去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，涉及硅片背金工藝，特別是一種去除硅片背金工藝 后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體硅片背金工藝實(shí)施前，需要將正面的電子線路進(jìn)行有效保護(hù)，此 時(shí)選用帶有粘結(jié)劑的粘結(jié)片可以完全滿足工藝要求，但是在背金工藝之后，需要將粘結(jié)片 從硅片表面剝離，剝離后的粘結(jié)片表面會(huì)殘留大量的粘結(jié)劑，為了降低生產(chǎn)費(fèi)用，企業(yè)希望 通過清洗去除粘結(jié)片表面的粘結(jié)劑達(dá)到重復(fù)使用這些粘結(jié)片的目的。
[0003] 通用的做法是購(gòu)買昂貴的自動(dòng)清洗設(shè)備，將單片粘結(jié)片置于盛有有機(jī)溶劑的容器 內(nèi)，使用超聲波振蕩來去除粘結(jié)劑，此類設(shè)備存在效率低，清洗不徹底，且維護(hù)費(fèi)用高等問 題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的目的在于提供一種有效去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗 方法。。
[0005] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方 法，包括如下步驟：S1，使用有機(jī)溶劑對(duì)零件進(jìn)行浸泡；S2,使用堿性溶液對(duì)零件進(jìn)行浸泡； S3,使用酸性溶液對(duì)零件進(jìn)行清洗；S4,使用清洗液對(duì)零件進(jìn)行清洗；S5,對(duì)零件進(jìn)行干燥。
[0006] 所述步驟S1中，有機(jī)溶劑浸泡為MSC-RV。
[0007] 浸泡的時(shí)間為1分鐘?2分鐘。
[0008] 所述步驟S2包括還一步驟S2. 1，所述步驟S2. 1為用氨水/雙氧水混合溶液對(duì)零 件進(jìn)行清洗。
[0009] 所述氨水/雙氧水混合溶液的配比為體積比NH40H:H202:H20 = 1:3:4。
[0010] 用所述氨水/雙氧水混合溶液對(duì)零件進(jìn)行清洗的2小時(shí)?4小時(shí)。
[0011]NH40H可由K0H或者NaOH代替。
[0012] 所述步驟S2進(jìn)一步包括一步驟S2. 2,所述步驟S2. 2為對(duì)零件使用超純水進(jìn)行溢 流清洗。
[0013]所述步驟S3包括還一步驟S3. 1，所述步驟S3. 1為用硝酸/氫氟酸混合溶液對(duì)零 件進(jìn)行清洗。
[0014] 所述硝酸/氫氟酸混合溶液的配比為體積比HN03:HF:H20 = 1:1:2。
[0015] 用所述硝酸/氫氟酸混合溶液對(duì)零件進(jìn)行清洗的5秒?10秒。
[0016] 所述步驟S3進(jìn)一步包括一步驟S3. 2,所述步驟S3. 2為對(duì)零件使用超純水進(jìn)行溢 流清洗。
[0017] 所述步驟S4包括S4. 1和S4. 2,所述S4. 1為粗洗，所述S4. 2為精洗。
[0018] 所述步驟S4. 1中，粗洗清洗液為超純水，超聲能量密度為25瓦/加侖?35瓦/ 加侖。
[0019] 所述步驟S4. 1中，粗洗的時(shí)間為30分鐘?60分鐘。
[0020] 所述步驟S4. 2中，精洗清洗液為去離子水，超聲能量密度為25瓦/加侖?35瓦 /加侖。
[0021] 所述步驟S4. 2中，粗洗的時(shí)間為30分鐘?60分鐘。
[0022] 所述步驟S5中，是將零件置于無塵干燥箱中，在120°C的環(huán)境下烘烤1小時(shí)，然后 降到40°C?50°C，取出零件。
[0023] 本發(fā)明去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法搡作簡(jiǎn)單，耗時(shí)少，能 耗低、可以保證完成去除粘結(jié)劑、清洗效果理想，對(duì)粘結(jié)片無損傷。
【附圖說明】
[0024] 圖1為本發(fā)明去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025] 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法作進(jìn) 一步詳細(xì)說明。
[0026] 如圖1所示，本發(fā)明去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，首先使 用MSC-RV(十二碳烯）將部品表面的有機(jī)物表層軟化，通過雙氧水的氧化作用將軟化后的 有機(jī)物表面氧化，然后通過氨水的絡(luò)合作用將氧化物去除，使用酸液將部品表面殘留的堿 中和掉，然后再用純水將酸液沖洗干凈，因?yàn)樗岜葔A在水中的溶解度要大，最后通過超聲波 振蕩將部品表面沾污的顆粒物去除掉，同時(shí)純水浸泡可以進(jìn)一步確保部品表面沒有酸液殘 留。
[0027] 步驟一、將粘結(jié)片從硅片上剝離下來冷卻后，放入專用周轉(zhuǎn)盒內(nèi)。接著，把粘結(jié)片 從專用運(yùn)輸盒中取出轉(zhuǎn)移至清洗盒中，把清洗盒連帶粘結(jié)片一同放入MSC-RV(十二碳烯） 有機(jī)溶劑浸泡槽內(nèi)，此時(shí)有機(jī)溶劑需要將粘結(jié)片頂端浸沒。這種有機(jī)溶劑浸泡的目的是為 了軟化粘結(jié)劑，而不是將粘結(jié)劑完全溶解，所以必須控制浸泡時(shí)間，浸泡的時(shí)1分鐘?2分 鐘，目的是軟化部品表面有機(jī)物，但不使有機(jī)物溶解太多。效果如表1所示：
