專利名稱：具有流道板的流體輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種流體輸送裝置，尤指一種具有流道板的流體輸送裝置。
背景技術(shù)：
目前于各領(lǐng)域中無(wú)論是醫(yī)藥、電腦科技、打印、能源等工業(yè)，產(chǎn)品均朝精致化 及微小化方向發(fā)展，其中微泵、噴霧器、噴墨頭、工業(yè)打印裝置等產(chǎn)品所包含的流 體輸送結(jié)構(gòu)為其關(guān)鍵技術(shù)，因此，如何借助創(chuàng)新結(jié)構(gòu)突破其技術(shù)瓶頸，為發(fā)展的重 要內(nèi)容。
請(qǐng)參閱圖1，其是己知微泵結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，己知微泵結(jié)構(gòu)10是由閥體座 11、閥體蓋體12、閥體薄膜13、微致動(dòng)器14及蓋體15所組成，其中，閥體薄膜 13包含入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)131及出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)132，闊體座11包含入口通道111及出 口通道112、闊體蓋體12與微致動(dòng)器14間形成一壓力腔室123，閥體薄膜13設(shè)置 在閥體座11與閥體蓋體12之間。
當(dāng)一電壓作用在微致動(dòng)器14的上下兩極時(shí)，會(huì)產(chǎn)生一電場(chǎng)，使得微致動(dòng)器14 在此電場(chǎng)的作用下產(chǎn)生彎曲，當(dāng)微致動(dòng)器14朝箭號(hào)x所指的方向向上彎曲變形， 將使得壓力腔室123的體積增加，因而產(chǎn)生一吸力，使閥體薄膜13的入口閥門(mén)結(jié) 構(gòu)131開(kāi)啟，使液體可自閥體座ll上的入口通道lll被吸取進(jìn)來(lái)，并流經(jīng)閥體薄 膜13的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)131及閥體蓋體12上的入口閥片通道121而流入壓力腔室 123內(nèi)，反之當(dāng)微致動(dòng)器14因電場(chǎng)方向改變而朝箭號(hào)x的反方向向下彎曲變形時(shí)， 則會(huì)壓縮壓力腔室123的體積，使得壓力腔室123對(duì)內(nèi)部的流體產(chǎn)生一推力，并使 閥體薄膜13的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)131、出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)132承受一向下推力，而出口閥 門(mén)結(jié)構(gòu)132將開(kāi)啟，并使液體由壓力腔室123通過(guò)閥體蓋體12上的出口閥門(mén)通道 122、閥體薄膜13的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)132，而從閥體座11的出口通道112流出微泵 結(jié)構(gòu)10外，因而完成流體的傳輸過(guò)程。
雖然己知微泵結(jié)構(gòu)10能夠達(dá)到輸送流體的功能，但是其是使用單一致動(dòng)器配 合單一壓力腔室、單一流通管道、單一進(jìn)出口以及單一對(duì)的閥門(mén)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，若要使
5用微泵結(jié)構(gòu)10來(lái)提升流量，必須利用銜接機(jī)構(gòu)將多個(gè)微泵結(jié)構(gòu)10進(jìn)行連接并堆迭 設(shè)置，然而此種連接方式除了需額外耗費(fèi)銜接機(jī)構(gòu)的成本外，多個(gè)微泵結(jié)構(gòu)10所 組合起來(lái)的體積將過(guò)大，使得最終產(chǎn)品的體積增加而無(wú)法符合微小化的趨勢(shì)。
因此，如何發(fā)展一種可改善上述現(xiàn)有技術(shù)缺失的具有流道板的流體輸送裝置， 實(shí)為目前迫切需要解決的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有流道板的流體輸送裝置，以解決以己知微 泵結(jié)構(gòu)來(lái)提升流量時(shí)，必須利用銜接機(jī)構(gòu)將多個(gè)微泵結(jié)構(gòu)進(jìn)行連接并堆迭設(shè)置，將 額外耗費(fèi)銜接機(jī)構(gòu)的成本，且多個(gè)微泵結(jié)構(gòu)所組合起來(lái)的體積過(guò)大，無(wú)法符合產(chǎn)品 微小化的趨勢(shì)等缺點(diǎn)。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明的一較廣義實(shí)施樣態(tài)為提供一種具有流道板的流體輸送 裝置，用以傳送流體，其包含閥體座，其具有至少一出口通道及至少一入口通道； 流道板，其具有兩側(cè)面，以及貫穿兩側(cè)面的多個(gè)入口分流道及多個(gè)出口匯流道；閥 體蓋體，其與該流道板相互堆迭結(jié)合；閥體薄膜，其設(shè)置于流道板及閥體蓋體之間， 且具有多個(gè)閥門(mén)結(jié)構(gòu)；多個(gè)暫存室，設(shè)置于閥體薄膜與閥體蓋體之間，以及于閥體 薄膜與流道板之間；以及振動(dòng)裝置，其具有振動(dòng)薄膜及至少一致動(dòng)器，且周邊固設(shè) 于閥體蓋體，并與閥體蓋體形成至少一壓力腔室。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明的另一較廣義實(shí)施樣態(tài)為提供一種具有流道板的流體輸 送裝置，用以傳送流體，其包含閥體座，其具有出口通道及入口通道；流道板， 其具有兩側(cè)面，以及貫穿兩側(cè)面的入口分流道及出口匯流道；閥體蓋體，其與該流
道板相互堆迭結(jié)合；閥體薄膜，其設(shè)置于流道板及閥體蓋體之間，且具有第一閥門(mén) 結(jié)構(gòu)及第二閥門(mén)結(jié)構(gòu)；多個(gè)暫存室，設(shè)置于閥體薄膜與閥體蓋體之間，以及于閥體 薄膜與流道板之間；以及振動(dòng)裝置，其具有振動(dòng)薄膜及單一致動(dòng)器，且周邊固設(shè)于 閥體蓋體，并與閥體蓋體形成單一壓力腔室。
圖1是已知微泵結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2A是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的流體輸送裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2B是圖2A所示的流道板的背面結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2C是圖2A所示的閥體蓋體的背面結(jié)構(gòu)示意圖。圖2D是圖2A所示的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)開(kāi)啟示意圖。 圖2E是圖2A所示的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)幵啟示意圖。 圖2F是圖2A的組裝完成后的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3A是本發(fā)明圖2F所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作狀態(tài)的A-A剖面示意圖。 圖3B是圖3A的壓力腔室膨脹狀態(tài)示意圖。 圖3C是圖3A的壓力腔室壓縮狀態(tài)示意圖。
