探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法及裝置，該方法包括以下步驟S1、在探針膜厚測量機(jī)的基座上固定定位補(bǔ)正片，定位補(bǔ)正片位于產(chǎn)品檢測區(qū)域之外；S2、移動探針至定位補(bǔ)正片，記錄探針位置為第一坐標(biāo)；S3、按照第一坐標(biāo)驅(qū)動探針，記錄驅(qū)動探針后的位置為第二坐標(biāo)；S4、記錄第二坐標(biāo)相對于定位補(bǔ)正片的偏差值為校正偏移值；S5、按照校正偏移值補(bǔ)正用于移動探針的坐標(biāo)，再按照補(bǔ)正后的坐標(biāo)移動探針。實施本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法及裝置，能夠自動解決探針的機(jī)械坐標(biāo)偏移導(dǎo)致的探測異常，大大減少調(diào)節(jié)探針的時間，節(jié)省人力的支出。
【專利說明】探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及膜厚測量技術(shù)，更具體地說，涉及一種探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]探針膜厚測量機(jī)(Surface Profile/Step Height)是一種機(jī)械式接觸量測設(shè)備，最核心部件為探針測定機(jī)構(gòu)，在TFT-LCD行業(yè)中，一般用來量測TFT或彩色濾色片的膜厚值。因待量測物一般為1ΟΟμm級別，所以對設(shè)備探針的坐標(biāo)定位精度要求很高需要其達(dá)到20 μ m以內(nèi)。
[0003]而現(xiàn)有的探針膜厚測量機(jī)在進(jìn)行測量前，需要確定兩個坐標(biāo):機(jī)械坐標(biāo)位置，即量測頭和探針的位置；另一個坐標(biāo)為產(chǎn)品坐標(biāo)位置，即放置在檢測平臺上的待測物體，例如TFT或彩色濾色片的目標(biāo)位置。要實現(xiàn)準(zhǔn)確測量產(chǎn)品坐標(biāo)位置需要先保證機(jī)械坐標(biāo)位置的正確，否則通過測量頭和探針獲取的測量數(shù)據(jù)必然存在誤差。
[0004]而在實際使用過程中，上述的機(jī)械坐標(biāo)位置很容易發(fā)生偏移，例如:編碼器在跳電時易造成數(shù)據(jù)流失，而失去原坐標(biāo)的位置，即有可能造成設(shè)備機(jī)械坐標(biāo)偏移；對探針進(jìn)行保養(yǎng)擦拭或更換時，因需要利用手動方式操作，因此會造成探針位置偏移，且無法完全回復(fù)至原始位置；量測頭損壞更換后，亦會造成整體量測機(jī)構(gòu)偏移，無法完全回復(fù)至原始位置?’人為誤操作導(dǎo)致量測頭、探針被撞擊，無法完全回復(fù)至原始位置。目前的處理方法為，若發(fā)現(xiàn)因為機(jī)械坐標(biāo)偏差導(dǎo)致量測異常，則需人員手動重新調(diào)整所有點(diǎn)位的量測坐標(biāo)，浪費(fèi)時間和人力，且因人員能力、手法差異，帶來調(diào)整偏差的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于，針對現(xiàn)有的探針膜厚測量機(jī)的機(jī)械坐標(biāo)位置發(fā)生偏移時手動重新調(diào)整的工作量大，調(diào)整的質(zhì)量無法保證一致的缺陷，提供一種能夠快速進(jìn)行、調(diào)整準(zhǔn)確的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法及裝置。
[0006]本發(fā)明所提供的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，包括以下步驟:
[0007]S1、在探針膜厚測量機(jī)的基座上固定定位補(bǔ)正片，定位補(bǔ)正片位于產(chǎn)品檢測區(qū)域之外；
[0008]S2、移動探針至定位補(bǔ)正片，記錄探針位置為第一坐標(biāo)；
[0009]S3、按照第一坐標(biāo)驅(qū)動探針，記錄驅(qū)動探針后的位置為第二坐標(biāo)；
[0010]S4、記錄第二坐標(biāo)相對于定位補(bǔ)正片的偏差值為校正偏移值；
[0011]S5、按照校正偏移值補(bǔ)正用于移動探針的坐標(biāo)，再按照補(bǔ)正后的坐標(biāo)移動探針。
[0012]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，其中步驟SI還包括在基座上開設(shè)兩個凹槽，所述凹槽位于產(chǎn)品檢測區(qū)域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內(nèi)嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補(bǔ)正片。
