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一種反熔絲結(jié)構(gòu)的制作方法_3

文檔序號:8262372閱讀:來源:國知局
一指狀金屬線204作為導(dǎo)電梳齒。所述第一梳狀金屬件II中還包括第二連接線203,用于將所述多個(gè)第二指狀金屬線201連接為一體,以形成梳狀結(jié)構(gòu),所述第二指狀金屬線201作為導(dǎo)電梳齒。
[0065]進(jìn)一步,所述第一連接線206和所述第二連接線203分別連接編程電壓的正負(fù)極,以將所有的第一指狀金屬線204和所有第二指狀金屬線201連接至所述電源的正負(fù)極,用于施加電壓,實(shí)現(xiàn)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201的擊穿。
[0066]所述第一梳狀金屬件I和第二梳狀金屬件II均為梳狀結(jié)構(gòu),第一梳狀金屬件I和第二梳狀金屬件II相對設(shè)置,所述第一指狀金屬線201和所述第二指狀金屬線連接201相互交錯(cuò)。
[0067]所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程原理為:將所述第一連接線203和所述第二連接線206分別連接至編程電壓的正負(fù)極,增加編程電壓,在電壓較小的情況下,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間沒有被擊穿,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間具有很大的電阻,處于斷開狀態(tài);隨著時(shí)間電壓的增加,由于所述第一指狀金屬線204上凸起端205的設(shè)置,在施加電壓時(shí),會使局部電場的強(qiáng)度變大,更容易實(shí)現(xiàn)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的擊穿,當(dāng)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間擊穿之后,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間形成通路,實(shí)現(xiàn)所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程。
[0068]需要說明的是,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的擊穿是將所述第一指狀金屬線204以及和所述第一指狀金屬線204上凸起端205鄰近的所述第二指狀金屬線201擊穿,即實(shí)現(xiàn)每一組金屬線的分別擊穿。
[0069]在該實(shí)施例中通過設(shè)置所述凸起端,改變現(xiàn)有技術(shù)中線對線(Iine-to-1 ine)的反熔絲結(jié)構(gòu),變?yōu)榫€對凸起端(line-to-tip)的結(jié)構(gòu),并且通過優(yōu)化所述第一指狀金屬線、第二指狀金屬線的數(shù)目,第一指狀金屬線和第二指狀金屬線之間的距離、以及第一指狀金屬線上凸起端之間的間隙來進(jìn)一步優(yōu)化所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程條件,不僅能夠解決反熔絲結(jié)構(gòu)長期穩(wěn)定性的問題,還能使所述編程變得更加簡單,具有良好的效果。
[0070]實(shí)施例2
[0071]首先參照圖2a,在該實(shí)施例中,所述第二指狀金屬線201的內(nèi)側(cè)也設(shè)置有凸起端205,所述第二指狀金屬線201的內(nèi)側(cè)是指靠近所述第一指狀金屬線上凸起端205的一側(cè),所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201上的凸起端205相對設(shè)置,所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201上的凸起端205之間的距離為SI。
[0072]所述凸起端205沿縱向間隔設(shè)置于所述第二指狀金屬線201的內(nèi)側(cè),所述第二指狀金屬線201上相鄰的凸起端205之間的間隙大小為S2。
[0073]作為優(yōu)選,所述第二指狀金屬線201上的凸起端205為點(diǎn)狀凸起,所述凸起為方形,例如為正方形或者矩形,其相對于金屬線來說,其關(guān)鍵尺寸很小,相當(dāng)于位于金屬線上的點(diǎn),因此稱為點(diǎn)狀凸起,結(jié)合第一指狀金屬線201上的凸起端,以形成凸起端對凸起端(tip-to-tip)的結(jié)構(gòu)(點(diǎn)對點(diǎn)的結(jié)構(gòu)),使編程更加容易。
[0074]在該實(shí)施例中,通過改變SI和S2的大小,以及第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201的數(shù)目,來優(yōu)化所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程電壓,其中所述凸起端205的設(shè)置相對于現(xiàn)有技術(shù)中線對線的設(shè)置方式,使所述反熔絲結(jié)構(gòu)更加容易實(shí)現(xiàn)編程。
[0075]所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程原理為:將所述第一連接線203和所述第二連接線206分別連接至編程電壓的正負(fù)極,增加編程電壓,在電壓較小的情況下,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間沒有被擊穿,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間具有很大的電阻,處于斷開狀態(tài);隨著時(shí)間電壓的增加,由于所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201上凸起端205的設(shè)置,更容易實(shí)現(xiàn)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的擊穿,當(dāng)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間擊穿之后,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間形成通路,實(shí)現(xiàn)所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程。
[0076]在該實(shí)施例中,所述第一梳狀金屬件1、第二梳狀金屬件II的整體形狀、設(shè)置方式,以及所述第一連接線206、第二連接線203的設(shè)置,以及其他沒有提及的結(jié)構(gòu)設(shè)置均可以參照實(shí)施例1,在此不再贅述,當(dāng)然所述設(shè)置方式并不僅僅局限于實(shí)施例1,還可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行改進(jìn)。