圖4A是本發(fā)明圖2F所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作狀態(tài)的B-B剖面示意圖。 圖4B是圖4A的壓力腔室壓縮狀態(tài)示意圖。 圖4C是圖4A的壓力腔室膨脹狀態(tài)示意圖。
圖5A是本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的流體輸送裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖。 圖5B是圖5A的組裝完成后的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6A是本發(fā)明圖5B所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作狀態(tài)的A-A剖面示意圖。 圖6B是圖6A的壓力腔室膨脹狀態(tài)示意圖。 圖6C是圖6A的壓力腔室壓縮狀態(tài)示意圖。
圖7A是本發(fā)明圖5B所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作狀態(tài)的B-B剖面示意圖。
圖7B是圖7A的壓力腔室壓縮狀態(tài)示意圖。
圖7C是圖7A的壓力腔室膨脹狀態(tài)示意圖。
圖8是本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的流體輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖9A是本發(fā)明圖8所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作狀態(tài)的A-A剖面示意圖。
圖9B是圖9A的壓力腔室膨脹狀態(tài)示意圖。
圖9C是圖9A的壓力腔室壓縮狀態(tài)示意圖。
圖10A是本發(fā)明圖8所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作狀態(tài)的B-B剖面示意圖。 圖10B是圖10A的壓力腔室壓縮狀態(tài)示意圖。 圖10C是圖10A的壓力腔室膨脹狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式
體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的一些典型實(shí)施例將在下面的說(shuō)明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解 的是本發(fā)明能夠在不同的態(tài)樣上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明的范圍，且其 中的說(shuō)明及圖示在本質(zhì)上是當(dāng)作說(shuō)明之用，而非用以限制本發(fā)明。
本發(fā)明的流體輸送裝置可適用于醫(yī)藥生技、電腦科技、打印或是能源等工業(yè)， 且可為但不限為輸送氣體或是液體，主要是借助增加流道板的設(shè)計(jì)可擴(kuò)充成一進(jìn)一出、多進(jìn)一出、 一進(jìn)多出以及多進(jìn)多出的形式，較易使流體均勻提供至入口分流道， 并能使出口流體有效匯集至出口通道。除此之外，流體輸送裝置整體設(shè)計(jì)采用長(zhǎng)條 形艙體，其對(duì)應(yīng)長(zhǎng)條形的振動(dòng)薄膜及致動(dòng)器，可使流速及揚(yáng)程大為增加，非常適合 用于流速及揚(yáng)程需求相對(duì)較高的應(yīng)用場(chǎng)合。
請(qǐng)參閱圖2A，其是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的流體輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如 圖所示，本實(shí)施例的流體輸送裝置20是使用一進(jìn)一出的實(shí)施態(tài)樣，流體輸送裝置 20主要是由閥體座21、閥體蓋體22、閥體薄膜23、多個(gè)暫存室、致動(dòng)裝置24、 蓋體25及流道板26所組成，其中在閥體蓋體22及致動(dòng)裝置24之間形成一壓力腔 室226 (如圖2C所示)，主要用來(lái)儲(chǔ)存流體。
流體輸送裝置20的組裝方式是將流道板26設(shè)置于閥體座21與閥體薄膜23 之間，而閥體薄膜23則設(shè)置于流道板26及閥體蓋體22之間，并使閥體薄膜23 與流道板26及閥體蓋體22相對(duì)應(yīng)設(shè)置，且在閥體薄膜23與閥體蓋體22之間形成 一第一暫存室，而在閥體薄膜23與流道板26之間形成一第二暫存室，并且于閥體 蓋體22上的相對(duì)應(yīng)位置還設(shè)置有致動(dòng)裝置24，致動(dòng)裝置24是由一振動(dòng)薄膜241 以及一致動(dòng)器242組裝而成(如圖3A及圖4A所示)，用以驅(qū)動(dòng)流體輸送裝置20 的動(dòng)作，最后，依序?qū)㈤y體座21、流道板26、閥體薄膜23、閥體蓋體22、致動(dòng)裝 置24及蓋體25相對(duì)應(yīng)堆迭設(shè)置，以完成流體輸送裝置20的組裝(如圖2F所示)。
其中，閥體座21、流道板26及閥體蓋體22是本發(fā)明流體輸送裝置20中導(dǎo)引 流體進(jìn)出的主要結(jié)構(gòu)，請(qǐng)參閱圖2A并配合圖3A及圖4A，其中圖3A是圖2F所示 的流體輸送裝置組裝完成的A-A剖面圖，圖4A是圖2F示的流體輸送裝置組裝完成 的B-B剖面圖，如圖所示，閥體座21具有一個(gè)入口通道211以及出口通道212, 入口通道211是用以使外部的流體輸送至流體輸送裝置20內(nèi)，而出口通道212則 是將流體由流體輸送裝置20的內(nèi)部傳送至外部。
請(qǐng)參閱圖2A、圖2B并配合圖3A及圖4A，其中圖2B是圖2A所示的流道板的 背面結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，流道板26具有單一個(gè)入口分流道261以及單一個(gè)出 口匯流道262，且入口通道211與入口分流道261相連通(如圖3A所示)，而出 口通道212則與出口匯流道262連通(如圖4A所示)，換言之，當(dāng)流體輸送裝置 20組裝完成時(shí)，入口分流道261可通過(guò)入口通道211與外界連通，可將流體由外 界輸入，而出口匯流道262則可通過(guò)出口通道212與外界連通，可將流體由流體輸 送裝置20內(nèi)部輸出至外界。
并且，于本實(shí)施例中，閥體薄膜23及流道板26之間所形成的第二暫存室即為圖中所示的出口暫存腔263，但不以此為限，其是由流道板26的下表面266與出 口匯流道262相對(duì)應(yīng)的位置產(chǎn)生部分凹陷而形成，并與閥體座21的出口通道212 相連通，該出口暫存腔263是用以暫時(shí)儲(chǔ)存流體，并使該流體由出口暫存腔263 通過(guò)一出口匯流道262而輸送至出口通道212,再流出閥體座21之外。以及，在 流道板26上還具有多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)，用以供一密封環(huán)27 (如圖3A及圖4A所示)設(shè)置 于其上，于本實(shí)施例中，流道板26的下表面具有環(huán)繞入口分流道261周邊的凹槽 265，及環(huán)繞于出口暫存腔263周邊的凹槽264。