[0013]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，所述定位補(bǔ)正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準(zhǔn)星。
[0014]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，S4還包括當(dāng)校正偏移值大于設(shè)定閾值時，停止探針移動并發(fā)出警報。
[0015]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，其中步驟S2包括移動探針至多個定位補(bǔ)正片上，分別記錄每個定位補(bǔ)正片對應(yīng)的第一坐標(biāo)；步驟S4包括記錄每個第二坐標(biāo)相對定位補(bǔ)正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值。
[0016]本發(fā)明所提供的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，包括:
[0017]固定設(shè)置在探針膜厚測量機(jī)的基座上的定位補(bǔ)正片，所述定位補(bǔ)正片位于產(chǎn)品檢測區(qū)域之外；
[0018]與所述探針膜厚測量機(jī)連接的第一坐標(biāo)記錄器，用于在探針移動至定位補(bǔ)正片后，記錄探針位置為第一坐標(biāo)；
[0019]與所述探針膜厚測量機(jī)連接的第二坐標(biāo)記錄器，用于在探針按照第一坐標(biāo)驅(qū)動后，記錄驅(qū)動探針后的位置為第二坐標(biāo)；
[0020]與所述探針膜厚測量機(jī)連接的校正偏移獲取器，用于記錄第二坐標(biāo)相對于定位補(bǔ)正片的偏差值為校正偏移值；
[0021]按照校正偏移值補(bǔ)正用于移動探針的坐標(biāo)，再按照補(bǔ)正后的坐標(biāo)移動探針。
[0022]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，基座上開設(shè)兩個凹槽，所述凹槽位于產(chǎn)品檢測區(qū)域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內(nèi)嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補(bǔ)正片。
[0023]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，所述定位補(bǔ)正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準(zhǔn)星。
[0024]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，還包括報警器，所述報警器在校正偏移值大于設(shè)定閾值時，停止探針移動并發(fā)出警報。
[0025]本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，所述基座上包括多個定位補(bǔ)正片，探針移動至每個定位補(bǔ)正片上，第一坐標(biāo)記錄器分別記錄每個探針對應(yīng)的第一坐標(biāo)；第二坐標(biāo)記錄器記錄探針按照每個第一坐標(biāo)移動后的位置為第二坐標(biāo)；校正偏移獲取器記錄每個第二坐標(biāo)相對定位補(bǔ)正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值。
[0026]實施本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法及裝置，能夠自動解決探針的機(jī)械坐標(biāo)偏移導(dǎo)致的探測異常，大大減少調(diào)節(jié)探針的時間，節(jié)省人力的支出。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行說明，其中:
[0028]圖1為本發(fā)明一則優(yōu)選實施例所提供的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法的流程圖；
[0029]圖2為本發(fā)明一則優(yōu)選實施例所提供的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置的結(jié)構(gòu)圖；
[0030]圖3為探針移動到定位補(bǔ)正片上獲得第一坐標(biāo)時的示意圖；
[0031]圖4為探針按照第一坐標(biāo)進(jìn)行移動時的示意圖。
【具體實施方式】
