I，所述第一指狀金屬線204上的凸起端的寬度為S3，所述第二指狀金屬線201上的凸起端的寬度為S4，通過調(diào)節(jié)S1、S3和S4，以優(yōu)化編程條件。
[0089]在該實施例中，所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201的數(shù)據(jù)并不局限于上述示例，在所述最兩端的所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201之間還可以交替設置多個兩側(cè)均設置有凸起端的第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201，具體數(shù)目可以根據(jù)需要進行設計，以優(yōu)化所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程電壓。
[0090]在該實施例中，所述第一梳狀金屬件1、第二梳狀金屬件II的整體形狀、設置方式，以及所述第一連接線206、第二連接線203的設置，以及其他沒有提及的結(jié)構(gòu)設置均可以參照實施例1，在此不再贅述，當然所述設置方式并不僅僅局限于實施例1，還可以根據(jù)實際需要進行改進。
[0091]實施例6
[0092]參照圖2d，在該實施例中，所述第一梳狀金屬件I包含兩個第一指狀金屬線204，所述第二梳狀金屬件II包含兩個第二指狀金屬線201，其中，所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201交替設置，其中位于兩端的所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201的內(nèi)側(cè)沿縱向間隔設置有凸起端，位于中間的所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201的兩側(cè)沿縱向間隔設置有凸起端。
[0093]在該實施例中，所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201上的凸起端205相錯設置，所述第一指狀金屬線204上的凸起端205與所述第二指狀金屬線201上的凸起端205之間的間隙相對設置，所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的距離相同均為SI，即所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201之間的距離為SI，所述第一指狀金屬線204上的凸起端的寬度為S3，所述第二指狀金屬線201上的凸起端的寬度為S4，通過調(diào)節(jié)S1、S3和S4，以優(yōu)化編程條件。
[0094]在該實施例中，所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201的數(shù)據(jù)并不局限于上述示例，在所述最兩端的所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201之間還可以交替設置多個兩側(cè)均設置有凸起端的第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201，具體數(shù)目可以根據(jù)需要進行設計，以優(yōu)化所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程電壓。
[0095]在該實施例中，所述第一梳狀金屬件1、第二梳狀金屬件II的整體形狀、設置方式，以及所述第一連接線206、第二連接線203的設置，以及其他沒有提及的結(jié)構(gòu)設置均可以參照實施例1，在此不再贅述，當然所述設置方式并不僅僅局限于實施例1，還可以根據(jù)實際需要進行改進。
[0096]本發(fā)明中所述反熔絲結(jié)構(gòu)包括第一指狀金屬線和第二指狀金屬線交替設置，其中所述第一指狀金屬線和/或第二指狀金屬線的內(nèi)側(cè)或者兩側(cè)設置有凸起端，改變現(xiàn)有技術中線對線(line-to-line)的反熔絲結(jié)構(gòu),變?yōu)榫€對凸起端(line-to-tip)的結(jié)構(gòu)或者凸起端對凸起端(tip-to-tip)的結(jié)構(gòu)，并且通過優(yōu)化所述第一指狀金屬線、第二指狀金屬線的數(shù)目，第一指狀金屬線和第二指狀金屬線之間的距離、第一指狀金屬線上凸起端之間的間隙或者所述凸起端的寬度來進一步優(yōu)化所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程條件，能夠解決反熔絲結(jié)構(gòu)長期穩(wěn)定性的問題。
[0097]此外,通過將所述反熔絲結(jié)構(gòu)設計為線對凸起端(line-to-tip)的結(jié)構(gòu)或者凸起端對凸起端(tip-to-tip)的結(jié)構(gòu),可以優(yōu)化編程條件,其中當所述凸起端的設置,在施加編程電壓時，在所述凸起端附近的局部電場強度至少加倍，所述加強的電場強度使得在實現(xiàn)擊穿時的時間至少減少88%，從而更快速、更容易的實現(xiàn)所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程。
[0098]本發(fā)明已經(jīng)通過上述實施例進行了說明，但應當理解的是，上述實施例只是用于舉例和說明的目的，而非意在將本發(fā)明限制于所描述的實施例范圍內(nèi)。此外本領域技術人員可以理解的是，本發(fā)明并不局限于上述實施例，根據(jù)本發(fā)明的教導還可以做出更多種的變型和修改，這些變型和修改均落在本發(fā)明所要求保護的范圍以內(nèi)。本發(fā)明的保護范圍由附屬的權(quán)利要求書及其等效范圍所界定。
【主權(quán)項】
