專利名稱：基于xml的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝備控制技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體工藝過程是一個多輸入變量的動態(tài)過程，影響因素很多，且較為復(fù)雜，例如運動、壓力、流量等參數(shù)的變化。僅以拋光工藝中的拋光壓力為例，作為影響拋光效果最為關(guān)鍵的參數(shù)之一，大量的研究成果表明，增大拋光壓力，使機械磨削作用加強，去除率提高，但是壓力過大會影響材料表面拋光液的均勻分布，導(dǎo)致去除率不均勻，拋光墊磨損過快等問題，從而降低了拋光質(zhì)量。如果拋光壓力過小，又會降低去除率和生產(chǎn)效率，增加生產(chǎn)成本。為了保證良好的工藝效果，在拋光前期拋光壓力應(yīng)保持較大，到了拋光后期，拋光壓力應(yīng)適當(dāng)減小。因此，在實際工藝過程中，只有嚴(yán)格設(shè)置每一步工藝的各項參數(shù)，才可獲取滿意的工藝效果。由上可知，工藝配方對工藝質(zhì)量影響巨大。隨著工藝需求的不斷變化，需要對工藝配方文檔進行有效的管理。如果采用人工方式，不僅費時費力，而且容易出錯，造成的后果將不堪設(shè)想。另外，針對不同的工藝過程，需要工藝人員在每次工藝前向半導(dǎo)體裝備輸入工藝所需的全部工藝參數(shù)，操作非常繁瑣，不利于半導(dǎo)體裝備的工藝發(fā)展。XML (extensible Markup Language,可擴展標(biāo)記語言)以其簡單、直觀、良好的結(jié)構(gòu)描述，已成為一種很好的通用數(shù)據(jù)交換和數(shù)據(jù)存儲形式。由于XML文檔具有規(guī)定的格式，特別適用于表述結(jié)構(gòu)性和邏輯性較強的信息，所以用XML文檔形式來存取和表述半導(dǎo)體工藝配方非常合適。而且作為一種標(biāo)準(zhǔn)，XML文檔可以很方便地創(chuàng)建并被XML解析器讀取，在系統(tǒng)的開發(fā)中大大降低了程序設(shè)計的難度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的目的在于提出一種安全可靠且操作方便的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)，該處理系統(tǒng)便于建立、編輯、保存、打開和下載半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔，省時省力、防止人為出錯且節(jié)約人工成本。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的實施例提供了一種基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)，包括:下位機組，所述下位機組與半導(dǎo)體裝備的各工藝單元相連，用于接收和存儲當(dāng)前工藝配方，并根據(jù)當(dāng)前工藝配方的參數(shù)控制各工藝單元的運行；和上位機，所述上位機與所述下位機組相連，用于根據(jù)工藝需求管理工藝配方文檔，并可對文檔進行解析，將解析后的工藝配方內(nèi)容下載到下位機組中。
根據(jù)本發(fā)明實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)，解決了半導(dǎo)體裝備工藝配方的建立、編輯、保存、讀取和下載等問題，方便工藝人員使用，易于操作。另外，根據(jù)本發(fā)明上述實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)還可以具有如下附加的技術(shù)特征:在一些示例中，所述上位機還用于對已創(chuàng)建的工藝配方文檔進行打開、編輯和保存操作。在一些示例中，所述下位機組包括多個下位機，每個下位機分別與所述半導(dǎo)體裝備中的每個工藝單元相連。