襯底輸送機器人和使用該襯底輸送機器人的襯底處理設(shè)備的制造方法
【專利說明】襯底輸送機器人和使用該襯底輸送機器人的襯底處理設(shè)備
[0001]相關(guān)申請的交叉引用
[0002]本申請要求2014年2月13日向韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請N0.10-2014-0016469的優(yōu)先權(quán)，該韓國專利申請的公開內(nèi)容在此通過引用的方式并入。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003]本公開涉及一種襯底處理設(shè)備，更具體地，涉及一種襯底輸送機器人和使用該襯底輸送機器人的襯底處理設(shè)備，該襯底輸送機器人允許將更大量的襯底布置在處理室內(nèi)，同時不增加輸送室的尺寸。
【背景技術(shù)】
[0004]通常，當(dāng)將兩個或更多個晶片輸送至托盤(sus^ptor)以便在化學(xué)蒸發(fā)沉積(CVD)式襯底處理設(shè)備中的單個腔室內(nèi)處理時，可使用輸送機器人。
[0005][現(xiàn)有文獻(xiàn)]
[0006](專利文獻(xiàn)I)韓國專利公開公報N0.2007-0080767 (2007年8月13日)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本公開的一方面可提供一種襯底輸送機器人和使用該襯底輸送機器人的襯底處理設(shè)備，該襯底輸送機器人允許將大量的襯底布置在處理室內(nèi)，同時不增加輸送室的尺寸。
[0008]本公開的一方面還可提供一種襯底輸送機器人和使用該襯底輸送機器人的襯底處理設(shè)備，能夠在相同的處理時間內(nèi)處理更大量的襯底。
[0009]通過下文的詳細(xì)說明和附圖，將進(jìn)一步明白本公開的其它方面。
[0010]根據(jù)本公開的一方面，一種襯底處理設(shè)備可包括:真空鎖腔室(1adlockchamber)，在該真空鎖腔室中布置從外部輸送的襯底，并且其內(nèi)部狀態(tài)變?yōu)檎婵諣顟B(tài)和大氣壓力狀態(tài)；襯底處理模塊，在該襯底處理模塊中對襯底執(zhí)行處理；輸送室，在該輸送室中輸送襯底，輸送室布置在真空鎖腔室和襯底處理模塊之間；和襯底輸送機器人，該襯底輸送機器人安裝在輸送室內(nèi)并輸送襯底。
[0011]該襯底輸送機器人可包括:基座框架部，該基座框架部以可旋轉(zhuǎn)方式安裝在輸送室的下部上；第一旋轉(zhuǎn)框架部，該第一旋轉(zhuǎn)框架部具有以可旋轉(zhuǎn)方式連接至基座框架部的一端；第二旋轉(zhuǎn)框架部，該第二旋轉(zhuǎn)框架部具有以可旋轉(zhuǎn)方式連接至第一旋轉(zhuǎn)框架部另一端的一端；和輸送框架部，該輸送框架部包括臂部和保持器部，該臂部具有以可旋轉(zhuǎn)方式連接至第二旋轉(zhuǎn)框架部另一端的一端，該保持器部連接至臂部的另一端并允許襯底布置在保持器部上。
[0012]該輸送室具有內(nèi)部空間，該內(nèi)部空間具有圓形水平橫截面。
[0013]該第一旋轉(zhuǎn)框架部可具有線性形狀，并且第一旋轉(zhuǎn)框架部的長度可小于內(nèi)部空間的半徑，并且第一旋轉(zhuǎn)框架部的一端可設(shè)置在內(nèi)部空間的中心部中。
[0014]該輸送框架部可具有線性形狀，并且該輸送框架部的長度可小于內(nèi)部空間的直徑。
[0015]該襯底輸送機器人可包括:中心軸，該中心軸聯(lián)接至輸送室和基座框架部；第一旋轉(zhuǎn)軸，該第一旋轉(zhuǎn)軸聯(lián)接至基座框架部和第一旋轉(zhuǎn)框架部的一端；第二旋轉(zhuǎn)軸，該第二旋轉(zhuǎn)軸聯(lián)接至第一旋轉(zhuǎn)框架部的另一端和第二旋轉(zhuǎn)框架部的一端；第三旋轉(zhuǎn)軸，該第三旋轉(zhuǎn)框架部聯(lián)接至第二旋轉(zhuǎn)框架部的另一端和臂部的一端；和中心馬達(dá)，第一馬達(dá)、第二馬達(dá)和第三馬達(dá)，這些馬達(dá)分別連接至中心軸、第一旋轉(zhuǎn)軸、第二旋轉(zhuǎn)軸和第三旋轉(zhuǎn)軸，以向中心軸、第一旋轉(zhuǎn)軸、第二旋轉(zhuǎn)軸和第三旋轉(zhuǎn)軸提供旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。
