所表示的環(huán)氧樹脂與表鹵醇的反應(yīng)中，從更加提高反應(yīng)速度的觀點(diǎn) 考慮，作為有機(jī)溶劑，優(yōu)選使用例如甲醇、乙醇等醇類；甲基溶纖劑、乙基溶纖劑等溶纖劑 類；四氫呋喃、二噁烷等醚類；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲基亞砜等極性有機(jī)溶劑 等。能夠單獨(dú)使用這些物質(zhì)中的1種、或者組合使用2種以上，從極性調(diào)整的觀點(diǎn)考慮，優(yōu) 選組合使用2種以上。
[0060] 另外，反應(yīng)溫度優(yōu)選為20~120°C，更優(yōu)選為50~120°C，反應(yīng)時(shí)間優(yōu)選為0. 5~ 10小時(shí)。如果反應(yīng)溫度與反應(yīng)時(shí)間處于上述范圍內(nèi)，則反應(yīng)不易變慢，另外不易產(chǎn)生副反應(yīng) 產(chǎn)物。
[0061] 上述反應(yīng)后，優(yōu)選在加熱減壓下，通過(guò)蒸餾將未反應(yīng)的表鹵醇、有機(jī)溶劑等蒸餾除 去，從而得到通式（II'）所表示的環(huán)氧樹脂。
[0062] 另外，從得到純度更高的環(huán)氧樹脂的觀點(diǎn)考慮，能夠使得到的環(huán)氧樹脂再次溶解 于有機(jī)溶劑中，并添加上述堿金屬氫氧化物等堿性催化劑進(jìn)行反應(yīng)。這時(shí)，從提高反應(yīng)速度 的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選以相對(duì)于環(huán)氧樹脂為〇. 1~3質(zhì)量％的范圍使用季銨鹽、冠醚等相轉(zhuǎn)移催 化劑。在這種情況下，將反應(yīng)結(jié)束后生成的鹽等通過(guò)過(guò)濾、水洗等除去，進(jìn)一步在加熱減壓 下將有機(jī)溶劑等蒸餾除去，從而能夠得到高純度的環(huán)氧樹脂。
[0063] 作為通式（II'）所表示的雙酚A型環(huán)氧樹脂或者雙酚F型環(huán)氧樹脂，能夠商業(yè) 購(gòu)得例如ΕΡΙΚ0ΤΕ807、815、825、827、828、834、1001、1004、1007 和 1009(以上為三菱化 學(xué)（株）制、商品名）、DER-330、DER-301、DER-361(以上為陶氏化學(xué)（株）制、商品名）、 YD-8l25、YDF-l7〇、YDF-l75S、YDF-2〇01、YDF-2〇04、YDF-8l7〇(以上為新日鐵住金化學(xué)（株） 制、商品名）等。
[0064] 〔具有通式（III)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂〕
[0065] 作為環(huán)氧樹脂（a)，優(yōu)選舉出具有下述通式（III)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂， 作為具有這樣的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂，優(yōu)選舉出例如下述通式（III'）所表示的三苯酚甲 烷型環(huán)氧樹脂。
[0066][化 4]
[0067]
[0068] 通式（III)和（III'）中，Y3表示氫原子或者縮水甘油基，且氫原子與縮水甘油基 的摩爾比優(yōu)選為0 :1〇〇~30 :70。由氫原子與縮水甘油基的摩爾比可知，至少一個(gè)Y3表示 縮水甘油基。式（III'）中，n3表示大于或等于1的整數(shù)。另外，多個(gè)Y3可以相同也可以 不同。
[0069]n3如上所述為大于或等于1的整數(shù)，優(yōu)選為10~100,更優(yōu)選為15~80,進(jìn)一步 優(yōu)選為15~70。如果n3處于上述范圍內(nèi)，則能夠得到抗蝕劑形狀、分辨率、耐熱性、密合性 和電絕緣性的平衡更加優(yōu)異的抗蝕圖案。
[0070] 在具有通式（III)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂中，通式（III)所表示的結(jié)構(gòu)單 元的含量?jī)?yōu)選大于或等于70質(zhì)量％，更優(yōu)選大于或等于90質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選大于或等于 95質(zhì)量％。
[0071] 作為通式（III'）所表示的三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂，能夠商業(yè)購(gòu)得例如FAE-2500、 ΕΡΡΝ-501Η、ΕΡΡΝ-502Η(以上為日本化藥（株）制、商品名）等。
[0072]〔具有通式（IV)所表示的結(jié)構(gòu)單元的雙酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂〕
[0073] 作為環(huán)氧樹脂（a)，優(yōu)選舉出具有下述通式（IV)所表示的結(jié)構(gòu)單元的雙酚酚醛清 漆型環(huán)氧樹脂。
[0074][化5]
[0075] .Λ.?*****：
[0076] 通式（IV)中，R13表示氫原子、烷基、芳基、芳烷基、磺酸基或者三鹵甲基，Υ4表示氫 原子或者縮水甘油基。至少一個(gè)Υ4表示縮水甘油基，多個(gè)R13可以相同也可以不同。
[0077]R13的烷基的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~20,更優(yōu)選為1~12,進(jìn)一步優(yōu)選為1~3。另外， 烷基可以為直鏈狀也可以為支鏈狀，還可以被鹵原子、烷基、芳基、芳烷基、氨基、酰胺基、烷 氧基等取代。
[0078] 作為烷基，優(yōu)選舉出例如甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、 戊基、仲戊基、異戊基、新戊基等，在這些中，更優(yōu)選甲基。
[0079] 作為芳基，可舉出苯基、聯(lián)苯基、萘基、蒽基、菲基等，優(yōu)選為成環(huán)碳原子數(shù)6~20 的芳基，更優(yōu)選為成環(huán)碳原子數(shù)6~14的芳基。另外，芳基也可以被鹵原子、烷基、芳基、芳 烷基、氨基、酰胺基、烷氧基等取代。
[0080] 作為芳烷基，只要是上述烷基的一個(gè)氫原子被上述芳基取代所得的基團(tuán)就沒有特 別限制，可舉出例如芐基、苯基乙基、苯基丙基、萘基甲基等。另外，芳烷基也可以被鹵原子、 烷基、芳基、芳烷基、氨基、酰胺基、烷氧基等取代。
[0081] 在具有通式（IV)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂中，通式（IV)所表示的結(jié)構(gòu)單元 的含量?jī)?yōu)選大于或等于70質(zhì)量％，更優(yōu)選大于或等于90質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選大于或等于95 質(zhì)量％。
[0082] 如果處于上述范圍內(nèi)，則能夠得到抗蝕劑形狀、分辨率、耐熱性、密合性和電絕緣 性的平衡更加優(yōu)異的抗蝕圖案。
[0083]〔具有通式（V)所表示的結(jié)構(gòu)單元的雙酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂〕
[0084] 作為環(huán)氧樹脂（a)，優(yōu)選舉出具有下述通式（V)所表示的結(jié)構(gòu)單元的雙酚酚醛清 漆型環(huán)氧樹脂。
[0085] [化 6]
[0086]
[0087] 通式（V)中，R14表示氫原子、烷基、芳基、芳烷基、磺酸基或者三鹵甲基，Y5表示氫 原子或者縮水甘油基。至少一個(gè)Υ5表示縮水甘油基，多個(gè)R14可以相同也可以不同。另外， 作為R14的烷基、芳基、芳烷基，可以例示與R13所記載的基團(tuán)相同的基團(tuán)，優(yōu)選的形態(tài)也同 樣。
[0088] 在具有通式（V)所表示的結(jié)構(gòu)單元的環(huán)氧樹脂中，通式（V)所表示的結(jié)構(gòu)單元的 含量?jī)?yōu)選大于或等于70質(zhì)量％，更優(yōu)選大于或等于90質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選大于或等于95 質(zhì)量％。如果處于上述范圍內(nèi)，則能夠得到抗蝕劑形狀、分辨率、耐熱性、密合性和電絕緣性 的平衡更加優(yōu)異的抗蝕圖案。
[0089] 在通式（V)中，R14為氫原子且Υ5為縮水甘油基的物質(zhì)能夠作為ΕΧΑ-7376系列 (DIC(株）制、商品名）商業(yè)購(gòu)得，另外，R14為甲基且Υ5為縮水甘油基的物質(zhì)能夠作為ΕΡ0Ν SU8系列（三菱化學(xué)（株）制、商品名）商業(yè)購(gòu)得。
[0090] 具有通式（IV)和（V)所表示的結(jié)構(gòu)單元的雙酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，例如能夠分 別使下述通式（VIII)和（IX)所表示的雙酚酚醛清漆樹脂的羥基與表氯醇等表鹵醇反應(yīng)而 得到。
[0091] [化 7]
[0092]
[0093] 通式（VIII)中，R13與上述通式（IV)中的R13相同，通式（IX)中，R14與上述通式 (V)中的R14相同。
[0094] 這些具有通式（VIII)和（IX)所表示的結(jié)構(gòu)單元的雙酚酚醛清漆樹脂，優(yōu)選例如 在分子結(jié)構(gòu)內(nèi)具有碳原子數(shù)1~4的烷基的磺酸存在下使雙酚化合物與醛化合物或者酮化 合物反應(yīng)而得到。
[0095] 這里，作為雙酚化合物，只要是具有2個(gè)羥基苯基的化合物就沒有特別限制，優(yōu)選 舉出