請(qǐng)參閱圖2A、圖2C并配合圖3A及圖4A，其中圖2C是圖2A所示的閥體蓋體 的背面結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，閥體蓋體22具有一上表面220及一下表面228, 以及在閥體蓋座22上亦具有貫穿上表面220至下表面228的第一閥門(mén)通道及一第 二閥門(mén)通道，于本實(shí)施例中，第一閥門(mén)通道是一入口閥門(mén)通道221,第二閥門(mén)通道 是一出口閥門(mén)通道222，且該入口閥門(mén)通道221設(shè)置于與流道板26的入口分流道 261相對(duì)應(yīng)的位置，而出口閥門(mén)通道222則設(shè)置于與流道板26的出口暫存腔263 內(nèi)的出口匯流道262相對(duì)應(yīng)的位置，并且，于本實(shí)施例中，閥體薄膜23及閥體蓋 體22之間所形成的第一暫存室即為圖中所示的入口暫存腔223，且不以此為限， 其是由閥體蓋體22之上表面220于與入口閥門(mén)通道221相對(duì)應(yīng)的位置產(chǎn)生部份凹 陷而形成，且其是連通于入口閥門(mén)通道221。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D2C，如圖所示，閥體蓋體22的下表面228是部份凹陷，以形成一 壓力腔室226，其是與致動(dòng)裝置24的致動(dòng)器242相對(duì)應(yīng)設(shè)置，壓力腔室226是通 過(guò)入口閥門(mén)通道221連通于入口暫存腔223，并同時(shí)與出口閥門(mén)通道222相連通， 因此，當(dāng)致動(dòng)器242受電壓致動(dòng)使致動(dòng)裝置24朝蓋體25方向凸出變形，造成壓力 腔室226的體積膨脹而產(chǎn)生負(fù)壓差，可使流體經(jīng)入口閥門(mén)通道221流至壓力腔室 226內(nèi)(如圖3A及圖4A所示)，其后，當(dāng)施加于致動(dòng)器242的電場(chǎng)方向改變后， 致動(dòng)器242將使致動(dòng)裝置24朝閥體蓋體22方向凹陷變形，壓力腔室226將收縮而 體積減小，使壓力腔室226與外界產(chǎn)生正壓力差，促使流體由出口閥門(mén)通道222 流出壓力腔室226之外，于此同時(shí)，同樣有部分流體會(huì)流入入口閥門(mén)通道221及入 口暫存室223內(nèi)，然而由于此時(shí)的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231是使受壓而關(guān)閉的狀態(tài)，故該 流體不會(huì)通過(guò)入口閥片2313而產(chǎn)生倒流的現(xiàn)象(如圖3C所示)，至于暫時(shí)儲(chǔ)存于 入口暫存腔223內(nèi)的流體，則于致動(dòng)器242再受電壓致動(dòng)，重復(fù)使致動(dòng)裝置24再 變形而增加壓力腔室226體積時(shí)，再由入口暫存腔223經(jīng)至入口閥門(mén)通道221而流 入壓力腔室226內(nèi)，以進(jìn)行流體的輸送。另外，閥體蓋體22上同樣具有多個(gè)凹槽結(jié)構(gòu)，以本實(shí)施例為例，在閥體蓋體
22的下表面228具有環(huán)繞壓力腔室226而設(shè)置的凹槽227，而在上表面220上則具 有環(huán)繞設(shè)置于入口暫存腔223的凹槽224、環(huán)繞設(shè)置于出口閥門(mén)通道222的凹槽 225，同樣地，上述凹槽結(jié)構(gòu)是用以供一密封環(huán)28(如圖3A及圖4A所示)設(shè)置于其 中。
請(qǐng)參閱圖2A并配合圖2D及圖2E,其中圖2D其是圖2A所示的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu) 開(kāi)啟示意圖，圖2E其是圖2A所示的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)開(kāi)啟示意圖，如圖2A所示，閥 體薄膜23主要是以傳統(tǒng)加工、或平版印刷(lithography)蝕刻、或激光加工、或電 鑄加工、或放電加工等方式制出，且為一厚度實(shí)質(zhì)上相同的薄片結(jié)構(gòu)，其上具有第 一闊門(mén)結(jié)構(gòu)以及第二閥門(mén)結(jié)構(gòu)，于本實(shí)施例中，第一閥門(mén)結(jié)構(gòu)是入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231， 而第二閥門(mén)結(jié)構(gòu)是出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232，其中，入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231具有入口閥片2313 以及多個(gè)環(huán)繞入口閥片2313周邊而設(shè)置的鏤空的孔2312，另外，在孔2312之間 還具有與入口閥片2313相連接的延伸部2311，當(dāng)閥體薄膜23承受一自壓力腔室 226傳遞而來(lái)向上的應(yīng)力時(shí)，如圖3C所示，入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231是整個(gè)向上平貼于 流道板26之上，此時(shí)入口閥片2313會(huì)緊靠凹槽265上密封環(huán)27突出部分，而密 封住流道板26上的入口分流道261，且其外圍的鏤空孔2312及延伸部2311則順 勢(shì)浮貼于流道板26之上，故因此入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231的關(guān)閉作用，使流體無(wú)法流出。
而當(dāng)閥體薄膜23受到壓力腔室226體積增加而產(chǎn)生的吸力作用下，由于設(shè)置 于流道板26的凹槽265內(nèi)的密封環(huán)27己提供入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231 —預(yù)力(Pref orce)， 因而入口閥片2313可借助延伸部2311的支撐而產(chǎn)生更大的預(yù)蓋緊效果，以防止逆 流，當(dāng)因壓力腔室226的負(fù)壓而使入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231往下產(chǎn)生位移(如圖2D所示)， 此時(shí)，流體則可通過(guò)鏤空的孔2312由流道板26流至閥體蓋體22的入口暫存腔223， 并通過(guò)入口暫存腔223及入口閥門(mén)通道221傳送至壓力腔室226內(nèi)，如此一來(lái)，入 口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231即可響應(yīng)壓力腔室226產(chǎn)生的正負(fù)壓力差而迅速的開(kāi)啟或關(guān)閉，以 控制流體的進(jìn)出，并使流體不會(huì)回流至流道板26上。