在一些示例中，所述上位機進一步包含:0PC服務(wù)器，所述OPC服務(wù)器配置所述下位機組信息以實現(xiàn)所述OPC服務(wù)器與所述下位機組的通訊，其中，所述下位機組信息包括各個下位機的名稱和地址；客戶端，所述客戶端與所述OPC服務(wù)器相連，基于所述客戶端，工藝人員利用處理系統(tǒng)的圖形用戶界面可實時訪問OPC服務(wù)器，并將工藝配方內(nèi)容下載到下位機組中。如果工藝配方不變，無需重復(fù)下載。在一些示例中，所述圖形用戶界面包括:文檔編輯子界面和文檔下載子界面。其中，工藝人員登陸編輯子界面后可進行工藝配方的建立、編輯、打開和保存等操作。不同工藝單元的配方對應(yīng)各自不同的編輯子界面及表格，工藝人員在編輯表格中完成參數(shù)的輸入和修改。工藝人員登陸 下載子界面后可進行工藝配方的下載操作。在一些示例中，所述工藝配方文檔為XML格式的文檔，且全部保存在上位機中系統(tǒng)指定的文件夾下，方便工藝人員隨時調(diào)取與修改工藝配方文檔內(nèi)容。在一些示例中，所述上位機對所述工藝配方文檔時，將所述工藝配方文檔解析為DOM文檔對象模型，并從所述DOM文檔對象模型中提取元素、屬性和注釋，以根據(jù)所述元素和屬性得到所述工藝配方內(nèi)容，并對所述工藝配方內(nèi)容進行相應(yīng)的處理。在一些示例中，所述客戶端以同步的方式向所述OPC服務(wù)器進行寫數(shù)據(jù)，以完成工藝配方的下載。在一些示例中，所述上位機和所述下位機組之間通過以太網(wǎng)物理連接。本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。


本發(fā)明所述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)硬件結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)的下載工藝配方文檔算法的詳細流程圖。圖3是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)的半導(dǎo)體裝備的工藝單元I的工藝配方的工藝參數(shù)示意圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)的半導(dǎo)體裝備的工藝單元2的工藝配方的工藝參數(shù)示意圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)的打開工藝配方文檔算法的詳細流程圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)的保存工藝配方文檔算法的詳細流程具體實施例方式下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。相反，本發(fā)明的實施例包括落入所附加權(quán)利要求書的精神和內(nèi)涵范圍內(nèi)的所有變化、修改和等同物。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。以下結(jié)合附圖描述根據(jù)本發(fā)明實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)。本發(fā)明實施例的基于XML·的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)，包括下位機組PLC和上位機IPC。其中，下位機組與半導(dǎo)體裝備的各工藝單元相連，用于接收和存儲當(dāng)前工藝配方，并根據(jù)當(dāng)前工藝配方的參數(shù)控制各工藝單元的正常運行；上位機IPC與下位機組相連，用于根據(jù)工藝需求管理工藝配方文檔，并可對配方文檔進行解析，將解析后的工藝配方內(nèi)容下載到下位機組中。作為一個具體的示例，如圖1所示，假設(shè)半導(dǎo)體裝備包括工藝單元I和工藝單元2，下位機組包括可編程控制器PLCl和PLC2，PLC1控制工藝單元1、PLC2控制工藝單元2。在圖1中上位機IPC和下位機組之間通過以太網(wǎng)物理連接。