專利名稱：用于晶圓的刷洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于晶圓的刷洗裝置。
背景技術(shù)：
晶圓的化學(xué)機(jī)械拋光工藝(以下簡稱CMP工藝)被公認(rèn)為是目前有效的實(shí)現(xiàn)全局平坦化的技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于芯片制造領(lǐng)域。而晶圓CMP工藝后，晶圓表面殘留有機(jī)化合物、顆粒和金屬雜質(zhì)等表面污物，而表面污物將影響晶圓的下一道工藝，進(jìn)而嚴(yán)重?fù)p害芯片的性能和可靠性。為此，需要在CMP工藝后對(duì)晶圓進(jìn)行刷洗以除去其表面污物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種可以更好地刷洗晶圓的用于晶圓的刷洗裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例提出一種用于晶圓的刷洗裝置，所述刷洗裝置包括密封箱，所述密封箱內(nèi)限定有容納腔，其中所述容納腔的側(cè)壁上設(shè)有晶圓取放孔；第一門體，所述第一門體設(shè)在所述側(cè)壁上用于打開和關(guān)閉所述晶圓取放孔；支撐件，所述支撐件設(shè)在所述容納腔內(nèi)用于可旋轉(zhuǎn)地支撐沿豎直方向定向的晶圓；和第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相對(duì)地且間隔開地設(shè)在所述容納腔內(nèi)以分別用于刷洗所述晶圓的兩個(gè)表面。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于晶圓的刷洗裝置通過在所述密封箱的容納腔的側(cè)壁上設(shè)置所述晶圓取放孔，從而可以在機(jī)械手取放晶圓的過程中使所述機(jī)械手始終處于所述晶圓、所述第一毛刷和所述第二毛刷的側(cè)面(而不是所述晶圓、所述第一毛刷和所述第二毛刷的上方)，這樣可以避免所述機(jī)械手及其驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)上的顆粒和磨削掉落在所述晶圓、所述第一毛刷和所述第二毛刷上而污染所述晶圓、所述第一毛刷和所述第二毛刷。因此，通過利用所述刷洗裝置來刷洗所述晶圓，可以避免所述晶圓受到外來污物的污染，從而可以大大地提高所述晶圓的潔凈度。另外，根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的用于晶圓的刷洗裝置還可以具有如下附加的技術(shù)特征根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括輔助支撐件，所述輔助支撐件設(shè)在所述容納腔內(nèi)用于與所述支撐件一起在豎直方向上對(duì)所述晶圓進(jìn)行定位。通過設(shè)置所述輔助支撐件，不僅可以使所述晶圓更加穩(wěn)定地支撐在所述支撐件上，而且可以更加精確地將所述晶圓定位在豎直方向上，從而可以更好地對(duì)所述晶圓進(jìn)行刷洗、大大地提高所述晶圓的潔凈度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述支撐件包括第一滾輪和第二滾輪且所述輔助支撐件為第三滾輪，其中所述第三滾輪與所述第一滾輪和第二滾輪協(xié)作支撐所述晶圓且將所述晶圓沿豎直方向定向。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括機(jī)架，所述機(jī)架設(shè)在所述容納腔內(nèi)，其中所述支撐件、所述第一毛刷、所述第二毛刷和所述輔助支撐件設(shè)在所述機(jī)架上。通過設(shè)置所述機(jī)架，從而可以更加容易地安裝所述支撐件、所述第一毛刷、所述第二毛刷和所述輔助支撐件，這樣大大地簡化了所述刷洗裝置的結(jié)構(gòu)且大大地降低了所述刷洗裝置的制造難度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述輔助支撐件可上下移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一滾輪和所述第二滾輪中的鄰近所述晶圓取放孔的一個(gè)可上下移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上。通過將所述第一滾輪和所述第二滾輪中的鄰近所述晶圓取放孔的一個(gè)可上下移動(dòng)地設(shè)置在所述機(jī)架上，從而可以簡化所述機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)， 提高所述機(jī)械手取放所述晶圓的效率。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括第一驅(qū)動(dòng)件，所述第一驅(qū)動(dòng)件設(shè)在所述側(cè)壁上且與所述第一門體相連以便驅(qū)動(dòng)所述第一門體打開和關(guān)閉所述晶圓取放孔。