同樣地，位于同一閥體薄膜23上的另一閥門(mén)結(jié)構(gòu)則為出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232，其 中的出口闊片2323、延伸部2321以及孔2322的動(dòng)作方式均與入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231 相同，因而不再贅述，但出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232周邊的密封環(huán)28設(shè)置方向是與入口閥 門(mén)結(jié)構(gòu)231的密封環(huán)27反向設(shè)置，如圖2E及圖4A所示，因而當(dāng)壓力腔室226壓 縮而產(chǎn)生一推力時(shí)，設(shè)置于閥體蓋體22的凹槽225內(nèi)的密封環(huán)28將提供出口閥門(mén) 結(jié)構(gòu)232 —預(yù)力(Preforce)，使得出口閥片2323可借助延伸部2321的支撐而產(chǎn)生
10更大的預(yù)蓋緊效果，以防止逆流，當(dāng)因壓力腔室226的正壓而使出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232 往上產(chǎn)生位移，此時(shí)，流體則可通過(guò)鏤空的孔2322由壓力腔室226經(jīng)閥體蓋體22 而流至流道板26的出口暫存腔263內(nèi)，并可通過(guò)出口匯流道262及出口流道212 排出，如此一來(lái)，則可通過(guò)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232開(kāi)啟的機(jī)制，將流體自壓力腔室226 內(nèi)泄出，以達(dá)到流體輸送的功能。
請(qǐng)參閱圖3A及圖4A，其中圖3A是本發(fā)明圖2F所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作 狀態(tài)的A-A剖面示意圖，圖4A是本發(fā)明圖2F所示的流體輸送裝置的未動(dòng)作狀態(tài)的 B-B剖面示意圖，于本實(shí)施例中，所有的凹槽結(jié)構(gòu)224、 225、 227分別設(shè)置密封環(huán) 28,而凹槽264、 265內(nèi)亦分別設(shè)置密封環(huán)27，其材質(zhì)是可耐化性佳的橡膠材料， 且不以此為限，其中，設(shè)置于流道板26上的凹槽265內(nèi)的密封環(huán)27可為一圓環(huán)結(jié) 構(gòu)，其厚度是大于凹槽265深度，使得設(shè)置于凹槽265內(nèi)的密封環(huán)27是部分凸出 于流道板26的下表面266構(gòu)成一微凸結(jié)構(gòu)，因而使得貼合設(shè)置于流道板26上的閥 體薄膜23的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231的入口閥片2313因密封環(huán)27的微凸結(jié)構(gòu)而形成一 向下隆起，而閥體薄膜23的其余部分是與閥體蓋體22相抵頂，如此微凸結(jié)構(gòu)對(duì)入 口閥門(mén)231頂推而產(chǎn)生一預(yù)力(Preforce)作用，有助于產(chǎn)生更大的預(yù)蓋緊效果，以 防止逆流，且由于密封環(huán)27隆起的微凸結(jié)構(gòu)是位于閥體薄膜23的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu) 231處，故使入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231在未動(dòng)作時(shí)使入口閥片2313與流道板26的下表面 266之間具有一間隙，同樣地，當(dāng)密封環(huán)28設(shè)置于環(huán)繞出口閥門(mén)通道222的凹槽 225內(nèi)時(shí)，由于其密封環(huán)28設(shè)置于閥體蓋體22的上表面220，因而該密封環(huán)28 是使閥體薄膜23的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232向上凸出而形成一向上隆起于閥體蓋體22 的微凸結(jié)構(gòu)，此微凸結(jié)構(gòu)僅其方向與形成于入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231的微凸結(jié)構(gòu)是反向設(shè) 置，然而其功能均與前述相同，因而不再贅述。至于其余分別設(shè)置于凹槽結(jié)構(gòu)224、 227及264及213內(nèi)的密封環(huán)28及27及29，主要用來(lái)分別使閥體座21與流道板 26、閥體薄膜23、閥體薄膜23與閥體蓋體22以及閥體蓋體22與致動(dòng)裝置24之 間緊密貼合時(shí)，防止流體外泄。
當(dāng)然，上述的微凸結(jié)構(gòu)除了使用凹槽及密封環(huán)來(lái)搭配形成外，于一些實(shí)施例中， 流道板26及閥體蓋體22的微凸結(jié)構(gòu)亦可采用半導(dǎo)體工藝，例如平版印刷蝕刻或 鍍膜或電鑄技術(shù)，直接在流道板26及閥體蓋體22上形成。
請(qǐng)同時(shí)參閱圖3A、 3B、 3C及圖4A、 4B、 4C，如圖所示，當(dāng)蓋體25、致動(dòng)裝置 24、閥體蓋體22、閥體薄膜23、密封環(huán)27、 28、流道板26以及閥體座21彼此對(duì) 應(yīng)組裝設(shè)置后，閥體座21上的入口通道211是與流道板26的入口分流道261、閥體薄膜23上的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231以及閥體蓋體22上的入口閥門(mén)通道221相對(duì)應(yīng)(如 圖3A所示)，且閥體座21上的出口通道212是與流道板26的出口匯流道262、 閥體薄膜23上的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232以及閥體蓋體22上的出口閥門(mén)通道222相對(duì)應(yīng) (如圖4A所示)，并且，由于密封環(huán)27設(shè)置于凹槽265內(nèi)，使得閥體薄膜23的 入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231微凸起于流道板26的下表面266,并借助位于凹槽265內(nèi)的密 封環(huán)27頂觸閥體薄膜23而產(chǎn)生一預(yù)力((Preforce)作用，使得入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231 在未動(dòng)作時(shí)于流道板26的下表面266形成一間隙，同樣地，出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232亦 借助將密封環(huán)28設(shè)至于凹槽225中的相同方式與閥體蓋體22的上表面220形成一 間隙。