由上可知，本發(fā)明實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)采用“IPC (工控機，即上位機)+PLC (可編程邏輯控制器)”兩級控制模式，半導(dǎo)體裝備工藝配方文檔處理系統(tǒng)是上層控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的重要組成部分，相關(guān)處理程序均運行在上位機IPC中，主要包括圖形用戶界面和關(guān)于工藝配方文檔的處理方法，針對不同工藝單元，可實現(xiàn)工藝步驟的劃分，以及工藝參數(shù)的設(shè)置等。在本發(fā)明的一個實施例中，所針對的工藝配方包括工藝單元I的工藝配方和工藝單元2的工藝配方。具體地，上位機IPC包括OPC服務(wù)器和客戶端，其中，OPC服務(wù)器配置下位機組信息以實現(xiàn)OPC服務(wù)器與下位機組的通訊，其中，下位機組信息包括各個下位機的名稱和地址?？蛻舳素撠?zé)與OPC服務(wù)器通訊，基于所述客戶端，工藝人員利用處理系統(tǒng)的圖形用戶界面可實時訪問OPC服務(wù)器，并將工藝配方內(nèi)容下載到下位機組中。如果工藝配方不變，無需重復(fù)下載。進一步地，所述圖形用戶界面包括:文檔編輯子界面和文檔下載子界面。換言之，處理系統(tǒng)主要功能包括工藝配方(工藝配方文檔)的新建、編輯、保存、打開和下載等。工藝人員登陸處理系統(tǒng)的圖形用戶界面(即用戶界面)后，即可對工藝配方文檔進行各項常規(guī)性操作。圖形用戶界面的實現(xiàn)利用Qt(即一款用于開發(fā)跨平臺圖形界面程序的C++工具包)。當(dāng)需要新建一份工藝配方文檔時，工藝人員只需打開編輯子界面，并在編輯表格中依次輸入各個工藝參數(shù)，確定無誤后點擊保存按鈕，然后輸入自定義的文件名即可。如果需要修改已保存工藝配方，只需利用編輯子界面打開工藝配方文件夾，選擇需要修改的文檔，界面表格中會自動讀出該文檔中的全部內(nèi)容，修改完畢后點擊保存即可。界面中的每一項，均有相應(yīng)的標(biāo)簽給予提示，方便工藝人員操作。如需修改工藝步驟數(shù)，可在界面上指定的輸入框內(nèi)輸入期望值，程序會自動讀取該值，并對編輯表格進行調(diào)整。調(diào)整后，工藝人員可直接在該界面上進行編輯，無需重新啟動處理系統(tǒng)界面。對于一般參數(shù)項，工藝人員可直接在QTableWidget控件上進行參數(shù)的輸入；對于某些特殊的參數(shù)項，采用Qt的QComboBox和QTableWidget的組合模式,可保證操作的便捷性和輸入的多元化,更好地滿足編輯界面與工藝人員交互的需求。如需下載工藝配方文檔(如圖2所示)，處理系統(tǒng)會根據(jù)工藝人員在下載子界面的工藝配方下拉框中選定的文件名，自動找到該文檔。如果工藝人員確定無誤且系統(tǒng)對文檔標(biāo)簽驗證通過(防止下載其他工位的工藝配方)，便可遍歷整個文檔，獲取全部參數(shù)信息，并將參數(shù)值賦給對應(yīng)變量。工藝配方下載前，系統(tǒng)會將參數(shù)的不同數(shù)據(jù)類型進行適當(dāng)?shù)霓D(zhuǎn)換，將參數(shù)值正確地賦給對應(yīng)變量。然后利用OPC同步訪問方式，通過OPC服務(wù)器將各個變量依次寫入指定的地址。各PLC建立專門的存儲區(qū)負責(zé)存儲工藝配方中的全部參數(shù)。下載完成后，設(shè)備即可按照工藝人員指定的工藝配方運行。如果工藝配方不變，無需重復(fù)下載。在處理系統(tǒng)中，工藝配方文檔的處理的編輯內(nèi)容不局限于工藝過程中工藝步驟的劃分和各步驟中的參數(shù)設(shè)置。針對其他工位的實際生產(chǎn)過程，還可對該工位各組成部分的全套動作流程(包括從進片到出片)進行有序的編輯。針對不同單元，根據(jù)工藝需求，工藝配方的編輯內(nèi)容會有所不同。以下將對不同單元的工藝配方內(nèi)容作簡要介紹。作為一個具體的示例,工藝單元I配方的主要內(nèi)容包括(如圖3所示):運動參數(shù)；壓力和流量參數(shù)等。 作為一個具體的示例，工藝單元2配方的主要內(nèi)容包括(如圖4所示):運動參數(shù)；流量參數(shù)；定位夾和門的動作等。在本發(fā)明的一個實施例中，工藝配方文檔為XML格式的文檔。