正性光敏樹(shù)脂組合物、光敏樹(shù)脂膜及使用其的顯示裝置的制造方法
【專(zhuān)利說(shuō)明】
[0001] 相關(guān)申請(qǐng)的引用
[0002] 本申請(qǐng)要求于2013年12月5日在韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?10-2013-0150809的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，通過(guò)引用將其全部?jī)?nèi)容結(jié)合于本文中。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003] 本發(fā)明涉及正性光敏樹(shù)脂組合物、以及光敏樹(shù)脂膜和使用該光敏樹(shù)脂膜的顯示裝 置（顯示器件）。
【背景技術(shù)】
[0004] 通常，用于半導(dǎo)體裝置的表面保護(hù)層和夾層絕緣膜使用具有優(yōu)異的耐熱性、電特 性、機(jī)械特性等的聚酰亞胺樹(shù)脂或聚苯并噁唑樹(shù)脂。近來(lái)，這些樹(shù)脂已被用作光敏聚酰亞胺 前體組合物或聚苯并噁唑前體組合物。將組合物涂布在用于半導(dǎo)體或顯示器的基板上，通 過(guò)紫外（UV)線進(jìn)行圖案化、顯影、以及熱固化，以容易地形成表面保護(hù)層、層間絕緣層等。 光敏聚酰亞胺前體組合物或聚苯并噁唑前體組合物可以應(yīng)用為其中曝光部分被顯影和溶 解的正型，以及其中曝光部分被固化和保留的負(fù)型。由于無(wú)毒的堿性水溶液被用作顯影液， 因此優(yōu)選使用正型光敏聚酰亞胺前體組合物。然而，由于組合物的羧酸過(guò)多地溶于堿性水 溶液，因此使得聚酰亞胺前體組合物具有不能獲得期望圖案的問(wèn)題。為了解決該問(wèn)題，可 以混合用于降低對(duì)于堿性水溶液的溶解性的光敏重氮醌化合物，但可能難以獲得期望的圖 案。當(dāng)過(guò)多地使用光敏重氮醌化合物時(shí)，顯著地降低了對(duì)于堿性水溶液的溶解性，并因而劣 化了可顯影性。此外，通過(guò)用酚羥基酸置換羧酸例如用具有至少一個(gè)羥基的醇化合物酯化 聚酰胺酸制備的材料（參照日本專(zhuān)利特許公開(kāi)PyonglO-30739)，但是這種材料不能夠充分 地被開(kāi)發(fā)并且已經(jīng)引入了膜損失或樹(shù)脂從基板脫層的問(wèn)題。近來(lái)，通過(guò)將聚苯并噁唑前體 與重氮萘醌化合物混合制備的另一材料已經(jīng)引起關(guān)注（日本專(zhuān)利特許公開(kāi)Sh 〇63-96162)。 然而，當(dāng)實(shí)際用作聚苯并噁唑前體組合物時(shí)，未曝光部分的膜損失顯著增加，顯影之后很難 獲得期望的圖案。為了改善該問(wèn)題，如果增加聚苯并噁唑前體的分子量，則會(huì)降低未曝光部 分的膜損失，但會(huì)在顯影過(guò)程中產(chǎn)生殘留物（浮渣），劣化分辨率并且增加在曝光部分上的 顯影時(shí)間。因此，已經(jīng)嘗試開(kāi)發(fā)當(dāng)沒(méi)有過(guò)多使用光敏重氮醌化合物時(shí)具有改善的膜殘留率、 靈敏度等的堿溶性樹(shù)脂。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式提供了一種正性光敏樹(shù)脂組合物，由于改善堿溶性樹(shù)脂的 固化度，使得固化之后所述正性光敏樹(shù)脂組合物具有高靈敏度（敏感性）以及低膜減少率。
[0006] 本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式提供了一種使用正性光敏樹(shù)脂組合物制備的光敏樹(shù)脂 膜。
[0007] 本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施方式提供了 一種包括光敏樹(shù)脂膜的顯示裝置。
[0008] 本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式提供了一種正性光敏樹(shù)脂組合物，包含：(A)含有由以下 化學(xué)式1表示的重復(fù)單元的堿溶性樹(shù)脂；(B)光敏重氮醌化合物；以及（C)溶劑。
[0009][化學(xué)式1]
[0010]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種正性光敏樹(shù)脂組合物，包括： (A) 包含由以下化學(xué)式1表示的重復(fù)單元的堿溶性樹(shù)脂； (B) 光敏重氮醌化合物；以及 (C) 溶劑： [化學(xué)式1]
其中，在以上化學(xué)式1中， X1、X2和X3獨(dú)立地是芳香族有機(jī)基團(tuán)、二價(jià)至八價(jià)脂肪族有機(jī)基團(tuán)、或二價(jià)至八價(jià)脂環(huán) 族有機(jī)基團(tuán)， m和n獨(dú)立地是1至10的整數(shù)， k是1至10, 000的整數(shù)，以及 P是0至6的整數(shù)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物，其中，m和n獨(dú)立地是1或2的整數(shù)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物，其中，所述堿溶性樹(shù)脂是聚酰亞胺-聚 羥基酰胺的交替共聚物、嵌段共聚物、無(wú)規(guī)共聚物、或它們的組合。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物，其中，所述堿溶性樹(shù)脂是聚酰亞胺-聚 羥基酰胺的交替共聚物。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物，其中，所述堿溶性樹(shù)脂具有l(wèi)，000g/ mol至20, 000g/mol的重均分子量。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物，其中，所述溶劑是N-甲基-2-吡咯 烷酮、Y- 丁內(nèi)酯、N，N-二甲基乙酰胺、二甲亞砜、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙 二醇二丁醚、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、 乳酸丁酯、甲基-1，3- 丁二醇乙酸酯、1，3- 丁二醇-3-單甲醚、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、甲 基-3-甲氧基丙酸酯、或它們的組合。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物，其中，所述正性光敏樹(shù)脂組合物進(jìn)一 步包含選自表面活性劑、流平劑、熱生酸劑以及它們的組合的添加劑。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物，其中，基于100重量份的所述堿溶性樹(shù) 脂（A)，所述正性光敏樹(shù)脂組合物包含： 5重量份至100重量份的所述光敏重氮醌化合物（B)，以及 200重量份至900重量份的所述溶劑（C)。
9. 一種通過(guò)使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的正性光敏樹(shù)脂組合物形成的光敏樹(shù)脂膜。
10. -種包括根據(jù)權(quán)利要求9所述的光敏樹(shù)脂膜的顯示裝置。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了正性光敏樹(shù)脂組合物、光敏樹(shù)脂膜及使用其的顯示裝置。所述正性光敏樹(shù)脂組合物包括：(A)包含由以下化學(xué)式1表示的重復(fù)單元的堿溶性樹(shù)脂；(B)光敏重氮醌化合物；以及(C)溶劑，[化學(xué)式1]在以上化學(xué)式1中，各取代基與在【具體實(shí)施方式】中定義的相同。
【IPC分類(lèi)】G03F7-039, G03F7-016
【公開(kāi)號(hào)】CN104698755
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410211435
【發(fā)明人】權(quán)孝英, 南宮爛, 姜真熙, 李范珍, 田桓承
【申請(qǐng)人】第一毛織株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年5月19日
【公告號(hào)】US20150160553