負(fù)性光敏性樹脂組合物的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及負(fù)性光敏性樹脂組合物,具體來(lái)說(shuō),涉及負(fù)性光敏性樹脂組合物,該 光敏性樹脂組合物用于形成用于有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)和液晶顯示器(LCD)的薄膜晶體 管(TFT)陣列的中間層絕緣膜。
【背景技術(shù)】
[0002] 正性和負(fù)性光敏性樹脂組合物用于制造絕緣膜,其用于各種顯示設(shè)備包括IXD、 OLED 等。
[0003] 包含堿性-可溶樹脂(或共聚物)和1,2-醌二疊氮化物(1,2-quinonediazide) 化合物的常規(guī)正性樹脂常常遭受褪色的問(wèn)題,這是曝光之時(shí)、顯影后烘烤或吸收了短波長(zhǎng) 的光例如UV射線造成的,這還可能產(chǎn)生導(dǎo)致在IXD中有不利殘像(afterimage)的雜質(zhì)。
[0004] 因此,已通過(guò)提供負(fù)性光敏性樹脂組合物來(lái)進(jìn)行匡正這些問(wèn)題的嘗試,其形成在 熱固化步驟之后具有優(yōu)異的透光率和敏感性的固化的膜。提出將包括堿性-可溶樹脂的 光敏性樹脂組合物用作用于顯示設(shè)備例如TFT LCD的有機(jī)絕緣膜,該樹脂組合物包括衍 生自(甲基)丙烯酸縮水甘油基酯和/或含脂環(huán)族環(huán)氧基團(tuán)的不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元 (參見,韓國(guó)特許公開專利(Korean Laid-Open Patent Publication)2010-0099048 和 2012-0029319)〇
[0005] 盡管由這些常規(guī)的光敏性樹脂組合物形成的固化的膜具有優(yōu)異的透射率,但當(dāng)在 半色調(diào)圖案中制備時(shí),難以保持半色調(diào)邊緣和它的分辨率,因?yàn)樗突恼掣讲蛔恪?br>
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006] 因此,本發(fā)明的目的之一是提供負(fù)性光敏性樹脂組合物以用于絕緣膜,其在熱固 化步驟之后具有優(yōu)異的保留率以及改善的半色調(diào)邊緣(half-tone margin)和分辨率,因?yàn)?當(dāng)在半色調(diào)圖案中制備時(shí),它具有優(yōu)異的與基片的粘附。
[0007] 根據(jù)本發(fā)明的一方面,提供了光敏性樹脂組合物,其包括:
[0008] (A)共聚物,其包括(al)衍生自烯鍵式不飽和羧酸,烯鍵式不飽和羧酸酸酐,或 其混合物的結(jié)構(gòu)單元,(a2)衍生自具有脂環(huán)族環(huán)氧基團(tuán)的不飽和單體的結(jié)構(gòu)單元,和(a3) 衍生自稀鍵式不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元,其不同于結(jié)構(gòu)單元(al)和(a2);
[0009] (B)可聚合的不飽和化合物;
[0010] (C)光聚合引發(fā)劑;和
[0011] (D)硅烷偶聯(lián)劑,其具有通式(I):
[0012]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種光敏性樹脂組合物,其包含: (A) 共聚物,其包括(al)衍生自烯鍵式不飽和羧酸,烯鍵式不飽和羧酸酸酐,或其混 合物的結(jié)構(gòu)單元,(a2)衍生自具有脂環(huán)族環(huán)氧基團(tuán)的不飽和單體的結(jié)構(gòu)單元,和(a3)衍生 自稀鍵式不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元,其不同于結(jié)構(gòu)單元(al)和(a2); (B) 可聚合的不飽和化合物; (C) 光聚合引發(fā)劑;和 (D) 具有通式(I)的硅烷偶聯(lián)劑: 其中
札各自獨(dú)立地是氫、或直鏈、支鏈或環(huán)狀Ck烷基或Ck烷氧基; X,Y和Z各自獨(dú)立地是直鏈、支鏈或環(huán)狀(^6烷基;和n和a各自獨(dú)立地為1-5的整數(shù)。
2. 如權(quán)利要求1所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,所述具有通式(I)的硅烷偶聯(lián) 劑是N-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷。
3. 如權(quán)利要求1所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,用于提供結(jié)構(gòu)單元(a2)的具 有脂環(huán)族環(huán)氧基團(tuán)的不飽和單體可用通式(II)表示:
其中 札是氫或CrC4烷基;和 尺2是CfC4亞烷基。
4. 如權(quán)利要求3所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,所述由通式(II)表示的單體 是丙烯酸3, 4-環(huán)氧環(huán)己基甲基酯或者甲基丙烯酸3, 4-環(huán)氧環(huán)己基甲基酯。
5. 如權(quán)利要求1所述的光敏性樹脂組合物,其特征在于,以構(gòu)成共聚物的結(jié)構(gòu)單元的 總摩爾數(shù)為基準(zhǔn)計(jì),所述共聚物(A)分別包括5-50摩爾%、10-50摩爾%和5-70摩爾%的 結(jié)構(gòu)單元(al)、(a2)和(a3)。
【專利摘要】本文批露了一種負(fù)性光敏性樹脂組合物,其包括(A)共聚物,該共聚物包括(a1)衍生自烯鍵式不飽和羧酸,烯鍵式不飽和羧酸酸酐,或其混合物的結(jié)構(gòu)單元,(a2)衍生自具有脂環(huán)族環(huán)氧基團(tuán)的不飽和單體的結(jié)構(gòu)單元,和(a3)衍生自烯鍵式不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元,其不同于結(jié)構(gòu)單元(a1)和(a2);(B)可聚合的不飽和化合物;(C)光聚合引發(fā)劑;和(D)具有通式(I)的硅烷偶聯(lián)劑。所述光敏性樹脂組合物可提供固化的膜,其在熱固化步驟之后具有優(yōu)異的保留率和改善的半色調(diào)邊緣和分辨率,因?yàn)楫?dāng)在半色調(diào)圖案中形成時(shí),它具有優(yōu)異的與基片的粘附,這可用作用于OLED和LCD的絕緣膜。
【IPC分類】G03F7-004, G03F7-027
【公開號(hào)】CN104698753
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410748626
【發(fā)明人】樸京在, 金承根, 金應(yīng)坤
【申請(qǐng)人】羅門哈斯電子材料韓國(guó)有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年12月9日