通過設(shè)置所述第一驅(qū)動(dòng)件，從而可以在利用所述機(jī)械手取放所述晶圓的過程中自動(dòng)地打開和關(guān)閉所述晶圓取放孔，這樣可以大大地提高所述刷洗裝置的自動(dòng)化程度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述容納腔的前壁和后壁中的一個(gè)壁上設(shè)有毛刷更換孔和用于打開和關(guān)閉所述毛刷更換孔的第二門體。這樣不僅可以大大地延長所述刷洗裝置的使用壽命，而且可以始終保持所述第一毛刷和所述第二毛刷潔凈，從而可以更好地對(duì)所述晶圓進(jìn)行刷洗、大大地提高所述晶圓的潔凈度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述用于晶圓的刷洗裝置還包括第二驅(qū)動(dòng)件，所述第二驅(qū)動(dòng)件設(shè)在所述一個(gè)壁上且與所述第二門體相連以便驅(qū)動(dòng)所述第二門體打開和關(guān)閉所述毛刷更換孔。通過設(shè)置所述第二驅(qū)動(dòng)件，從而可以自動(dòng)地打開和關(guān)閉所述毛刷更換孔，這樣可以大大地提高所述刷洗裝置的自動(dòng)化程度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一驅(qū)動(dòng)件和所述第二驅(qū)動(dòng)件均為氣缸。本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。


本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于晶圓的刷洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(機(jī)械手抓取晶圓時(shí))；圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于晶圓的刷洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖(機(jī)械手未抓取晶圓時(shí))；圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于晶圓的刷洗裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖；和圖4是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的用于晶圓的刷洗裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、 “左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所
示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。在本發(fā)明的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說明的是，術(shù)語“安裝”、“相連”、 “連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是機(jī)械連接或電連接，也可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語的具體含義。下面參照?qǐng)D1-4描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于晶圓20的刷洗裝置10。如圖1_4 所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于晶圓20的刷洗裝置10包括密封箱100、第一門體(圖中未示出)、支撐件200、第一毛刷300和第二毛刷400。密封箱100內(nèi)限定有容納腔110，其中容納腔110的側(cè)壁上設(shè)有晶圓取放孔120。 所述第一門體設(shè)在所述側(cè)壁上用于打開和關(guān)閉晶圓取放孔120。支撐件200設(shè)在容納腔110 內(nèi)用于可旋轉(zhuǎn)地支撐沿豎直方向(豎直方向B如圖1和圖2中的箭頭方向所示，即上下方向)定向的晶圓20。第一毛刷300和第二毛刷400相對(duì)地且間隔開地設(shè)在容納腔110內(nèi)以分別用于刷洗晶圓20的兩個(gè)表面。在利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于晶圓20的刷洗裝置10刷洗晶圓20時(shí)，機(jī)械手30 將未刷洗的晶圓20從容納腔110的側(cè)壁上的晶圓取放孔120放置在支撐件200上，并且將刷洗后的晶圓20從晶圓取放孔120取出。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于晶圓20的刷洗裝置10通過在密封箱100的容納腔110 的側(cè)壁上設(shè)置晶圓取放孔120，從而可以在機(jī)械手30取放晶圓20的過程中使機(jī)械手30始終處于晶圓20、第一毛刷300和第二毛刷400的側(cè)面(而不是晶圓20、第一毛刷300和第二毛刷400的上方)，這樣可以避免機(jī)械手30及其驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)上的顆粒和磨削掉落在晶圓20、第一毛刷300和第二毛刷400上而污染晶圓20、第一毛刷300和第二毛刷400。