當(dāng)以一電壓驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器242時(shí)，致動(dòng)裝置24產(chǎn)生彎曲變形，如圖3B所示，致 動(dòng)裝置24是朝箭號(hào)a所指的方向向下彎曲變形，使得壓力腔室226的體積增加， 因而產(chǎn)生一吸力，使閥體薄膜23的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231、出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232承受一 向下的拉力，并使己具有一預(yù)力(Preforce)的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231的入口閥片2313 迅速開(kāi)啟(如圖3B所示)，使液體可大量地自閥體座21上的入口通道211被吸取進(jìn) 來(lái)，并流經(jīng)流道板26的入口分流道261、閥體薄膜23上的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231的孔 2312、閥體蓋體22上的入口暫存腔223、入口閥門(mén)通道221而流入壓力腔室226 之內(nèi)，此時(shí)，由于閥體薄膜23的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231、出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232承受該向 下拉力，故位于另一端的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232是因該向下拉力使得位于閥體薄膜23 上的出口閥片2323密封住出口閥門(mén)通道222，而使得出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232關(guān)閉，因 而可達(dá)到防止流體逆流(如圖4B所示)。
當(dāng)致動(dòng)裝置24因電場(chǎng)方向改變而如圖4C所示的箭號(hào)b向上彎曲變形時(shí)，則會(huì) 壓縮壓力腔室226的體積，使得壓力腔室226對(duì)內(nèi)部的流體產(chǎn)生一推力，并使閥體 薄膜23的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231、出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232承受一向上推力，此時(shí)，設(shè)置于 凹槽225內(nèi)的密封環(huán)28上出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232的出口閥片2323其可迅速開(kāi)啟(如圖 4C所示)，并使液體瞬間大量宣泄，由壓力腔室226通過(guò)閥體蓋體22上的出口閥 門(mén)通道222、閥體薄膜23上的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)232的孔2322、流道板26上的出口暫 存腔263及出口匯流道262、閥體座21上的出口通道212而流出流體輸送裝置20 之外，因而完成流體的傳輸過(guò)程，同樣地，此時(shí)由于入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231是承受該向 上的推力，因而使得入口閥片2313密封住入口分流道261，因而關(guān)閉入口閥門(mén)結(jié) 構(gòu)231,使得流體不逆流(如圖3C所示)，并且，借助入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)231及出口 閥門(mén)結(jié)構(gòu)232配合設(shè)置于流道板26及閥體蓋體22上的凹槽265、 225內(nèi)的密封環(huán)
1227、 28的設(shè)計(jì)，可使流體于傳送過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生回流的情形，達(dá)到高效率的傳輸。
請(qǐng)參閱圖5A,其是本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的流體輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如 圖所示，本實(shí)施例的流體輸送裝置50是使用一進(jìn)一出的實(shí)施態(tài)樣，流體輸送裝置 50主要是由閥體座51、閥體蓋體52、閥體薄膜53、多個(gè)暫存室、致動(dòng)裝置54、 蓋體55及流道板56所組成，于本實(shí)施例中，流體輸送裝置50的組裝方式同樣是 依序?qū)㈤y體座51、流道板56、閥體薄膜53、閥體蓋體52、致動(dòng)裝置54及蓋體55 相對(duì)應(yīng)堆迭設(shè)置，以完成流體輸送裝置50的組裝(如圖5B所示)。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D5A并配合圖6A及圖7A，其中圖6A是圖5B的A-A剖面圖，圖7A 是圖5B的B-B剖面圖，如圖所示，閥體蓋體52及致動(dòng)裝置54之間同樣形成一壓 力腔室526，主要用來(lái)儲(chǔ)存流體，致動(dòng)裝置54是由一振動(dòng)薄膜541以及一致動(dòng)器 542組裝而成，閥體座51具有一個(gè)入口通道511以及出口通道512，入口通道511 是用以使外部的流體輸送至流體輸送裝置50內(nèi)，而出口通道512則是將流體由流 體輸送裝置50之內(nèi)部傳送至外部。流道板56具有多個(gè)入口分流道561以及多個(gè)出 口匯流道562，且入口通道511與多個(gè)入口分流道561相連通(如圖6A所示)， 而出口通道512則與多個(gè)出口匯流道562連通(如圖7A所示)
閥體薄膜53及流道板56之間形成多個(gè)出口暫存腔563，并與閥體座51的出 口通道512相連通，可使該流體由出口暫存腔563通過(guò)一出口匯流道562而輸送至 出口通道512，再流出閥體座51之外，以及，在流道板56上具有環(huán)繞入口分流道 561周邊的凹槽565，及環(huán)繞于出口暫存腔563周邊的凹槽564，用以供一密封環(huán) 57(如圖6A及圖7A所示)設(shè)置于其上。
閥體蓋座52上亦具有貫穿上表面至下表面的多個(gè)入口閥門(mén)通道521及多個(gè)出 口閥門(mén)通道522,且每一入口閥門(mén)通道521設(shè)置于與流道板56的每一入口分流道 561相對(duì)應(yīng)的位置，而每一出口閥門(mén)通道522則設(shè)置于與流道板56的每一出口暫 存腔563內(nèi)的出口匯流道562相對(duì)應(yīng)的位置，并且，于本實(shí)施例中，閥體薄膜53 及閥體蓋體52之間形成多個(gè)入口暫存腔523，且不以此為限，其是由閥體蓋體52 的上表面于與入口閥門(mén)通道521相對(duì)應(yīng)的位置產(chǎn)生部份凹陷而形成，且其是連通于 多個(gè)入口閥門(mén)通道521。
壓力腔室526是與致動(dòng)裝置54的致動(dòng)器542相對(duì)應(yīng)設(shè)置，壓力腔室526是通 過(guò)多個(gè)入口閥門(mén)通道521連通于多個(gè)入口暫存腔523，并同時(shí)與多個(gè)出口閥門(mén)通道 522相連通。