1.一種反熔絲結(jié)構(gòu)，包括: 相對設置的第一梳狀金屬件和第二梳狀金屬件，其中所述第一梳狀金屬件包含至少兩個第一指狀金屬線，所述第二梳狀金屬件包含至少兩個第二指狀金屬線，所述第一指狀金屬線和所述第二指狀金屬線并列間隔設置，其中所述第一指狀金屬線的內(nèi)側(cè)間隔設置有朝向所述第二指狀金屬線的多個凸起端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述反熔絲結(jié)構(gòu)還包括電源，所述第一梳狀金屬件和所述第二梳狀金屬件分別連接于電源的正負極，在施加電壓的情況下所述第一指狀金屬線和所述第二指狀金屬線之間擊穿導通，實現(xiàn)編程。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一指狀金屬線和所述第二指狀金屬線之間設置有絕緣層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二指狀金屬線的內(nèi)側(cè)也間隔設置有凸起端，所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端相對設置，或者所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端相錯設置，所述第一指狀金屬線上的凸起端與所述第二指狀金屬線上的凸起端之間的間隙相對。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一指狀金屬線的內(nèi)外兩側(cè)沿縱向均間隔設置有凸起端。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一梳狀金屬件包含兩個第一指狀金屬線，所述第二梳狀金屬件包含兩個第二指狀金屬線，其中，所述第一指狀金屬線和所述第二指狀金屬線交替設置，其中位于兩端的所述第一指狀金屬線和第二指狀金屬線的內(nèi)側(cè)沿縱向間隔設置有凸起端，位于中間的所述第一指狀金屬線和第二指狀金屬線的兩側(cè)沿縱向間隔設置有凸起端。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端相對設置，或者所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端相錯設置，所述第一指狀金屬線上的凸起端與所述第二指狀金屬線上的凸起端之間的間隙相對。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凸起端為點狀凸起。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凸起端和所述第一指狀金屬線為一體設置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一梳狀金屬件包含多個并列設置的第一指狀金屬線，所述第二梳狀金屬件包含多個并列設置的第二指狀金屬線，所述第一指狀金屬線和所述第二指狀金屬線交替設置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一梳狀金屬件還包括第一連接線，連接所述多個第一指狀金屬線，以形成梳狀結(jié)構(gòu)； 所述第二梳狀金屬件還包括第二連接線，連接所述多個第二指狀金屬線，以形成梳狀結(jié)構(gòu)； 所述第一梳狀金屬件和所述第二梳狀金屬件相對設置，所述第一指狀金屬線和所述第二指狀金屬線相互交錯。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一連接線和所述第二連接線分別連接所述電源的正極和負極。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線之間的距離為SI，所述凸起端之間的間隙的寬度為S2，調(diào)節(jié)所述SI和S2,以優(yōu)化編程條件。
14.根據(jù)權(quán)利要求4或7所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，當所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端相對設置時，所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端之間的距離為SI，所述凸起端之間的間隙的寬度為S2，調(diào)節(jié)所述SI和S2，以優(yōu)化編程條件。
15.根據(jù)權(quán)利要求4或7所述的反熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，當所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端相錯設置時，所述第一指狀金屬線上的凸起端和所述第二指狀金屬線上的凸起端之間的距離為SI，所述第一指狀金屬線上的凸起端的寬度為S3，所述第二指狀金屬線上的凸起端的寬度為S4，調(diào)節(jié)S1、S3和S4,以優(yōu)化編程條件。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種反熔絲結(jié)構(gòu)，包括：相對設置的第一梳狀金屬件和第二梳狀金屬件，其中所述第一梳狀金屬件包含至少兩個第一指狀金屬線，所述第二梳狀金屬件包含至少兩個第二指狀金屬線，所述第一指狀金屬線和所述第二指狀金屬線并列間隔設置，其中所述第一指狀金屬線的內(nèi)側(cè)間隔設置有朝向所述第二指狀金屬線的多個凸起端。本發(fā)明通過將所述反熔絲結(jié)構(gòu)設計為線對凸起端（line-to-tip）的結(jié)構(gòu)或者凸起端對凸起端（tip-to-tip）的結(jié)構(gòu)，可以優(yōu)化編程條件，其中當所述凸起端的設置，在施加編程電壓時，在所述凸起端附近的局部電場強度至少加倍，所述加強的電場強度使得在實現(xiàn)擊穿時的時間至少減少88%，從而更快速、更容易的實現(xiàn)所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程。
【IPC分類】H01L23-525
【公開號】CN104576602
【申請?zhí)枴緾N201310482866
【發(fā)明人】甘正浩
【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年10月15日