[0016]該襯底處理模塊可包括:處理室，該處理室包括由隔板分隔開的第一處理空間和第二處理空間，并且該處理室具有在其一側(cè)中形成的第一通道和第二通道，第一通道和第二通道允許襯底進(jìn)出(access)第一處理空間和第二處理空間；第一托盤，該第一托盤安裝在處理室內(nèi)，該第一托盤布置在第一通道和第二通道中的每一個通道的前方，該第一托盤具有多個通孔，所述多個通孔形成為穿透第一托盤的上部和下部，并且該第一托盤允許襯底在處理期間布置在第一托盤上；第二托盤，該第二托盤安裝在處理室內(nèi)，該第二托盤布置在第一通道和第一托盤之間以及第二通道和第一托盤之間，該第二托盤具有多個通孔，所述多個通孔形成為穿透第二托盤的上部和下部，并且第二托盤允許襯底在處理期間布置在第二托盤上；和多個提升銷，所述多個提升銷安裝在第一托盤和第二托盤之下，并且可穿過通孔移動。
[0017]該襯底處理模塊可包括提升銷驅(qū)動模塊，該提升銷驅(qū)動模塊允許提升銷的上端移動至比保持器部高的接收高度，以及比托盤的上表面低的裝載高度。
[0018]該襯底輸送機器人可包括控制部，該控制部連接至中心馬達(dá)、第一馬達(dá)、第二馬達(dá)和第三馬達(dá)并控制所述中心馬達(dá)、第一馬達(dá)、第二馬達(dá)和第三馬達(dá)，使得保持器部在輸送室內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)位置和襯底處理模塊內(nèi)部的裝載位置之間移動。
[0019]該裝載位置可以是第一裝載位置和第二裝載位置中的一個，在該第一裝載位置，保持器部被布置在第一托盤上方，在該第二裝載位置，保持器部被布置在第二托盤上方。
[0020]在裝載位置中，第二旋轉(zhuǎn)框架部和保持器部可位于以第一旋轉(zhuǎn)框架部為基準(zhǔn)的同一側(cè)。
[0021]在旋轉(zhuǎn)位置中，第二旋轉(zhuǎn)框架部和保持器部可位于以第一旋轉(zhuǎn)框架部為基準(zhǔn)的兩個相反側(cè)。
[0022]當(dāng)保持器部在旋轉(zhuǎn)位置和裝載位置之間移動時，控制部可使第一馬達(dá)和第三馬達(dá)在相同方向上旋轉(zhuǎn)，同時使第二馬達(dá)在與第一馬達(dá)不同的方向上旋轉(zhuǎn)。
[0023]根據(jù)本公開的另一方面，一種襯底輸送機器人可包括:可旋轉(zhuǎn)的基座框架部；至少一個旋轉(zhuǎn)框架部，所述至少一個旋轉(zhuǎn)框架部以可旋轉(zhuǎn)方式串聯(lián)連接至基座框架部；輸送框架部，該輸送框架部包括臂部和保持器部，該臂部具有以可旋轉(zhuǎn)方式連接至旋轉(zhuǎn)框架部的一端，該保持器部連接至臂部的另一端并允許襯底布置在保持器部上；和控制部，該控制部連接至基座框架部、旋轉(zhuǎn)框架部和輸送框架部并旋轉(zhuǎn)該基座框架部、旋轉(zhuǎn)框架部和輸送框架部，以限制保持器部的移動距離。
【附圖說明】
[0024]通過結(jié)合附圖閱讀下文的詳細(xì)說明，將更清楚地理解本公開的上述和其它方面、特征和其它優(yōu)點，其中:
[0025]圖1是根據(jù)本公開的示例性實施例的襯底處理設(shè)備的示意圖；
[0026]圖2A至2C是例示了根據(jù)本公開的示例性實施例的襯底處理設(shè)備的操作狀態(tài)的視圖；
[0027]圖3A至3C是例示了根據(jù)本公開的示例性實施例的襯底處理設(shè)備的操作狀態(tài)的詳圖；
[0028]圖4A至4C是例示了根據(jù)本公開的示例性實施例的襯底輸送機器人的操作狀態(tài)的視圖；
[0029]圖5是根據(jù)本公開的示例性實施例的襯底處理模塊的橫截面圖；
[0030]圖6A至6F是例示了將根據(jù)本公開示例性實施例的襯底輸送至處理室的過程的視圖；并且
[0031]圖7A至7F是例示了從處理室中抽出根據(jù)本公開示例性實施例的襯底的過程的視圖。
【具體實施方式】
[0032]現(xiàn)在將參考附圖1至7詳細(xì)描述本公開的示例性實施例。
[0033]然而，本公開可以許多不同形式示例，不應(yīng)解釋為僅限于本文中闡述的特定實施例。相反，提供這些實施例使得本公開將全面和完整，并且將本公開的范圍充分傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員。
[0034]在附圖中，可能為了清晰夸大了元件的形狀和尺寸，并且將始終使用相同的附圖標(biāo)記指示相同或類似的元件。