因此，通過利用刷洗裝置10來刷洗晶圓20，可以避免晶圓20受到外來污物的污染， 從而可以大大地提高晶圓20的潔凈度。此外，由于在刷洗晶圓20時(shí)晶圓20沿豎直方向定向，因此從晶圓20上刷洗下來的顆粒和化學(xué)藥劑會(huì)隨著清洗液(例如去離子水)一起沿晶圓20的表面豎直地向下流動(dòng)， 并從密封箱100的底部排出，這樣可以大大地提高晶圓20的潔凈度。其中，密封箱100的容納腔110的側(cè)壁是指容納腔110的左壁和右壁中的一個(gè)(左右方向A如圖1和圖2中的箭頭方向所示)。在刷洗晶圓20時(shí)，所述第一門體可以關(guān)閉晶圓取放孔120，從而可以防止清洗液從容納腔110內(nèi)濺出。如圖1、圖2和圖4所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，刷洗裝置10還可以包括輔助支撐件，所述輔助支撐件可以設(shè)在容納腔110內(nèi)用于與支撐件200 —起在豎直方向上對(duì)晶圓20進(jìn)行定位。通過設(shè)置所述輔助支撐件，不僅可以使晶圓20更加穩(wěn)定地支撐在支撐件200上，而且可以更加精確地將晶圓20定位在豎直方向上，從而可以更好地對(duì)晶圓20進(jìn)行刷洗、大大地提高晶圓20的潔凈度。換言之，通過設(shè)置所述輔助支撐件，可以防止晶圓20 在刷洗過程中偏離豎直方向。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖1、圖2和圖4所示，支撐件200可以包括第一滾輪210和第二滾輪220，且所述輔助支撐件可以是第三滾輪500。其中，第三滾輪500與第一滾輪210和第二滾輪220可以協(xié)作支撐晶圓20且將晶圓20沿豎直方向定向。有利地，刷洗裝置10還可以包括機(jī)架(圖中未示出)，所述機(jī)架可以設(shè)在容納腔 110內(nèi)，其中支撐件200、第一毛刷300、第二毛刷400和所述輔助支撐件可以設(shè)在所述機(jī)架上。通過設(shè)置所述機(jī)架，從而可以更加容易地安裝支撐件200、第一毛刷300、第二毛刷400 和所述輔助支撐件，這樣大大地簡化了刷洗裝置10的結(jié)構(gòu)且大大地降低了刷洗裝置10的制造難度。在本發(fā)明的一些示例中，所述輔助支撐件可以可上下移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上。有利地，所述輔助支撐件可以可豎直移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上，即所述輔助支撐件可以沿豎直方向移動(dòng)。下面以晶圓取放孔120設(shè)在容納腔110的右壁上為例(如圖1和圖2所示)詳細(xì)地描述晶圓20的取放過程。在放置晶圓20時(shí)，首先所述輔助支撐件可以向上移動(dòng)以便避開晶圓20，隨后機(jī)械手30搬運(yùn)晶圓20可以先向左移動(dòng)、再向下移動(dòng)以便將晶圓20放置在支撐件200上，隨后所述輔助支撐件可以向下移動(dòng)至與晶圓20接觸以便與第一滾輪210 和第二滾輪220協(xié)作支撐晶圓20且將晶圓20沿豎直方向定向，最后機(jī)械手30脫離晶圓20 并移出容納腔110。取出晶圓20的過程與放置晶圓20的過程相反，在此不再詳細(xì)地描述。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，第一滾輪210和第二滾輪220中的鄰近晶圓取放孔120 的一個(gè)可以可上下移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上。有利地，第一滾輪210和第二滾輪220中的鄰近晶圓取放孔120的一個(gè)可以可豎直移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上，即第一滾輪210和第二滾輪 220中的鄰近晶圓取放孔120的一個(gè)可以沿豎直方向移動(dòng)。在本發(fā)明的一個(gè)具體示例中，如圖1和圖2所示，第二滾輪220可以可上下移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上。這樣在放置晶圓20時(shí)第二滾輪220可以向下移動(dòng)以便避開晶圓20，隨后機(jī)械手30搬運(yùn)晶圓20只需要向左移動(dòng)就可以將晶圓20放置在第一滾輪210和所述輔助支撐件上，即機(jī)械手30不需要再向下移動(dòng)。在取出晶圓20時(shí)機(jī)械手30先抓緊晶圓20，隨后第二滾輪220可以向下移動(dòng)以便脫離晶圓20，最后機(jī)械手30搬運(yùn)晶圓20向右移動(dòng)并移出容納腔110。因此，通過將第一滾輪210和第二滾輪220中的鄰近晶圓取放孔120的一個(gè)可上下移動(dòng)地設(shè)置在所述機(jī)架上，從而可以簡化機(jī)械手30的運(yùn)動(dòng)，提高機(jī)械手30取放晶圓 20的效率。