本發(fā)明系涉及一種整合式藥液槽，特別適用于濕式制程，尤其是用于面板產(chǎn)業(yè)。

背景技術(shù)：

在面板產(chǎn)業(yè)中，濕式制程發(fā)展的已經(jīng)相當成熟。然而，受限于現(xiàn)有的機構(gòu)設(shè)計，在實際操作中仍存在許多問題，如維修空間不足、耗液量大、均勻性不佳、漏液以及傳感器作動異常。

參考圖1，繪示現(xiàn)有技術(shù)的濕式制程設(shè)備10之示意圖。所述濕式制程設(shè)備10包括操作腔室11、藥液槽12、藥液回收管路13、泵14以及驅(qū)動裝置18。一般而言，藥液儲存于所述藥液槽12中，通過所述泵14輸送至所述操作腔室11中來對一基材15進行濕式操作(蝕刻等)。最后使用過的藥液可以通過所述藥液回收管路13收集至所述藥液槽中以便再次使用。然而，漏液問題往往發(fā)生在所述藥液槽12以及所述操作腔室11之間的藥液回收管路13。

因此，有必要提供一種整合式藥液槽，以解決上述之問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明目的在于提供一整合式藥液槽，特別濕式制程，其具有改善上述之問題的功效。

為達成上述目的，本發(fā)明提供一種整合式藥液槽，特別適用于濕式制程，所述整合式藥液槽包括一操作腔室、一液體槽以及一泵。

所述操作腔室，用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲存至少一液體。所述泵，用于自所述液體槽抽取所述至少一液體至所述操作腔室中。所述至少一液體于所述操作腔室中使用后，通過所述操作腔室的至少一底板回收至所述液體槽中。

在一優(yōu)選實施例中，所述操作腔室還包括至少一噴頭，用于連接所述泵以及用于在所述操作腔室中噴灑所述至少一液體。

在一優(yōu)選實施例中，所述底板是相對于水平線為傾斜的。

在一優(yōu)選實施例中，所述底板具有至少一孔洞。

在一優(yōu)選實施例中，所述整合式藥液槽還包括一底板轉(zhuǎn)換裝置，用于轉(zhuǎn)換所述至少一底板，讓所述至少一液體能夠回收至所述液體槽的至少一分槽中。

在一優(yōu)選實施例中，所述至少一分槽系用來收納水，所述液體槽還包括至少另一分槽用來收納蝕刻液。

在一優(yōu)選實施例中，所述至少一底板包括第一和第二底板，所述水系經(jīng)由所述第一底板來回收至所述至少一分槽中，所述蝕刻液系經(jīng)由所述第二底板來回收至所述至少另一分槽中。

為達成上述目的，本發(fā)明提供一種用于濕式制程的整合式藥液槽，所述整合式藥液槽包括一操作腔室、一液體槽以及一泵。

所述操作腔室具有一噴嘴，用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲存一液體，所述液體槽的上方系和所述操作腔室的下方至少部分地直接連通。所述泵，用于自所述液體槽抽取所述液體至所述操作腔室中。所述液體于所述 操作腔室中使用后，通過所述操作腔室的下方回收至所述液體槽中。

在一優(yōu)選實施例中，所述操作腔室具有一底板介于所述操作腔室和所述液體槽之間，所述底板用來導(dǎo)引所述使用過的液體回收至所述液體槽中。

在一優(yōu)選實施例中，所述液體槽具有第一和第二分槽用以容納不同的液體，所述整合式藥液槽進一步包括有一底板轉(zhuǎn)換裝置用來操作所述底板以在不同的處理過程中導(dǎo)引所述使用過的液體回收至所述第一和第二分槽的一者中。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，在本發(fā)明中，濕式制程的液體槽設(shè)置在操作腔室之下，同時在所述液體槽以及所述操作腔室之間設(shè)置一底板，以便使用過的液體能夠直接回到所述液體槽，而不需要通過管線輸送，進而解決了漏液的問題。