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征在于，包括如下步驟： S1，使用有機(jī)溶劑對(duì)零件進(jìn)行浸泡； 52, 使用堿性溶液對(duì)零件進(jìn)行浸泡； 53, 使用酸性溶液對(duì)零件進(jìn)行清洗； 54, 使用清洗液對(duì)零件進(jìn)行清洗； 55, 對(duì)零件進(jìn)行干燥。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，所述步驟S1中，有機(jī)溶劑浸泡為MSC-RV。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，浸泡的時(shí)間為1分鐘?2分鐘。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，所述步驟S2包括還一步驟S2. 1，所述步驟S2. 1為用氨水/雙氧水混合溶液對(duì)零件進(jìn) 行清洗。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，所述氨水/雙氧水混合溶液的配比為體積比N&OH:^化:&0= 1:3:4。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，用所述氨水/雙氧水混合溶液對(duì)零件進(jìn)行清洗的2小時(shí)?4小時(shí)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，N&OH可由K0H或者化0H代替。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，所述步驟S2進(jìn)一步包括一步驟S2. 2,所述步驟S2. 2為對(duì)零件使用超純水進(jìn)行溢流清 洗。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特征 在于，所述步驟S3包括還一步驟S3. 1，所述步驟S3. 1為用硝酸/氨氣酸混合溶液對(duì)零件進(jìn) 行清洗。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述硝酸/氨氣酸混合溶液的配比為體積比HN03:HF:H20 = 1:1:2。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，用所述硝酸/氨氣酸混合溶液對(duì)零件進(jìn)行清洗的5砂?10砂。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述步驟S3進(jìn)一步包括一步驟S3. 2,所述步驟S3. 2為對(duì)零件使用超純水進(jìn)行溢流 清洗。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述步驟S4包括S4. 1和S4. 2,所述S4. 1為粗洗，所述S4. 2為精洗。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述步驟S4. 1中，粗洗清洗液為超純水，超聲能量密度為25瓦/加侖?35瓦/加 侖。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述步驟S4. 1中，粗洗的時(shí)間為30分鐘?60分鐘。
16. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述步驟S4. 2中，精洗清洗液為去離子水，超聲能量密度為25瓦/加侖?35瓦/ 加侖。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述步驟S4. 2中，粗洗的時(shí)間為30分鐘?60分鐘。
18. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除娃片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，其特 征在于，所述步驟S5中，是將零件置于無塵干燥箱中，在12CTC的環(huán)境下烘烤1小時(shí)，然后降 到40°C?50°C，取出零件。
【專利摘要】本發(fā)明去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法，包括如下步驟：S1，使用有機(jī)溶劑對(duì)零件進(jìn)行浸泡；S2，使用堿性溶液對(duì)零件進(jìn)行浸泡；S3，使用酸性溶液對(duì)零件進(jìn)行清洗；S4，使用清洗液對(duì)零件進(jìn)行清洗；S5，對(duì)零件進(jìn)行干燥。本發(fā)明去除硅片背金工藝后粘結(jié)片表面粘結(jié)劑的清洗方法搡作簡(jiǎn)單，耗時(shí)少，能耗低、可以保證完成去除粘結(jié)劑、清洗效果理想，對(duì)粘結(jié)片無損傷。
【IPC分類】H01L21-02
【公開號(hào)】CN104576319
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510003284
【發(fā)明人】劉賢, 賀賢漢
【申請(qǐng)人】上海申和熱磁電子有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2015年1月4日