兩臺攝像機5、6，以表觀上兩倍的掃描頻率進行攝像。
[0129]圖8是作為攝像對象的圖像圖案，示出分割為矩陣狀的圖像圖案的亮度值(90)。這里空白的部分是指亮度值為O。并且，縱軸為攝像的時刻:t0?tl6，橫軸例示出用于攝像的線傳感器的地址(I?16)。并且，在圖中右側一并示出第一攝像機5和第二攝像機6的快門為開狀態(tài)的定時(tla?t8a、tlb?t8b)。即，在定時t2?t3之間，在線傳感器的地址8、9，使用第一攝像機5，在快門為開的定時t2a進行亮度90部分的攝像。相同地，在定時t3?t4之間，在線傳感器的地址7、10，使用第二攝像機6，在快門為開的定時t2b進行亮度90部分的攝像。而且，將上述一系列的連續(xù)攝像處理設為一個循環(huán)，在從晶片W的一端掃描到另一端的期間，重復進行該循環(huán)，并且通過兩攝像機5、6對晶片W進行攝像。
[0130]<步驟S4’ >圖像重構處理
[0131]對在進行上述一系列的連續(xù)攝像處理循環(huán)而對圖像進行攝像之后進行圖像重構的處理進行說明。
[0132]圖9的(a)是從第一攝像機5輸出的亮度數(shù)據(jù)，圖9的(b)是從第二攝像機6輸出的亮度數(shù)據(jù)。
[0133]當重復進行上述的連續(xù)攝像處理循環(huán)時，如圖7和圖8所示，第一攝像機5和第二攝像機6的攝像定時以及數(shù)據(jù)輸出定時是交替進行的。因此，如圖9的(a)所示，在與在快門為開的定時tla?t8a攝像得到的圖像對應的數(shù)據(jù)輸出定時(即，時刻dla?d8a)，從第一攝像機5輸出各個亮度數(shù)據(jù)。并且，如圖9的(b)所示，在與在快門為開的定時tlb?t8b攝像得到的圖像對應的數(shù)據(jù)輸出定時(S卩，時刻dlb?d8b)，從第二攝像機6輸出各個亮度數(shù)據(jù)。(至此，與步驟S4相同)。此外，從兩攝像機5、6輸出的信號經過模數(shù)變換后作為亮度值按照第一攝像機5和第二攝像機6分開而存儲在存儲部20中，不過由于快門時間較長而在兩個像素的范圍中進行攝像，因此將兩個像素的亮度值進行平均化后保存亮度值。因此，考慮到由兩個攝像機取得的亮度值是按照各自時間序列進行平均化后的數(shù)據(jù)、以及是與另一個攝像機重疊而取得的，按照下述的順序進行圖像重構處理(這部分與上述步驟S4不同)。
[0134]首先，在該設定條件下，在交替地重復進行第一攝像機5和第二攝像機6的攝像來取得圖像數(shù)據(jù)的情況下，重疊輸出接收觸發(fā)信號的當前時刻的攝像機開始攝像的前段的曝光時間內的輸出信號與先行的攝像機的后段的曝光時間的輸出信號。根據(jù)兩輸出信號而求得的亮度值作為合成有應該先行取得的亮度值的測定亮度值而存儲到存儲部20中。
[0135]因此，在運算處理部21中，對從存儲部20讀出的兩攝像機5、6的亮度值分別交替地按照從早先開始的順序進行排列，并且，進行運算求出從將讀出的亮度值(B)擴大兩倍的值(2B)減去之前的像素的亮度值㈧而得到的值(C = A — 2B)的處理。此外，將O代入相對于第一列的亮度值(B)的之前的像素的亮度值(A)開始處理。
[0136]例如，當對地址8、9進行說明時，執(zhí)行如下操作。首先，由第一攝像機5在定時tla攝像得到的圖像在時刻dla以亮度值(B)為O而輸出。并且，對于該位置的亮度值(C)，將O代入之前像素的亮度值(A)。因此，計算出與時刻dla的地址8、9對應的部分為亮度值O。接著，由第二攝像機6在定時tlb攝像得到的圖像在時刻dlb以亮度值(B)為45進行輸出。并且，對于該位置的亮度值(C)，計算出之前的像素的亮度值(A)為O。因此，計算出與時刻dlb的地址8、9對應的部分為亮度值90。
[0137]接著，由第一攝像機5在定時t2a攝像得到的圖像在時刻d2a以亮度值(B)為45進行輸出。并且，對于該位置的亮度值(C)，將90代入之前像素的亮度值(A)。因此，計算出與時刻d2a的地址8、9對應的部分為亮度值O。通過對全部的地址輪流連續(xù)地進行相同的處理，能夠作為如圖9的(c)中所示那樣示出晶片W的整體的亮度值的整體圖像進行重構。
[0138]如上所述，即使是不能調整曝光時間的平價的攝像機，也能夠通過使用兩臺攝像機，從而與上述主實施例相同地實現(xiàn)不受攝像機的掃描頻率限制、以超過最佳移動速度Vl的兩倍速度V2進行的攝像。
[0139](2)在上述實施例的裝置和方法中，第一攝像機5和第二攝像機6可以為具有多個線傳感器的結構。在該種情況下，構成為在主掃描方向的前后鄰接配置線傳感器，構成為對由各個線傳感器取得的相同地址的亮度值進行時間延遲積分處理(所謂的TDI (Time Delayintegrat1n)處理)?？梢越M合多個獨立的線傳感器和TDI電路來實現(xiàn)，也可以使用一般能夠得到的所謂的TDI攝像機(上述結構為一體)。