具體而言，由于XML具有簡單、直觀、良好的結(jié)構(gòu)描述，是一種很好的通用數(shù)據(jù)交換和數(shù)據(jù)存儲形式，所以基于結(jié)構(gòu)性和邏輯性的考慮，本發(fā)明選用XML格式來存取和表述工藝配方文檔。生成的工藝配方文檔可快速保存在上位機IPC中系統(tǒng)指定的文件夾下，方便工藝人員隨時調(diào)取與修改工藝配方文檔內(nèi)容。在每次工藝開始前，工藝人員只需選擇期望的工藝配方下載即可。由于工藝配方的信息都是以XML格式進行處理的，所以有關(guān)工藝配方文檔的操作都是以XML文件為對象的。XML文檔由三個部分組成:序言，文檔主體和尾聲。構(gòu)成要素包括聲明、元素、屬性、注釋和文本。這些要素都可以抽象成一個點。而且任何一個XML文檔都可以看成是由節(jié)點構(gòu)成的(主要節(jié)點包括:文檔節(jié)點、聲明節(jié)點、元素節(jié)點、文本節(jié)點以及屬性節(jié)點)。在生成XML文檔時，應(yīng)根據(jù)具體工藝參數(shù)對各節(jié)點做出準(zhǔn)確的定義。目前對于XML文檔的處理已形成了不同的處理方法，它們有著各自的特點，可分別將XML文檔解析成不同的模型，為應(yīng)用程序提供了全面利用文檔的接口。隨著實際處理數(shù)據(jù)方式的不同，本發(fā)明采用文檔對象模型(Document Object Model, DOM)。
基于上述的文檔對象模型，上位機IPC對工藝配方文檔進行解析時，將工藝配方文檔解析為DOM文檔對象模型，并從DOM文檔對象模型中提取元素、屬性和注釋，根據(jù)所述元素和屬性，進而得到所述工藝配方的各項參數(shù)。具體地說，對于XML數(shù)據(jù)處理，Qt提供了 QtXml模塊。利用Qt的QtXml模塊，可以解析XML文件并對其進行操作，實現(xiàn)對半導(dǎo)體工藝配方的編輯，保存及讀取等操作。本發(fā)明選用QtXml模塊提供的DOM編程接口完成工藝配方文檔處理系統(tǒng)的開發(fā)。當(dāng)使用DOM對XML文本文件進行操作時，首先要解析文件，將文件分解為獨立的元素、屬性和注釋等。然后以節(jié)點樹的形式在內(nèi)存中創(chuàng)建XML文件的表示。這是與XML文件內(nèi)容保持一致的一種邏輯表示。節(jié)點由XML文檔中的標(biāo)簽和文本等組成。例如，元素節(jié)點對應(yīng)打開標(biāo)簽以及與它匹配的結(jié)束標(biāo)簽。在這兩個標(biāo)簽之間的內(nèi)容作為這個元素節(jié)點的子節(jié)點出現(xiàn)。在應(yīng)用程序中，這種邏輯表示體現(xiàn)了 XML文檔中元素的層次關(guān)系，所以可通過節(jié)點樹來訪問節(jié)點的內(nèi)容，并根據(jù)需要處理文檔。

在本發(fā)明的實施例中，編輯界面利用XML的兩個主要功能是打開工藝配方文檔功能(如圖5)和保存工藝配方文檔功能(如圖6)，以下詳細介紹其算法流程。1、打開工藝配方文檔打開工藝配方文檔功能用于將在本地已保存的工藝配方文檔打開，并顯示在圖形用戶界面的子窗口中，方便工藝人員隨時瀏覽和修改。每次運行該功能時，系統(tǒng)會首先自動判斷工藝人員選擇的文檔是否正確，即是否符合當(dāng)前編輯表格的編輯內(nèi)容。只有驗證通過，才可利用循環(huán)，依次獲得文檔全部子節(jié)點列表，從而實現(xiàn)遍歷所有子節(jié)點的目的，以獲取全部節(jié)點信息。處理系統(tǒng)通過獲取子節(jié)點數(shù)，確定本工藝配方共有多少步驟，并及時調(diào)整編輯表格的行數(shù)。具體處理算法流程:(I)在函數(shù)實現(xiàn)中，首先利用QFile類以只讀的方式打開文件名(工藝人員在打開窗口中選中的文件名)已經(jīng)傳遞進來的文件，然后創(chuàng)建一個QDomDocument對象。當(dāng)調(diào)用其setContent函數(shù)時，由QIODevice提供的整個XML文檔將被讀取并解析。如果該文檔還未打開，setContent函數(shù)將自動打開設(shè)備。