[0032]以下結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0033]如圖1為本發(fā)明一則優(yōu)選實施例所提供的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法的流程圖。該實施例的補(bǔ)正方法提供多種情景下的補(bǔ)正方式，例如手動補(bǔ)正模式，在手動補(bǔ)正模式下，由檢測人員發(fā)現(xiàn)探針移動的位置與控制命令發(fā)出的坐標(biāo)位置不一致的時候，可以主動發(fā)起檢測流程；在日常補(bǔ)正模式下，需要設(shè)定一個補(bǔ)正時間，當(dāng)設(shè)備在該設(shè)定的時間內(nèi)處于空閑狀態(tài)時，自動進(jìn)行補(bǔ)正，若在設(shè)定的時間內(nèi)設(shè)備處于工作的狀態(tài)，則等待設(shè)備到達(dá)空閑時再自行進(jìn)入補(bǔ)正流程；最后一種補(bǔ)正模式為制程補(bǔ)正模式，在切換使用新的制程(recipe)時，選用對應(yīng)于該進(jìn)程的對應(yīng)玻璃基板送入檢測設(shè)備上進(jìn)行檢測和補(bǔ)正。
[0034]當(dāng)上述的三種模式中有任意一種模式被激活后，探針膜厚測量機(jī)進(jìn)行坐標(biāo)補(bǔ)正。在步驟SI，首先需要對探針膜厚測量機(jī)進(jìn)行結(jié)構(gòu)上的改良，在探針膜厚測量機(jī)的基座上固定若干個定位補(bǔ)正片，為了避免在產(chǎn)品檢測區(qū)上的產(chǎn)品對補(bǔ)正過程產(chǎn)生干擾，需要將所有的定位補(bǔ)正片設(shè)定在產(chǎn)品檢測區(qū)域之外。
[0035]在步驟S2，將探針膜厚測量機(jī)的探針移動到各個定位補(bǔ)正片上，通過CCD設(shè)備拍攝探針的位置，并記錄此時探針的各個位置為第一坐標(biāo)(xl，yl);若在CCD拍攝探針位置的時候，第一坐標(biāo)的數(shù)值超出了設(shè)定范圍，例如探針偏移量太大，導(dǎo)致在探針指向定位補(bǔ)正片的時候，產(chǎn)生的第一坐標(biāo)超出的設(shè)定的數(shù)值，此時停止自動補(bǔ)正，并發(fā)出警報，以便讓檢測人員對探針膜厚測量機(jī)進(jìn)行重新設(shè)定。通常獲取第一坐標(biāo)的步驟是在調(diào)試好探針膜厚測量機(jī)后進(jìn)行。
[0036]在獲得第一坐標(biāo)為超出設(shè)定范圍的時候，進(jìn)行步驟S3，探針按照前一步驟中獲得的多個第一坐標(biāo)分別進(jìn)行移動，由于探針在出現(xiàn)偏移的情況下按照第一坐標(biāo)移動時，探針將不會再指向定位補(bǔ)正片，此時通過CCD記錄此時的探針位置，將這個位置記錄為第二坐標(biāo)(x2，y2)，同樣在該步驟中，若出現(xiàn)記錄的坐標(biāo)值超出閾值，則發(fā)出警報。
[0037]在步驟S4，對于每一個定位補(bǔ)正片所對應(yīng)的第二坐標(biāo)和第一坐標(biāo)求取偏差值，進(jìn)行取平均。將取平均后的偏差值作為校正偏移值。
[0038]在步驟S5，得出了校正偏移值之后，后續(xù)的探針移動都需要按照該校正偏移值進(jìn)行移動坐標(biāo)的補(bǔ)正，在該校正偏移值的補(bǔ)正下，能夠克服因探針的偏移造成的測量誤差。例如，若在步驟S3中，探針移動時將第一坐標(biāo)經(jīng)過校正偏移值進(jìn)行校正，那么探針將會重新移動到定位補(bǔ)正片上。
[0039]通過上述步驟進(jìn)行調(diào)整后，探針能夠按照指令移動到設(shè)定的坐標(biāo)位置上米從而有效地解決機(jī)械坐標(biāo)偏移導(dǎo)致的量測異常問題，并將坐標(biāo)的偏差控制在10微米之內(nèi)，大大減少時間的浪費(fèi)和人力的支出。
[0040]如圖2為基于本發(fā)明的探針膜厚測量機(jī)自動補(bǔ)正方法的裝置結(jié)構(gòu)圖。在探針膜厚測量機(jī)的基座200上設(shè)置上固定設(shè)置兩塊定位補(bǔ)正片300，兩個定位補(bǔ)正片300分別設(shè)定在產(chǎn)品檢測區(qū)域之外的兩個相對頂角位置上，當(dāng)檢測產(chǎn)品400放置在產(chǎn)品檢測區(qū)域時，不會遮擋兩個定位補(bǔ)正片300。
[0041]在本實施例中，兩個定位補(bǔ)正片300為固定在基座200內(nèi)的正方形玻璃片，通過在基座200上開設(shè)與玻璃片形狀一致的凹槽，使得嵌入在凹槽中的玻璃片不會發(fā)生位置偏移。該玻璃片的邊長可以設(shè)定為2.5cm至3.5cm，在玻璃片的中心通過噴涂或者涂布的方式，印刷有黑色的十字定位準(zhǔn)星，為了確保精確性，該十字定位準(zhǔn)星的中心為ImmX Imm的小正方形。
[0042]自動補(bǔ)正裝置在進(jìn)行工作時，首先將探針100移動到該十字定位準(zhǔn)星上，如圖3所示。通過CXD設(shè)備拍攝當(dāng)前的探針100位置，第一坐標(biāo)記錄器記錄此時的探針100位置為第一坐標(biāo)。由于在本實施例中設(shè)置了兩個定位補(bǔ)正片300，因此需要記錄兩個第一坐標(biāo)，記為(xl，yl)和(x2，y2)。一般的，第一坐標(biāo)記錄器集成在控制探針膜厚測量機(jī)的計算機(jī)系統(tǒng)中。