[0077]實(shí)施例3
[0078]參照圖2c,在該實(shí)施例中僅第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201上的凸起端205之間的位置關(guān)系不一樣,下面會進(jìn)行詳細(xì)的說明,而所述第一梳狀金屬件1、第二梳狀金屬件II的整體形狀、設(shè)置方式,以及所述第一連接線206、第二連接線203的設(shè)置,以及其他沒有提及的結(jié)構(gòu)設(shè)置均可以參照實(shí)施例2,在此不再贅述,當(dāng)然所述設(shè)置方式并不僅僅局限于實(shí)施例1,還可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行改進(jìn)。
[0079]在該實(shí)施例中,所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201上的凸起端205相錯(cuò)設(shè)置,所述第一指狀金屬線204上的凸起端205與所述第二指狀金屬線201上的凸起端205之間的間隙相對,相應(yīng)的,所述第二指狀金屬線201上的凸起端205與所述第一指狀金屬線204上的凸起端205之間的間隙相對。
[0080]所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程原理為:將所述第一連接線203和所述第二連接線206分別連接至編程電壓的正負(fù)極,增加編程電壓,在電壓較小的情況下,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間沒有被擊穿,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間具有很大的電阻,處于斷開狀態(tài);隨著時(shí)間電壓的增加,由于所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201上凸起端205的設(shè)置,更容易實(shí)現(xiàn)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的擊穿,當(dāng)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間擊穿之后,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間形成通路,實(shí)現(xiàn)所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程。
[0081]實(shí)施例4
[0082]參照圖2f,在該實(shí)施例中僅第一指狀金屬線204的兩側(cè)均設(shè)置有凸起端205,所述凸起端205與所述第二指狀金屬線201之間的距離相當(dāng)均為SI,其他的請參照實(shí)施例1,當(dāng)然所述設(shè)置方式并不僅僅局限于實(shí)施例1,還可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行改進(jìn)。
[0083]在該實(shí)施例中,所述第一指狀金屬線204的兩側(cè)均設(shè)置有凸起端205,所述第一指狀金屬線204的兩側(cè)的凸起端205呈對稱分布,所述凸起端205和所述第一指狀金屬線204為一體設(shè)置,和實(shí)施例1中不同的是在該實(shí)施例中所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的距離相同均為SI,即所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201之間的距離為SI,在縱向上所述相鄰的凸起端205之間的距離為S2。
[0084]在該實(shí)施例中,如圖2f所示,所述第二梳狀金屬件II呈梳狀結(jié)構(gòu),包括3個(gè)第二指狀金屬線201,所述第一梳狀金屬件I也成梳狀結(jié)構(gòu),包括兩個(gè)第一指狀金屬線201,所述兩個(gè)金屬線201的兩側(cè)均設(shè)置有凸起端,所述第二梳狀金屬件II和所述第一梳狀金屬件I相對設(shè)置,所述第一指狀金屬線201插入所述相鄰第二指狀金屬線204之間的間隙中,需要說明的是,所述反熔絲結(jié)構(gòu)中所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201的數(shù)目并不局限于該示例,可以以圖示結(jié)構(gòu)作為基本單元重復(fù),以優(yōu)化編程條件,同時(shí),還可以進(jìn)一步調(diào)節(jié)所述為SI和S2,進(jìn)一步優(yōu)化編程條件。
[0085]所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程原理為:將所述第一連接線203和所述第二連接線206分別連接至編程電壓的正負(fù)極,增加編程電壓,在電壓較小的情況下,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間沒有被擊穿,處于斷開狀態(tài);隨著時(shí)間電壓的增加,由于所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201上凸起端205的設(shè)置,更容易實(shí)現(xiàn)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的擊穿,當(dāng)所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間擊穿之后,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間形成通路,實(shí)現(xiàn)所述反熔絲結(jié)構(gòu)的編程。
[0086]實(shí)施例5
[0087]參照圖2b,在該實(shí)施例中,所述第一梳狀金屬件I包含兩個(gè)第一指狀金屬線204,所述第二梳狀金屬件II包含兩個(gè)第二指狀金屬線201,其中,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201交替設(shè)置,其中位于兩端的所述第一指狀金屬線204和第二指狀金屬線201的內(nèi)側(cè)沿縱向間隔設(shè)置有凸起端,位于中間的所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201的兩側(cè)沿縱向間隔設(shè)置有凸起端。
[0088]在該實(shí)施例中,所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201上的凸起端205相對設(shè)置,所述第一指狀金屬線204和所述第二指狀金屬線201之間的距離相同均為SI,即所述第一指狀金屬線204上的凸起端205和所述第二指狀金屬線201之間的距離為S
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