本實用新型涉及供料裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩模涂膠機(jī)的供料裝置。

背景技術(shù)：

光刻膠或者抗蝕劑(Photo Resist)由感光樹脂，增感劑和溶劑三種主要成分組成。感光樹脂在經(jīng)過激光或者電子束曝光后會發(fā)生光固化反應(yīng)，使得曝光區(qū)域內(nèi)的樹脂物理性能如溶解性，親合性等會發(fā)生明顯變化。電子束光刻要求抗蝕劑具有靈敏度高，對比度強(qiáng)以及抗干法刻蝕選擇性等。最早使用的電子束抗蝕劑是聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate，PMMA)，這種光刻膠具有較強(qiáng)的穩(wěn)定性，優(yōu)異的分辨率和成本低等優(yōu)點。PMMA雖然具有較高的分辨率，附著能力強(qiáng)但是靈敏度較差。化學(xué)放大型膠(chemically amplified resist,CAR)彌補(bǔ)了PMMA感光靈敏度的不足，提高了電子束曝光的效率。CAR中利用化學(xué)催化反應(yīng)來放大輻射的粒子帶來的效應(yīng)，很有效地提高了光膠靈敏度從而提升了產(chǎn)率。

涂膠機(jī)的供料裝置的出現(xiàn)大大方便了涂膠機(jī)的工作，但是目前階段的涂膠機(jī)的供料裝置，存在諸多的不足之處，例如，供料過程容易導(dǎo)致膠液附著在其上，導(dǎo)致膠液的損失，供料導(dǎo)向單一，且無法控制一次性供料的多少。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：為了解決供料過程容易導(dǎo)致膠液附著在其上，導(dǎo)致膠液的損失，供料導(dǎo)向單一，且無法控制一次性供料的多少的問題，本實用新型提供一種掩模涂膠機(jī)的供料裝置來解決上述問題。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種掩模涂膠機(jī)的供料裝置，包括膠液緩存槽,所述膠液緩存槽的頂部安裝有副連接管和主連接管，且主連接管安裝在膠液緩存槽的頂部的中間位置處，副連接管圍繞主連接管安裝，所述膠液緩存槽的一側(cè)安裝有膠桶連接頭，所述膠液緩存槽的另一側(cè)安裝有回流管，所述回流管上安裝有水泵，所述膠液緩存槽的內(nèi)側(cè)壁安裝有防粘貼板，所述膠液緩存槽的下方安裝有密封槽，所述密封槽的內(nèi)部安裝有儲氣球，所述儲氣球的內(nèi)部安裝有氣囊，所述氣囊內(nèi)安裝有伸縮裝置，所述儲氣球的頂部安裝有出氣管，所述出氣管的頂部安裝有出氣口，所述儲氣球的底部安裝有充氣管，所述充氣管上安裝有電磁閥。

優(yōu)選的，所述出氣管與充氣管均穿過儲氣球安裝在氣囊的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述出氣口穿過密封槽安裝在膠液緩存槽內(nèi)，且出氣口的直徑與膠液緩存槽的直徑完全切合。

優(yōu)選的，所述主連接管共設(shè)置有三個，且三個主連接管并排安裝在膠液緩存槽的頂部的直徑所在線上。

本實用新型的有益效果是，本實用新型的頂部安裝有多個副連接管和主連接管，通過其可以將膠液供給到不同方向，連接方向可遍布多處，大大增大了裝置與涂膠機(jī)的安裝，且在膠液緩存槽的內(nèi)側(cè)壁上安裝有防粘貼板，通過防粘貼板可以防止膠液在輸送過程的損失問題，大大降低了資源的浪費，節(jié)省了資源，且在膠液緩存槽的下方安裝有密封槽，密封槽內(nèi)安裝有由儲氣球保護(hù)的氣囊，通過對氣囊的壓縮，使氣體進(jìn)入到膠液緩存槽內(nèi)，使其內(nèi)的膠液被送出，通過氣壓變換來壓縮供料，不會出現(xiàn)料液損失，且根據(jù)氣體量可以精確控制供給膠液的量。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型膠液緩存槽的俯視圖。

圖中1、副連接管，2、水泵，3、回流管，4、膠液緩存槽，5、出氣口,6、出氣管，7、密封槽，8、底座，9、主連接管，10、防粘貼板，11、膠桶連接頭，12、儲氣球，13、氣囊，14、伸縮裝置，15、充氣管，16、電磁閥。

具體實施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。

請參閱圖1-2，本實用新型提供的一種掩模涂膠機(jī)的供料裝置實施例：一種掩模涂膠機(jī)的供料裝置，包括膠液緩存槽4,膠液緩存槽4的頂部安裝有副連接管1和主連接管9，膠液緩存槽4是膠液供料的中轉(zhuǎn)站，副連接管1和主連接管9是將膠液緩存槽4的膠液輸送至噴膠槍內(nèi)的裝置，且主連接管9安裝在膠液緩存槽4的頂部的中間位置處，副連接管1圍繞主連接管9安裝，膠液緩存槽4的一側(cè)安裝有膠桶連接頭11，膠桶連接頭11用來將膠桶和膠液緩存槽4連接，膠液緩存槽4的另一側(cè)安裝有回流管3，回流管3上安裝有水泵2，膠液緩存槽4的內(nèi)側(cè)壁安裝有防粘貼板10，防粘貼板10可以防止膠液附著在膠液緩存槽4內(nèi)側(cè)，膠液緩存槽4的下方安裝有密封槽7，密封槽7防止膠液進(jìn)入并附著到儲氣球12上，密封槽7的內(nèi)部安裝有儲氣球12，儲氣球12的內(nèi)部安裝有氣囊13，氣囊13用來儲存氣體，氣囊13內(nèi)安裝有伸縮裝置14，伸縮裝置14的伸縮可用來由內(nèi)部擠壓氣囊13，使其內(nèi)氣體進(jìn)入到膠液緩存槽4內(nèi)，儲氣球12的頂部安裝有出氣管6，出氣管6的頂部安裝有出氣口5，儲氣球12的底部安裝有充氣管15，充氣管15上安裝有電磁閥16，電磁閥16可控制氣體由充氣管15的進(jìn)出，出氣管6與充氣管15均穿過儲氣球12安裝在氣囊13的內(nèi)部，出氣口5穿過密封槽7安裝在膠液緩存槽4內(nèi)，且出氣口5的直徑與膠液緩存槽4的直徑完全切合，主連接管9共設(shè)置有三個，且三個主連接管9并排安裝在膠液緩存槽4的頂部的直徑所在線上。

具體使用方式：該設(shè)備在使用時，通過水泵2運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠液由膠桶通過膠桶連接頭11進(jìn)入到膠液緩存槽4內(nèi)，在回流管3的作用下，使膠液在膠液緩存槽4內(nèi)循環(huán)進(jìn)出，然后通過控制伸縮裝置14，使其對氣囊13進(jìn)行內(nèi)部壓縮，使其內(nèi)的氣體由出氣管6通過出氣口5進(jìn)入到膠液緩存槽4內(nèi)，使其內(nèi)的壓強(qiáng)增大，在壓差的作用下，使膠液緩存槽4內(nèi)的膠液由副連接管1和主連接管9輸送至膠液槍內(nèi)。

以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。