[0043]在記錄過兩個坐標(biāo)之后，分別驅(qū)動探針移動到(xl，yl)和(x2，y2)，由于在探針100出現(xiàn)偏移的時候，再按照(xl，yl)和(x2，y2)移動探針的話，探針100將不能夠重新移動到定位補(bǔ)正片300的十字定位準(zhǔn)星上，如圖4所示。通過CCD設(shè)備拍攝當(dāng)前的探針100位置，第二坐標(biāo)記錄器記錄此時的探針100位置為第二坐標(biāo)，記為(X' l，y' I)和U' 2, y' 2)，校正偏移獲取器通過CCD拍攝測定出此時的第二坐標(biāo)與十字定位準(zhǔn)星的偏移量，分別記作(Λχ?，Ayl)、(Δχ2, Ay2)。其中:
[0044]Δχ1=χ/ 1-xl ；
[0045]Δ χ2=χ' 2-χ2 ；
[0046]Ayl=y/ 1-yl ；
[0047]Ay2=y/ 2_y2。
[0048]在本實施例中，校正偏移獲取器、第二坐標(biāo)記錄器均集成在控制探針膜厚測量機(jī)的計算機(jī)系統(tǒng)中。
[0049]校正偏移獲取器取兩個偏移量的平均值作為校正偏移值,即:
[0050]Δ X= ( Δ xl+ Δ x2) /2 ;
[0051]Δ y= ( Δ yl+Δ y2)/2。
[0052]得到校正偏移值(ΛΧ，ΔY)后，在此后的探針100移動過程中，都需要加上該校正偏移值，以便修正因探針偏移所帶來的誤差。
[0053]在本實施例中，基座100上固定設(shè)置了兩個定位補(bǔ)正片300，對兩個定位補(bǔ)正片300所檢測出來的偏移量的平均值作為校正偏移值，但本發(fā)明并不限定于此，本發(fā)明還可以設(shè)定更多的定位補(bǔ)正片300，然后將探針100依次移動到這些定位補(bǔ)正片300上，通過CXD設(shè)備依次記錄探針100的位置，記錄為第一坐標(biāo)；然后驅(qū)動探針按照第一坐標(biāo)進(jìn)行移動，再使用CCD捕捉移動后的探針100與定位補(bǔ)正片300之間的偏移量，然后將所有的這些偏移量取平均值作為校正偏移值。然后在后續(xù)的探針100移動過程中，所有用于驅(qū)動探針100的坐標(biāo)都需要加上該校正偏移值，以便使探針100移動到指定的位置上，克服探針100的偏移。
[0054]此外，在設(shè)置定位補(bǔ)正片300的時候，為了使獲得的校正偏移值更為準(zhǔn)確，一般將所有的定位補(bǔ)正片300等間距的圍繞產(chǎn)品檢測區(qū)域設(shè)置，例如設(shè)定的定位補(bǔ)正片300的數(shù)量為4個的時候，可以將4個定位補(bǔ)正片300設(shè)定在產(chǎn)品檢測區(qū)域的4個頂角位置上。
[0055]較佳的，在探針膜厚測量機(jī)上還設(shè)置有用于發(fā)出檢測錯誤的報警器，當(dāng)移動探針100至定位補(bǔ)正片300上，以獲得第一坐標(biāo)的過程中，若無法正常的驅(qū)動探針100移動到定位補(bǔ)正片300上，或者是CCD設(shè)備無法捕捉到定位補(bǔ)正片300上的十字定位準(zhǔn)星的時候，表明此時的探針100發(fā)生較大的偏差，由報警器發(fā)出警報，提醒檢測人員對探針100進(jìn)行重新設(shè)定?；蛘呤翘结?00按照第一坐標(biāo)進(jìn)行移動之后，若CCD無法在一個限定的區(qū)域內(nèi)同時抓取到定位補(bǔ)正片300的十字定位準(zhǔn)星與探針100，又或者是CCD檢測出探針100與十字定位準(zhǔn)星的偏移大于設(shè)定的閾值時，報警器也向檢測人員發(fā)出警報，通知檢測人員對探針進(jìn)行重新設(shè)置。
[0056]較佳的，采用該探針膜厚測量機(jī)自動補(bǔ)正裝置進(jìn)行探針位置的補(bǔ)正時，可以采用3種不同的啟動檢測的機(jī)制。在探針膜厚測量機(jī)自動補(bǔ)正裝置上設(shè)置有手動啟動按鈕，檢測人員在需要進(jìn)行探針100的位置補(bǔ)正時，按下該啟動按鈕后，開始進(jìn)行自動補(bǔ)正；在探針膜厚測量機(jī)自動補(bǔ)正裝置還設(shè)置有定時裝置，檢測人員需要預(yù)先設(shè)置好定時裝置內(nèi)的啟動時間，當(dāng)?shù)竭_(dá)該啟動時間的時候，檢測當(dāng)前的探針膜厚測量機(jī)是否處于空閑狀態(tài)，若是則進(jìn)行自動補(bǔ)正，否則將等待探針膜厚測量機(jī)切換到空閑狀態(tài)再進(jìn)行自動補(bǔ)正；在探針膜厚的制程切換新的制程(recipe)時，選用對應(yīng)于該進(jìn)程的對應(yīng)玻璃基板送入檢測設(shè)備上進(jìn)行檢測和補(bǔ)正。