[0140]在該種構成的情況下，如果線傳感器自身的掃描頻率與上述實施例相同、工件的移動速度為最佳移動速度VI，則能夠對由多個傳感器取得的亮度值進行時間延遲積分處理，實現(xiàn)高感度攝像。因此，在工件的亮度值較低的情況下，優(yōu)選使用該種方式的攝像機進行檢測。然而，在工件的移動速度與最佳移動速度Vl不一致的情況下，時間延遲積分處理的定時無法配合，無法得到規(guī)定的取得圖像數(shù)據(jù)。因此在本發(fā)明所涉及的變形例中，在使用TDI攝像機的情況下，代替上述的步驟S3’，進行下述的步驟S3”。
[0141]<步驟S3 ” >攝像開始
[0142]當完成了晶片W的對準處理和向攝像開始的初始位置的移動時，在將攝像單兀I移動、設定到規(guī)定的高度后，將第二可動臺16的滑塊16s的主掃描速度V2設定為在X軸方向上最佳移動速度Vl兩倍的速度，進行掃描并且開始晶片W的攝像。此時，第一攝像機5和第二攝像機6例如構成為，使用在主掃描方向上具有四列線傳感器和時間延遲積分處理電路的TDI攝像機。
[0143]并且，與上述的變形例(I)相同地，構成為從控制部3對第一攝像機5和第二攝像機6交替發(fā)送觸發(fā)信號I和觸發(fā)信號2。并且，第一攝像機5和第二攝像機6構成為交替地重疊相同部位并且進行攝像。而且，以主掃描速度V2移動工件，并且，使用兩臺攝像機5、6進行攝像。
[0144]圖10是作為攝像對象的圖像圖案，示出分割為矩陣狀的圖像圖案的亮度值(20)。這里空白的部分是指亮度值為O。并且，縱軸為攝像的時刻:t0?tl6，橫軸例示出用于攝像的傳感器的地址(I?16)。
[0145]當按照兩攝像機5、6分開并根據(jù)測定亮度值構成圖像時，執(zhí)行如下操作。例如，第一攝像機5在定時t3位于圖11的(a)中示出的位置，在定時t5位于圖11的(b)中示出的位置。而且，在定時t2?t3之間使用第一線傳感器組而攝像取得的前段的亮度數(shù)據(jù)通過TDI處理被送至后段，與在定時t4?t5之間使用第二線傳感器組攝像取得的后段的亮度數(shù)據(jù)進行累積處理。而且，規(guī)定的段數(shù)(在上述例中為兩段)的累積的值在時刻d2a作為一次的攝像的亮度數(shù)據(jù)向外部輸出。而且，當根據(jù)多次的攝像的輸出信號來構成圖像時，如圖11的(c)所示，產生亮度值重復的部分。
[0146]另一方面，將第二攝像機6安裝為對與第一攝像機5的攝像位置在主掃描方向上錯開一個像素的位置進行觀察。因此，第二攝像機6在定時t4對圖12的(a)中示出的位置進行觀察，在定時t6對圖12的(b)中示出的位置進行觀察。而且，在定時t3?t4之間使用第一線傳感器組攝像取得的前段的亮度數(shù)據(jù)經過TDI處理被送到后段，與在定時t5?t6之間使用第二線傳感器組攝像取得的后段的亮度數(shù)據(jù)進行累積處理。而且，規(guī)定的段數(shù)(在上述例中為兩段)的累積的值在時刻d2b作為一次的攝像的亮度數(shù)據(jù)向外部輸出。而且，當根據(jù)多次的攝像的輸出信號來構成圖像時，如圖12的(c)所示，產生亮度值重復的部分。
[0147]在根據(jù)該測定亮度值對晶片W的圖像進行重構時，在運算處理部21中，通過進行與上述變形例(I)相同的圖像重構處理，能夠重構所期望的整體圖像。而且，通過使用多個線傳感器進行TDI處理，能夠取得如圖13所示那樣對亮度值進行放大了的圖像數(shù)據(jù)。
[0148]根據(jù)該構成，能夠以比使用由具有一個線傳感器的攝像機構成的攝像單元的情況更高的高感度對工件進行攝像。
[0149](3)在上述實施例的裝置和方法中，也可以根據(jù)通過傳感器或者各個攝像機的預備攝像而得到的第一攝像機5和第二攝像機6分別與保持臺14的相對的位置關系而求得攝像機之間的相對的偏移量，從而根據(jù)該偏移量對圖像進行校正。
[0150](4)在上述實施例的裝置和方法中，是在攝像單元I中具有兩臺攝像機即第一攝像機5和第二攝像機6的結構，該臺數(shù)沒有限制。S卩，攝像機可以為兩臺以上。在該種情況下，每當增加攝像機的臺數(shù)都能夠使第二可動臺16的移動速度高速化。例如，將移動速度設定為最佳移動速度VlX攝像機的臺數(shù)來移動第二可動臺16的滑塊16s。并且，也可以按照臺數(shù)來均等地分割掃描頻率，按照該分割的定時交替地進行攝像，并且將直至對攝像定時進行切換為止的時間設定為各個攝像機的曝光時間。
[0151]并且，在使用TDI攝像機的方式中，也根據(jù)設定的主掃描速度或所期望的増感程度而適當?shù)卦O定在主掃描方向上并列的線傳感器的數(shù)量或者進行合并(binning)的像素數(shù)(段數(shù))。
[0152]標號說明
[0153]1:攝像單元；2:檢查臺；3:控制部；4:鏡筒主體；5:第一攝像