技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種在基板表面使溶劑成分從含有升華性物質(zhì)的溶液中蒸發(fā)之后使升華性物質(zhì)升華的基板處理技術(shù)中，能夠用較短的節(jié)拍時(shí)間且出色的能源利用效率來進(jìn)行處理的技術(shù)?；逄幚硌b置具有：第一腔室；液膜形成部，其在第一腔室內(nèi)并在基板的表面形成含有升華性物質(zhì)的溶液的液膜(P)，該升華性物質(zhì)具有升華性；第二腔室(30)，其接受形成有液膜(P)的基板(W)；板部(311)，其設(shè)于第二腔室(30)內(nèi)，基板(W)能夠被放置于該板部(311)的上表面；溫度控制部(312、335)，其控制板部的上表面升溫到規(guī)定溫度；加熱部(322)，其在被放置于板部(311)的基板(W)上方，對(duì)從溶液析出的升華性物質(zhì)進(jìn)行加熱，以使該升華性物質(zhì)升華。

技術(shù)研發(fā)人員：宮勝彥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社斯庫林集團(tuán)
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.23
技術(shù)公布日：2017.10.03