[0057]以上僅為本發(fā)明【具體實施方式】，不能以此來限定本發(fā)明的范圍，本【技術(shù)領(lǐng)域】內(nèi)的一般技術(shù)人員根據(jù)本創(chuàng)作所作的均等變化，以及本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員熟知的改變，都應(yīng)仍屬本發(fā)明涵蓋的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，其特征在于，包括以下步驟: 51、在探針膜厚測量機(jī)的基座上固定定位補(bǔ)正片，定位補(bǔ)正片位于產(chǎn)品檢測區(qū)域之外； 52、移動探針至所述定位補(bǔ)正片，記錄探針位置為第一坐標(biāo)； 53、按照第一坐標(biāo)驅(qū)動探針，記錄驅(qū)動探針后的位置為第二坐標(biāo)； 54、記錄第二坐標(biāo)相對于定位補(bǔ)正片的偏差值為校正偏移值； 55、按照校正偏移值補(bǔ)正用于移動探針的坐標(biāo)，再按照補(bǔ)正后的坐標(biāo)移動探針。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，其特征在于，所述步驟SI還包括在基座上開設(shè)兩個凹槽，所述凹槽位于產(chǎn)品檢測區(qū)域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內(nèi)嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補(bǔ)正片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，其特征在于，所述定位補(bǔ)正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準(zhǔn)星。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，其特征在于，所述步驟S4還包括當(dāng)校正偏移值大于設(shè)定閾值時，停止探針移動并發(fā)出警報。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正方法，其特征在于，所述步驟S2包括移動探針至多個定位補(bǔ)正片上，分別記錄探針移動到每個定位補(bǔ)正片時的第一坐標(biāo)；所述步驟S4包括記錄每個第二坐標(biāo)相對定位補(bǔ)正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值。
6.一種探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，其特征在于，包括:` 固定設(shè)置在探針膜厚測量機(jī)的基座上的定位補(bǔ)正片，所述定位補(bǔ)正片位于產(chǎn)品檢測區(qū)域之外； 與所述探針膜厚測量機(jī)連接的第一坐標(biāo)記錄器，用于在所述探針移動至定位補(bǔ)正片后，記錄探針位置為第一坐標(biāo)； 與所述探針膜厚測量機(jī)連接的第二坐標(biāo)記錄器，用于在所述探針按照第一坐標(biāo)驅(qū)動后，記錄驅(qū)動探針后的位置為第二坐標(biāo)； 與所述探針膜厚測量機(jī)連接的校正偏移獲取器，用于記錄第二坐標(biāo)相對于定位補(bǔ)正片的偏差值為校正偏移值； 按照校正偏移值補(bǔ)正用于移動探針的坐標(biāo)，再按照補(bǔ)正后的坐標(biāo)移動所述探針。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，其特征在于，所述基座上開設(shè)兩個凹槽，所述凹槽位于產(chǎn)品檢測區(qū)域兩個相對的頂角上；在所述凹槽內(nèi)嵌入與凹槽形狀相匹配的定位補(bǔ)正片。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，其特征在于，所述定位補(bǔ)正片為邊長2.5厘米至3.5厘米的正方形玻璃片，所述玻璃片的中心上印有定位準(zhǔn)星。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在所述探針膜厚測量機(jī)內(nèi)的報警器，所述報警器在校正偏移值大于設(shè)定閾值時，停止探針移動并發(fā)出警報。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針膜厚測量機(jī)坐標(biāo)補(bǔ)正裝置，其特征在于，所述基座上包括多個定位補(bǔ)正片，探針移動至每個定位補(bǔ)正片上，第一坐標(biāo)記錄器分別記錄每個探針對應(yīng)的第一坐標(biāo)；第二坐標(biāo)記錄器記錄探針按照每個第一坐標(biāo)移動后的位置為第二坐標(biāo)；校正偏移 獲取器記錄每個第二坐標(biāo)相對定位補(bǔ)正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值為校正偏移值。
【文檔編號】G01B5/06GK103743318SQ201310744288
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】黃文德, 楊朝坤 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司