(2)如果文檔被解析成功,對QDomDocument調(diào)用documentElement函數(shù)獲得它唯一的QDomElement子對象。同時，利用QDomElement的childNodes函數(shù)獲取子節(jié)點，并通過length函數(shù)進而可知本工藝配方共有多少步驟，以確定工藝配方表格的行數(shù)。(3)對 QDomNode 調(diào)用 toElement 函數(shù)將其轉(zhuǎn)換成 QDomElement,然后調(diào)用 tagName函數(shù)來取得元素的標(biāo)簽名稱。通過獲取標(biāo)簽名，系統(tǒng)會首先自動判斷工藝人員選擇的文檔是否正確，即是否符合當(dāng)前編輯界面的編輯對象。如果驗證通過，即可結(jié)合QDomNode的isNull函數(shù)和nextSibling函數(shù)構(gòu)成循環(huán)，并由QDomNode的childNodes函數(shù)獲得子節(jié)點列表QDomNodeList,從而實現(xiàn)遍歷所有子節(jié)點的目的，以獲取全部節(jié)點信息。QDomNode類可以存儲任何類型的節(jié)點。如果想進一步處理節(jié)點內(nèi)容,首先必須把它轉(zhuǎn)換為合適的數(shù)據(jù)類型。本文通過調(diào)用text函數(shù)獲得標(biāo)簽之間的文本，然后利用QTableffidget的setltem函數(shù)將其顯示在表格的對應(yīng)位置。2、保存工藝配方文檔保存工藝配方文檔功能用于保存工藝人員已編輯完成的工藝配方文檔。按照系統(tǒng)規(guī)定的路徑和工藝人員指定的文件名，該功能將順序讀取編輯表格中每一個單元格的內(nèi)容，并生成相應(yīng)的XML文檔進行存儲。每次運行該功能時，系統(tǒng)會首先判斷工藝人員輸入的文件名是否合法。如果文件名合法，將對編輯表格中的全部參數(shù)進行檢查，確定沒有空白項和非法字符。若某項有問題，則會進行相應(yīng)處理(例如提示信息等)，否則系統(tǒng)會逐行獲取編輯表格中的每一項內(nèi)容(在編輯窗口中，表格的一行對應(yīng)工藝的一步，一列對應(yīng)工藝的一項參數(shù))，并依次將該行中的每一列內(nèi)容作為元素文本添加到每一個對應(yīng)子元素節(jié)點中。具體處理算法流程:(I)在函數(shù)實現(xiàn)中，首先利用QFileDialog類獲取文件名(工藝人員在保存窗口中輸入的文件名)。如果文件名合法，將對工藝配方編輯表格中的內(nèi)容進行檢查，確定沒有空白項和非法字符。若某項有問題，則會進行相應(yīng)處理(例如提示信息等)。(2)然后，利用QFile類以只寫的方式打開文件名已經(jīng)傳遞進來的文件，并創(chuàng)建一個QDomDocument對象。一般地,需在QDomDocument對象中添加處理指令,并生成根節(jié)點。(3)利用循環(huán)，逐行獲取工藝配方編輯窗口中的每一項內(nèi)容(在編輯窗口中，表格的一行對應(yīng)工藝的一步，一列對應(yīng)半導(dǎo)體工藝中的一項參數(shù))，并依次將該行中的每一列內(nèi)容作為元素文本添加到該步工藝節(jié)點的每一個對應(yīng)子元素節(jié)點中。各參數(shù)項的參數(shù)名稱需提前定義好。所有工藝節(jié)點作為根節(jié)點的子節(jié)點，利用appendChild函數(shù),添加到root節(jié)點后，其屬性值為自己對應(yīng)的步驟編號。(4)最后,利用QTextStream對象,將文檔保存到指定位置，即完成了整個XML文檔的生成工作。根據(jù)本發(fā)明實施例的基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)，解決了半導(dǎo)體裝備工藝配方的建立、編輯、保存、打開和下載等問題，方便工藝人員使用，易于操作。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對所述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同限定。
權(quán)利要求
