冬季利用外界溫度進(jìn)行節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種利用冬季外界環(huán)境的低溫進(jìn)行降溫處理從而實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，主要用于冷卻半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的工藝設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]由于半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的工藝需求，需要對車間的生產(chǎn)相關(guān)設(shè)備進(jìn)行內(nèi)部的冷卻降溫處理，以保證生產(chǎn)的正常進(jìn)行。而這些產(chǎn)生的熱量無法消失，就需要通過轉(zhuǎn)移交換來帶走這些熱量。目前應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的工藝?yán)鋮s水(PCW)系統(tǒng)如圖1所示，其由制冷冰機(jī)、冰水泵、冷卻水泵、熱交換器，冷卻塔以及工藝水泵組成。系統(tǒng)采用制冷冰機(jī)的壓縮機(jī)做功制冷所產(chǎn)生的低溫(7?12°C )冰水通過蒸發(fā)器和冰水泵輸送至熱交換器對生產(chǎn)設(shè)備降溫，而制冷冰機(jī)做功制冷所產(chǎn)生的熱量和生產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)移至制冷冰機(jī)的熱量通過制冷冰機(jī)內(nèi)部的冷凝器和冷卻水泵輸送至室外的冷卻塔，通過冷卻塔的風(fēng)扇和內(nèi)部的水蒸汽表面和空氣之間存在壓力差，在壓力的作用下產(chǎn)生蒸發(fā)，將上述的水中的熱量進(jìn)行蒸發(fā)傳熱，從而達(dá)到降溫之目的。
[0003]根據(jù)我國南方冬季的氣溫情況，冬季室外的溫度普遍在5?25°C。但是在冬季半導(dǎo)體車間使用的空調(diào)和設(shè)備用的冷卻水依然在用冰機(jī)制冷來帶走熱量。而在此期間制冷冰機(jī)的負(fù)載率過低或根本無負(fù)載產(chǎn)生。根據(jù)制冷冰機(jī)原理，在待機(jī)狀態(tài)下，制冷冰機(jī)系統(tǒng)的冷卻水泵及冰水泵必須保持運(yùn)行，以確保冰機(jī)運(yùn)行時的工況需要，這些運(yùn)行的水泵造成了大量不必要的耗能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對上述的浪費(fèi)情況，本實(shí)用新型提出了一種冬季利用外界溫度進(jìn)行節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，通過管道的改造，取消用來制冷的冰機(jī)，利用外氣的低溫來轉(zhuǎn)移走車間的發(fā)熱量，達(dá)到節(jié)約能源消耗的目的。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]一種冬季利用外界溫度進(jìn)行節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，包括冷卻水泵、冷卻塔、熱交換器以及工藝水泵；所述熱交換器的一側(cè)通過工藝水泵連接包括成型機(jī)、隧道爐以及切彎角機(jī)在內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備，所述熱交換器的另一側(cè)設(shè)有閥門，所述閥門與冷卻水泵的進(jìn)出口管道連接，所述冷卻水泵的管道另一端與布置于室外的冷卻塔連接。
[0007]本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果是:
[0008](I)本實(shí)用新型通過改善制冷系統(tǒng)結(jié)構(gòu)降低了能源的電能消耗，據(jù)估算冬季4個月每套系統(tǒng)可節(jié)約15萬元電費(fèi)，且該系統(tǒng)后期每年都可以運(yùn)行。
[0009](2)本實(shí)用新型通過停止低負(fù)荷的制冷冰機(jī)運(yùn)行，解決了頻繁啟動對制冷冰機(jī)主機(jī)的使用性能沖擊。
[0010](3)本實(shí)用新型減少了冰水管道的磨損，延長了冰水管路的使用壽命。
【附圖說明】
[0011]圖1是現(xiàn)有工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的示意圖。
[0012]圖2是本實(shí)用新型工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做進(jìn)一步說明。
[0014]如圖2所示，本實(shí)用新型的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，包括冷卻水泵、冷卻塔、熱交換器以及工藝水泵。其中熱交換器的一側(cè)通過工藝水泵連接成型機(jī)、隧道爐以及切彎角機(jī)等生產(chǎn)設(shè)備，另一側(cè)設(shè)有閥門，閥門與冷卻水泵的進(jìn)出口管道連接，管道另一端與布置于室外的冷卻塔連接。
[0015]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，取消了空調(diào)和工藝水使用的制冷冰機(jī)和冰水泵，直接通過冷卻水泵把從半導(dǎo)體生產(chǎn)車間經(jīng)過熱交換器帶來的熱量送至室外的冷卻塔進(jìn)行降溫處理。通過冷卻塔的散熱風(fēng)扇，把由熱交換器帶來的半導(dǎo)體生產(chǎn)車間發(fā)熱量帶走。
[0016]以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型不限于以上實(shí)施例?？梢岳斫猓绢I(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的精神和構(gòu)思的前提下直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的其他改進(jìn)和變化，均應(yīng)認(rèn)為包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種冬季利用外界溫度進(jìn)行節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，其特征在于:包括冷卻水泵、冷卻塔、熱交換器以及工藝水泵；所述熱交換器的一側(cè)通過工藝水泵連接生產(chǎn)設(shè)備，所述熱交換器的另一側(cè)設(shè)有閥門，所述閥門與冷卻水泵的進(jìn)出口管道連接，所述冷卻水泵的管道另一端與冷卻塔連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述冬季利用外界溫度進(jìn)行節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，其特征在于:所述冷卻塔布置于室外。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述冬季利用外界溫度進(jìn)行節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，其特征在于:所述生產(chǎn)設(shè)備包括成型機(jī)、隧道爐以及切彎角機(jī)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種冬季利用外界溫度進(jìn)行節(jié)能降耗的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，包括冷卻水泵、冷卻塔、熱交換器以及工藝水泵；熱交換器的一側(cè)通過工藝水泵連接包括成型機(jī)、隧道爐以及切彎角機(jī)在內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備，熱交換器的另一側(cè)設(shè)有閥門，閥門與冷卻水泵的進(jìn)出口管道連接，冷卻水泵的管道另一端與布置于室外的冷卻塔連接。本實(shí)用新型通過管道的改造，取消制冷冰機(jī)以及冰水泵，利用外氣的低溫來轉(zhuǎn)移走車間的發(fā)熱量，達(dá)到節(jié)約能源消耗的目的。
【IPC分類】F28C1-00
【公開號】CN204346200
【申請?zhí)枴緾N201420801195
【發(fā)明人】閻定坤
【申請人】力特半導(dǎo)體（無錫）有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2014年12月16日