另外，在閥體蓋體52的下表面528具有環(huán)繞壓力腔室526而設(shè)置的凹槽527，而在上表面上則具有環(huán)繞設(shè)置于多個(gè)入口暫存腔523的凹槽524、環(huán)繞設(shè)置于出口 閥門(mén)通道522的凹槽525，同樣地，上述凹槽結(jié)構(gòu)是用以供一密封環(huán)58(如圖6A 及圖7A所示)設(shè)置于其中。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D5A，閥體薄膜53上具有多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531以及多個(gè)出口閥門(mén) 結(jié)構(gòu)532，其中，多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531是分別具有入口閥片5313以及多個(gè)環(huán)繞 入口闊片5313周邊而設(shè)置的鏤空孔5312，另外，在孔5312之間還具有與入口閥 片5313相連接的延伸部5311，而多個(gè)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532則具有出口閥片5323、延 伸部5321以及孔5322，但本實(shí)施例的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531以及出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532的 組成結(jié)構(gòu)及動(dòng)作方式均己詳述于第一較佳實(shí)施例中，因而不再贅述。
設(shè)置于流道板56上的凹槽565內(nèi)的密封環(huán)57厚度是大于凹槽565深度，使得 設(shè)置于凹槽565內(nèi)的密封環(huán)57是部分凸出于流道板56的下表面構(gòu)成一微凸結(jié)構(gòu)， 同樣地，當(dāng)密封環(huán)58設(shè)置于環(huán)繞出口閥門(mén)通道522的凹槽525內(nèi)時(shí)，由于其密封 環(huán)58設(shè)置于閥體蓋體52的上表面，因而該密封環(huán)58是使閥體薄膜53的出口閥門(mén) 結(jié)構(gòu)532向上凸出而形成一向上隆起于閥體蓋體52的微凸結(jié)構(gòu)。至于其余分別設(shè) 置于凹槽結(jié)構(gòu)524、 527及564及513內(nèi)的密封環(huán)58及57及59，主要用來(lái)分別使 閥體座51與流道板56、閥體薄膜53、閥體薄膜53與閥體蓋體52以及閥體蓋體 52與致動(dòng)裝置54之間緊密貼合時(shí)，防止流體外泄。
請(qǐng)同時(shí)參閱圖6A、 6B、 6C及圖7A、 7B、 7C，如圖所示，當(dāng)蓋體55、致動(dòng)裝置 54、閥體蓋體52、閥體薄膜53、密封環(huán)57、 58、流道板56以及閥體座51彼此對(duì) 應(yīng)組裝設(shè)置后，閥體座51上的入口通道511是與流道板56的多個(gè)入口分流道561、 閥體薄膜53上的多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531以及閥體蓋體52上的多個(gè)入口閥門(mén)通道 521相對(duì)應(yīng)(如圖6A所示)，且閥體座51上的出口通道512是與流道板56的多 個(gè)出口匯流道562、閥體薄膜53上的多個(gè)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532以及閥體蓋體52上的 多個(gè)出口閥門(mén)通道522相對(duì)應(yīng)(如圖7A所示)，并且，由于密封環(huán)57設(shè)置于凹槽 565內(nèi)，使得閥體薄膜53的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531微凸起于流道板56的下表面，并借 助位于凹槽565內(nèi)的密封環(huán)57頂觸閥體薄膜53而產(chǎn)生一預(yù)力((Pref orce)作用， 使得多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531在未動(dòng)作時(shí)于流道板56的下表面形成一間隙，同樣地， 出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532亦借助將密封環(huán)58設(shè)至于凹槽525中的相同方式與閥體蓋體52 的上表面形成一間隙。
當(dāng)以一電壓驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器542時(shí)，致動(dòng)裝置54產(chǎn)生彎曲變形，如圖6B所示，致 動(dòng)裝置54是朝箭號(hào)a所指的方向向下彎曲變形，使得壓力腔室526的體積增加，因而產(chǎn)生一吸力，使閥體薄膜53的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531、出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532承受一 向下的拉力，并使己具有一預(yù)力(Preforce)的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531的入口閥片5313 迅速開(kāi)啟(如圖6B所示)，使液體可大量地自閥體座51上的入口通道511被吸取進(jìn) 來(lái)，并流經(jīng)流道板56的多個(gè)入口分流道561、閥體薄膜53上的多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu) 531的孔5312、閥體蓋體52上的多個(gè)入口暫存腔523、多個(gè)入口闊門(mén)通道521而 流入壓力腔室526之內(nèi)，此時(shí)，由于閥體薄膜53的多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531、多個(gè) 出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532承受該向下拉力，故位于另一端的多個(gè)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532是因該 向下拉力使得位于閥體薄膜53上的多個(gè)出口閥片2323密封住所對(duì)應(yīng)的出口閥門(mén)通 道522，而使得所有的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532關(guān)閉，因而可達(dá)到防止流體逆流(如圖7B 所示)。
當(dāng)致動(dòng)裝置54因電場(chǎng)方向改變而如圖7C所示的箭號(hào)b向上彎曲變形時(shí)，則會(huì) 壓縮壓力腔室526的體積，使得壓力腔室526對(duì)內(nèi)部的流體產(chǎn)生一推力，并使閥體 薄膜53的多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531、多個(gè)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532承受一向上推力，此時(shí)， 設(shè)置于凹槽525內(nèi)的密封環(huán)58上出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532的出口閥片5323其可迅速開(kāi)啟 (如圖7C所示)，并使液體瞬間大量宣泄，由壓力腔室526分別通過(guò)閥體蓋體52 上的多個(gè)出口閥門(mén)通道522、閥體薄膜53上的多個(gè)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532的孔5322、 流道板56上的多個(gè)出口暫存腔563及多個(gè)出口匯流道562，使得匯集的流體通過(guò) 閥體座51上的出口通道512而流出流體輸送裝置50之外，因而完成流體的傳輸過(guò) 程，且響應(yīng)流道板56具有多個(gè)入口分流道561及多個(gè)出口匯流道562的結(jié)構(gòu)，能 夠使流體輸送裝置50整體流速及揚(yáng)程大為增加。