附圖說明

圖1，繪示先前技術(shù)的濕式制程設(shè)備之示意圖；

圖2，繪示本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例的整合式藥液槽之示意圖；以及

圖3，繪示本發(fā)明的第二優(yōu)選實施例的整合式藥液槽之示意圖。

具體實施方式

以下參照附圖詳細說明的實施例將會使得本發(fā)明的優(yōu)點和特征以及實現(xiàn)這些優(yōu)點和特征的方法更加明確。但是，本發(fā)明不局限于以下所公開的實施例，本發(fā)明能夠以互不相同的各種方式實施，以下所公開的實施例僅用于使本發(fā)明的公開內(nèi)容更加完整，有助于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠完整地理解本發(fā)明之范疇，本發(fā)明是根據(jù)申請專利范圍而定義。在說明書全文中，相同的附圖標記表示相同的裝置組件。

參考圖2，繪示本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例的整合式藥液槽100之示意圖。所述整合式藥液槽100包括一操作腔室110、一液體槽120、一泵140以及一驅(qū)動裝置180。

所述操作腔室110用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽120設(shè)置于所述操作腔室110下方以及用于儲存至少一液體。所述液體槽120的上方系和所述操作腔室110的下方至少部分地直接連通。所述泵140用于抽取所述至少一液體至所述操作腔室110。所述至少一液體于所述操作腔室110中使用后，通過所述操作腔室110的一底板160回收至所述液體槽120。所述驅(qū)動裝置180用于運輸一基材150在所述操作腔室中移動，所述基材可以是面板或玻璃。詳細地，所述操作腔室110還包括至少一噴頭170，用于連接所述泵140以及用于在所述操作腔室110中噴灑所述至少一液體，以便對所述基材150進行清洗、蝕刻等作業(yè)。

在本優(yōu)選實施例中，可以明確地看到所述底板160相對于水平線是傾斜的，以讓所述至少一液體可以順著斜度流入所述液體槽120中。在其他優(yōu)選實施例中，所述底板160也可以是具有至少一孔洞，如此一來，即使所述底板160不是傾斜也可以回收所述至少一液體至所述液體槽120中。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明解決了漏液的技術(shù)問題，同時省略了藥液回收管路的設(shè)置，一并降低生產(chǎn)成本。

圖3，繪示本發(fā)明的第二優(yōu)選實施例的整合式藥液槽200之示意圖。本優(yōu)選實施例與第一優(yōu)選實施例的差異在于：所述底板具有第一底板161以及第二底板162；增加了一底板轉(zhuǎn)換裝置190；以及所述液體槽120具有第一分槽121以及第二分槽122。

在本優(yōu)選實施例中，舉例而言，所述第一分槽121是可用于回收水，而第二分槽122則是可用于回收蝕刻液。在使用清水的清洗流程中，所述底板轉(zhuǎn)換 裝置190可驅(qū)動所述第二底板162使其向左邊往所述液體槽120的槽壁折迭收納，或以逆時針的方向往上傾斜來使水不會經(jīng)由所述第二底板162流至所述第二分槽122中。如此，使用過的水可以通過所述第一底板161完全地回收到所述第一分槽121中。在蝕刻流程中，所述底板轉(zhuǎn)換裝置190驅(qū)動所述第一底板161使其向左邊往所述液體槽120的槽壁收納，及驅(qū)動所述第二底板162使其向右移動至所述第二分槽122的上方。如此，使用過的蝕刻液可以通過所述第二底板162完全回收到所述第二分槽122中，而不會流到所述第一分槽121中。

雖然本發(fā)明已用優(yōu)選實施例揭露如上，然其并非用于限定本發(fā)明，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，當可作各種之改動與潤飾，因此本發(fā)明之保護范圍當視后附之申請專利范圍所界定者為準。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種整合式藥液槽，特別適用于濕式制程。所述整合式藥液槽包括一操作腔室、一液體槽以及一泵。所述操作腔室，用于執(zhí)行濕式制程。所述液體槽，設(shè)置于所述操作腔室下方以及用于儲存至少一液體。所述泵，用于自所述液體槽抽取所述至少一液體至所述操作腔室。所述至少一液體于所述操作腔室中使用后，通過所述操作腔室的至少一底板回收至所述液體槽。使用過的液體能夠直接回到所述液體槽，而不需要通過管線輸送，進而解決了漏液的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：黃榮龍;呂峻杰;陳瀅如
受保護的技術(shù)使用者：盟立自動化股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.25
技術(shù)公布日：2017.10.03