技術(shù)編號：11179247
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于使半導(dǎo)體晶圓、光掩膜用玻璃基板、液晶顯示用玻璃基板、等離子顯示用玻璃基板、FED(FieldEmissionDisplay：場發(fā)射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板等各種基板(以下，記載為“基板”)干燥的基板處理技術(shù)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置或液晶顯示裝置等的電子部件的制造工序中，在用液體處理了基板的表面之后，一般要實施從基板表面除去液體來使基板表面干燥的處理。特別是，有一種主要以防止液體的表面張力破壞在基板表面形成的精細圖案為目的，事先在圖案之間填充升華性物質(zhì)，在使...
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