同樣地，此時(shí)由于多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531是承受該向上的推力，因而使得入口 閥片5313密封住所對(duì)應(yīng)的入口分流道561，因而關(guān)閉入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531，使得流體 不逆流(如圖6C所示)，并且，借助多個(gè)入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531及多個(gè)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu) 532配合設(shè)置于流道板56及閥體蓋體52上的凹槽565、 525內(nèi)的密封環(huán)57、 58的 設(shè)計(jì)，可使流體于傳送過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生回流的情形，達(dá)到高效率的傳輸。
請(qǐng)參閱圖8、圖9A及圖10A，其中圖8是本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的流體輸送裝 置的組裝完成后的結(jié)構(gòu)示意圖，圖9A是圖8的A-A剖面圖，圖10A是圖8的B-B 剖面圖，如圖所示，本實(shí)施例的流體輸送裝置80是使用多進(jìn)多出的實(shí)施態(tài)樣，流 體輸送裝置80主要是由閥體座81、閥體蓋體52、閥體薄膜53、多個(gè)暫存室、致 動(dòng)裝置84、蓋體85及流道板56所組成，且組裝方式同樣是依序?qū)㈤y體座81、流 道板56、閥體薄膜53、閥體蓋體52、致動(dòng)裝置84及蓋體85相對(duì)應(yīng)堆迭設(shè)置，以完成流體輸送裝置80的組裝。
其中，本實(shí)施例所揭露的閥體蓋體52、閥體薄膜53及流道板56的組成結(jié)構(gòu) 及動(dòng)作方式是與圖5A所示的第二較佳實(shí)施例相同，因而不再贅述。
于本實(shí)施例中，閥體座81具有多個(gè)入口通道811以及多個(gè)出口通道512，且 多個(gè)入口通道811彼此之間不相連通，多個(gè)出口通道512彼此之間亦不相連通，流 道板56具有多個(gè)入口分流道561以及多個(gè)出口匯流道562，且每一入口通道811 僅與單一入口分流道561相連通(如圖9A所示)，而每一出口通道812同樣僅與 單一出口匯流道562連通(如圖10A所示)。
閥體薄膜53及流道板56之間所形成的多個(gè)出口暫存腔563是分別與閥體座 81的一出口通道812相連通，閥體蓋座52上所具有的多個(gè)入口閥門(mén)通道521及多 個(gè)出口閥門(mén)通道522，每一入口閥門(mén)通道521設(shè)置于與流道板56的每一入口分流 道561相對(duì)應(yīng)的位置，而每一出口閥門(mén)通道522則設(shè)置于與流道板56的每一出口 暫存腔563內(nèi)的出口匯流道562相對(duì)應(yīng)的位置，并且，于本實(shí)施例中，閥體薄膜 53及閥體蓋體52之間是形成多個(gè)入口暫存腔523，其是分別連通于多個(gè)入口閥門(mén) 通道521。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D9A及圖IOA，致動(dòng)裝置84是由一振動(dòng)薄膜841以及多個(gè)致動(dòng)器842 組裝而成，使得閥體蓋體52及致動(dòng)裝置84之間形成多個(gè)壓力腔室526，其中，多 個(gè)壓力腔室526彼此之間并不相連通，進(jìn)而使得本實(shí)施例的流體輸送裝置80可被 分為多個(gè)如圖3A及圖4A所示的致動(dòng)腔體，其中，本實(shí)施例的流體輸送裝置80可 被分為6個(gè)獨(dú)立的致動(dòng)腔體，且每一致動(dòng)器842是受相同振動(dòng)頻率的電壓驅(qū)動(dòng)。
請(qǐng)參閱圖9B及圖10B，當(dāng)以相同振動(dòng)頻率的電壓驅(qū)動(dòng)所有致動(dòng)器842時(shí)，致 動(dòng)裝置84產(chǎn)生彎曲變形，如圖9B所示，致動(dòng)裝置84是朝箭號(hào)a所指的方向向下 彎曲變形，使得每一壓力腔室526的體積增加，將導(dǎo)致所有的入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531 開(kāi)啟，并經(jīng)對(duì)應(yīng)的入口通道811及入口分流道562汲取流體進(jìn)入腔體(如圖9B所 示)，此時(shí)出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532更為緊閉，避免流體回流(如圖10B所示)，至于詳 細(xì)的動(dòng)作關(guān)系己于上述圖3B及圖4B中提出說(shuō)明，于此不再贅述。
反之，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D9C及圖IOC，當(dāng)所有致動(dòng)裝置84因電場(chǎng)方向改變而如圖10C 所示的箭號(hào)b向上彎曲變形時(shí)，則會(huì)壓縮每一壓力腔室526的體積，使得壓力腔室 526對(duì)內(nèi)部的流體產(chǎn)生一推力，將導(dǎo)致所有的出口閥門(mén)結(jié)構(gòu)532開(kāi)啟，并并經(jīng)對(duì)應(yīng) 的、出口暫存腔563、出口匯流道562及出口通道812排出流體(如圖IOC所示)， 此時(shí)所有入口閥門(mén)結(jié)構(gòu)531更為緊閉(如圖9C所示)，避免流體回流，至于詳細(xì)的動(dòng)作關(guān)系己于上述圖3B及圖4B中提出說(shuō)明，于此不再贅述。
綜上所述，本發(fā)明的具有流道板的流體輸送裝置主要是利用流道板可擴(kuò)充成一 進(jìn)一出、多進(jìn)一出、 一進(jìn)多出以及多進(jìn)多出的形式，較易使流體均勻提供至入口分 流道，并能使出口流體有效匯集至出口通道。除此之外，流體輸送裝置整體設(shè)計(jì)采 用長(zhǎng)條形艙體，其對(duì)應(yīng)長(zhǎng)條形的振動(dòng)薄膜及致動(dòng)器，可使流速及揚(yáng)程大為增加。
另外，流道板結(jié)構(gòu)配合多個(gè)入口分流道、多個(gè)出口匯流道或暫存腔及其多個(gè)閥 門(mén)結(jié)構(gòu)的配置概念，可提供流體多個(gè)進(jìn)出腔體的通道，減少流體留在腔體內(nèi)部循環(huán)， 使致動(dòng)器動(dòng)能有較高效率轉(zhuǎn)換為流體輸送裝置的流體的流出動(dòng)能。 因此，本發(fā)明的具有流道板的流體輸送裝置極具產(chǎn)業(yè)的價(jià)值。