1.一種基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)，其特征在于，包括: 下位機組，所述下位機組與裝備的各工藝單元相連，用于接收和存儲當(dāng)前工藝配方，并根據(jù)當(dāng)前工藝配方的參數(shù)控制各工藝單元的正常運行； 上位機，所述上位機與所述下位機組相連，用于根據(jù)工藝需求管理工藝配方文檔，并可對文檔進行解析，將解析后的工藝配方內(nèi)容下載到下位機組中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述上位機還用于對已創(chuàng)建的工藝配方文檔進行打開、編輯和保存操作。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述下位機組包括多個下位機，每個下位機分別與所述半導(dǎo)體裝備中的每個工藝單元相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述上位機進一步包含: OPC服務(wù)器，所述OPC服務(wù)器配置所述下位機組信息以實現(xiàn)所述OPC服務(wù)器與所述下位機組的通訊，其中，所述下位機組信息包括各個下位機的名稱和地址； 客戶端，所述客戶端 與所述OPC服務(wù)器通訊。基于所述客戶端，工藝人員利用處理系統(tǒng)的圖形用戶界面可實時訪問OPC服務(wù)器，并將工藝配方內(nèi)容下載到下位機組中。如果工藝配方不變，無需重復(fù)下載。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述處理系統(tǒng)的圖形用戶界面包括:文檔編輯子界面和文檔下載子界面。其中，工藝人員登陸編輯子界面后可進行工藝配方的建立、編輯、打開和保存等操作。不同工藝單元的配方對應(yīng)各自不同的編輯子界面及表格，工藝人員在編輯表格中完成參數(shù)的輸入和修改。工藝人員登陸下載子界面后可進行工藝配方的下載操作。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述工藝配方文檔為XML格式的文檔，且全部保存在上位機中系統(tǒng)指定的文件夾下，方便工藝人員隨時調(diào)取與修改工藝配方文檔內(nèi)容。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，對所述工藝配方文檔進行解析時，將所述工藝配方文檔解析為DOM文檔對象模型，并從所述DOM文檔對象模型中提取元素、屬性和注釋，以根據(jù)所述元素和屬性得到所述工藝配方內(nèi)容。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述客戶端以同步的方式向所述OPC服務(wù)器進行寫數(shù)據(jù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，所述上位機和所述下位機組之間通過工業(yè)以太網(wǎng)物理連接。
全文摘要
本發(fā)明提出一種基于XML的半導(dǎo)體裝備的工藝配方文檔處理系統(tǒng)，包括下位機組，下位機組與裝備的各工藝單元相連，用于接收和存儲當(dāng)前工藝配方，并根據(jù)當(dāng)前工藝配方的參數(shù)控制各工藝單元的正常運行；上位機，上位機與下位機組相連，用于根據(jù)工藝需求創(chuàng)建、編輯和保存工藝配方文檔，并對工藝配方文檔進行解析，以將解析后的工藝配方內(nèi)容下載到下位機組中。在上位機中，所有工藝配方文檔均以XML文件格式處理，工藝人員可利用處理系統(tǒng)的圖形用戶界面對工藝配方文檔進行各項常規(guī)性操作。本發(fā)明實施例的處理系統(tǒng)便于管理半導(dǎo)體裝備工藝配方文檔，省時省力、防止人為出錯且節(jié)約人工成本。
文檔編號G06Q50/04GK103218751SQ20131014865
公開日2013年7月24日 申請日期2013年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月25日
發(fā)明者路新春, 李弘愷, 田芳馨, 何永勇 申請人:清華大學(xué)