技術(shù)編號(hào):9383419
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)玻璃、半導(dǎo)體晶片以及電子基板等工件進(jìn)行攝像的高速攝像方法和高速攝像裝置。背景技術(shù)提出并實(shí)施有一種攝像方法,該方法如下所述在沿掃描方向移動(dòng)面型圖像傳感器的過程中,交替地重復(fù)進(jìn)行在與移動(dòng)方向垂直的水平方向上向與移動(dòng)軌跡上的規(guī)定的位置錯(cuò)開1/2個(gè)像素的位置的移動(dòng),同時(shí)進(jìn)行攝像(專利文獻(xiàn)I)?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1日本特許第3907560號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的課題然而,作為攝像對(duì)象的工件,例如半導(dǎo)體器件等,為了增加單位時(shí)間的制造數(shù)量,在基于...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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