權(quán)利要求
1.一種具有流道板的流體輸送裝置，用以傳送一流體，其包含一閥體座，其具有至少一出口通道及至少一入口通道；一流道板，其具有兩側(cè)面，以及貫穿該兩側(cè)面的多個(gè)入口分流道及多個(gè)出口匯流道；一閥體蓋體，其與該流道板相互堆迭結(jié)合；一閥體薄膜，其設(shè)置于該流道板及該閥體蓋體之間，且具有多個(gè)閥門(mén)結(jié)構(gòu)；多個(gè)暫存室，設(shè)置于該閥體薄膜與該閥體蓋體之間，以及于該閥體薄膜與該流道板之間；以及一振動(dòng)裝置，其具有一振動(dòng)薄膜及至少一致動(dòng)器，且周邊固設(shè)于該閥體蓋體，并與該閥體蓋體形成至少一壓力腔室。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體座配 置一個(gè)入口通道及一個(gè)出口通道。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體座配 置多個(gè)入口通道及一個(gè)出口通道。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體座配 置一個(gè)入口通道及多個(gè)出口通道。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體座配 置多個(gè)入口通道及多個(gè)出口通道。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該多個(gè)入口 分流道是與該至少一入口通道相連通。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該多個(gè)出口 匯流道是與該至少一出口通道相連通。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該多個(gè)閥門(mén) 結(jié)構(gòu)包含多個(gè)第一閥門(mén)結(jié)構(gòu)及多個(gè)第二閥門(mén)結(jié)構(gòu)，且該多個(gè)第一閥門(mén)結(jié)構(gòu)及多個(gè)第 二閥門(mén)結(jié)構(gòu)分別具有一閥片、多個(gè)孔以及多個(gè)延伸部，該多個(gè)孔是環(huán)繞閥片周邊設(shè) 置，多個(gè)延伸部是與該閥片連接且設(shè)置于該多個(gè)孔之間。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體薄膜 與該閥體蓋體之間包括多個(gè)第一暫存室，而該閥體薄膜與該流道板之間還包括多個(gè)第二暫存室。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體蓋 體上還設(shè)有與該至少一壓力腔室相連通的一第一閥門(mén)通道及一第二閥門(mén)通道。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該多個(gè)第 一閥門(mén)結(jié)構(gòu)、該多個(gè)第一暫存室及該第一閥門(mén)通道是對(duì)應(yīng)于該流道板的該至少一入 口分流道，而該多個(gè)第二暫存區(qū)、該多個(gè)第二閥門(mén)結(jié)構(gòu)及該第二閥門(mén)通道是對(duì)應(yīng)于 該流道板的該至少一出口匯流道。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該振動(dòng)裝置設(shè)置單一致動(dòng)器，用以與該閥體蓋體形成單一壓力腔室。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該振動(dòng)裝 置設(shè)置多個(gè)致動(dòng)器，用以與該閥體蓋體形成多個(gè)壓力腔室。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該致動(dòng)裝 置所包含的多個(gè)致動(dòng)器的的振動(dòng)頻率是相同。
15. —種具有流道板的流體輸送裝置，用以傳送一流體，其包含一閥體座，其具有一出口通道及一入口通道；一流道板，其具有兩側(cè)面，以及貫穿該兩側(cè)面的一入口分流道及一出口匯流道； 一閥體蓋體，其與該流道板相互堆迭結(jié)合；一閥體薄膜，其設(shè)置于該流道板及該閥體蓋體之間，且具有一第一閥門(mén)結(jié)構(gòu)及 一第二閥門(mén)結(jié)構(gòu)；多個(gè)暫存室，設(shè)置于該閥體薄膜與該閥體蓋體之間，以及于該閥體薄膜與該流 道板之間；以及一振動(dòng)裝置，其具有一振動(dòng)薄膜及單一致動(dòng)器，且周邊固設(shè)于該閥體蓋體，并 與該閥體蓋體形成單一壓力腔室。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體座 配置一個(gè)入口通道及一個(gè)出口通道。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體座 配置多個(gè)入口通道及一個(gè)出口通道。
18. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該入口分 流道是與該入口通道相連通。
19. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該出口匯 流道是與該出口通道相連通。
20. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體薄膜與該閥體蓋體之間包括一第一暫存室，而該閥體薄膜與該流道板之間還包括一第 二暫存室。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該閥體蓋 體上還設(shè)有與該單一壓力腔室相連通的一第一閥門(mén)通道及一第二閥門(mén)通道。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的具有流道板的流體輸送裝置，其特征在于該第一閥 門(mén)結(jié)構(gòu)、該第一暫存室及該第一閥門(mén)通道是對(duì)應(yīng)于該流道板的該入口分流道，而該 第二暫存區(qū)、該第二閥門(mén)結(jié)構(gòu)及該第二閥門(mén)通道是對(duì)應(yīng)于該流道板的該出口匯流 道。
全文摘要
本發(fā)明是一種具有流道板的流體輸送裝置，用以傳送流體，其包含閥體座，具有至少一出口通道及至少一入口通道；流道板，具有兩側(cè)面，以及貫穿兩側(cè)面的多個(gè)入口分流道及多個(gè)出口匯流道；閥體蓋體，設(shè)置于流道板上；閥體薄膜，設(shè)置于流道板及閥體蓋體之間，且具有多個(gè)閥門(mén)結(jié)構(gòu)；多個(gè)暫存室，設(shè)置于閥體薄膜與閥體蓋體之間，以及于閥體薄膜與流道板之間；振動(dòng)裝置，具有振動(dòng)薄膜及至少一致動(dòng)器，且周邊固設(shè)于閥體蓋體，并與閥體蓋體形成至少一壓力腔室。
文檔編號(hào)F04B45/00GK101560972SQ200810092269
公開(kāi)日2009年10月21日 申請(qǐng)日期2008年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月14日
發(fā)明者余榮侯, 周宗柏, 邱士哲, 陳世昌 申請(qǐng)人:研能科技股份有限公司