如圖1和圖2所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，容納腔110的前壁和后壁(其中前后方向C如圖1和圖2中的箭頭方向所示)中的一個(gè)壁上可以設(shè)有毛刷更換孔130和用于打開和關(guān)閉毛刷更換孔130的第二門體(圖中未示出)。通過在容納腔110的前壁和后壁中的一個(gè)上設(shè)置毛刷更換孔130，從而可以在第一毛刷300和第二毛刷400使用一段時(shí)間后對(duì)第一毛刷300和第二毛刷400進(jìn)行維修和更換。這樣不僅可以大大地延長刷洗裝置10 的使用壽命，而且可以始終保持第一毛刷300和第二毛刷400潔凈，從而可以更好地對(duì)晶圓 20進(jìn)行刷洗、大大地提高晶圓20的潔凈度。有利地，容納腔110的前壁上可以設(shè)有毛刷更換孔130且容納腔110的后壁上也可以設(shè)有毛刷更換孔130，從而可以更加容易地對(duì)第一毛刷300和第二毛刷400進(jìn)行維修和更換。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，刷洗裝置10還可以包括第一驅(qū)動(dòng)件(圖中未示出)，所述第一驅(qū)動(dòng)件可以設(shè)在所述側(cè)壁(即設(shè)有晶圓取放孔120的側(cè)壁)上，且所述第一驅(qū)動(dòng)件可以與所述第一門體相連以便驅(qū)動(dòng)所述第一門體打開和關(guān)閉晶圓取放孔120。通過設(shè)置所述第一驅(qū)動(dòng)件，從而可以在利用機(jī)械手30取放晶圓20的過程中自動(dòng)地打開和關(guān)閉晶圓取放孔120，這樣可以大大地提高刷洗裝置10的自動(dòng)化程度。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，刷洗裝置10還可以包括第二驅(qū)動(dòng)件(圖中未示出)，所述第二驅(qū)動(dòng)件可以設(shè)在所述一個(gè)壁(即設(shè)有毛刷更換孔130的壁)上，且所述第二驅(qū)動(dòng)件可以與所述第二門體相連以便驅(qū)動(dòng)所述第二門體打開和關(guān)閉毛刷更換孔130。通過設(shè)置所述第二驅(qū)動(dòng)件，從而可以自動(dòng)地打開和關(guān)閉毛刷更換孔130，這樣可以大大地提高刷洗裝置 10的自動(dòng)化程度。具體地，所述第一驅(qū)動(dòng)件和所述第二驅(qū)動(dòng)件都可以是氣缸。通過利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的刷洗裝置10來刷洗晶圓20，可以避免晶圓20受到外來污物的污染，從而可以大大地提高晶圓20的潔凈度。在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，包括密封箱，所述密封箱內(nèi)限定有容納腔，其中所述容納腔的側(cè)壁上設(shè)有晶圓取放孔；第一門體，所述第一門體設(shè)在所述側(cè)壁上用于打開和關(guān)閉所述晶圓取放孔；支撐件，所述支撐件設(shè)在所述容納腔內(nèi)用于可旋轉(zhuǎn)地支撐沿豎直方向定向的晶圓；和第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相對(duì)地且間隔開地設(shè)在所述容納腔內(nèi)以分別用于刷洗所述晶圓的兩個(gè)表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括輔助支撐件，所述輔助支撐件設(shè)在所述容納腔內(nèi)用于與所述支撐件一起在豎直方向上對(duì)所述晶圓進(jìn)行定位。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述支撐件包括第一滾輪和第二滾輪且所述輔助支撐件為第三滾輪，其中所述第三滾輪與所述第一滾輪和第二滾輪協(xié)作支撐所述晶圓且將所述晶圓沿豎直方向定向。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括機(jī)架，所述機(jī)架設(shè)在所述容納腔內(nèi)，其中所述支撐件、所述第一毛刷、所述第二毛刷和所述輔助支撐件設(shè)在所述機(jī)架上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述輔助支撐件可上下移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述第一滾輪和所述第二滾輪中的鄰近所述晶圓取放孔的一個(gè)可上下移動(dòng)地設(shè)在所述機(jī)架上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括第一驅(qū)動(dòng)件，所述第一驅(qū)動(dòng)件設(shè)在所述側(cè)壁上且與所述第一門體相連以便驅(qū)動(dòng)所述第一門體打開和關(guān)閉所述晶圓取放孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述容納腔的前壁和后壁中的一個(gè)壁上設(shè)有毛刷更換孔和用于打開和關(guān)閉所述毛刷更換孔的第二門體。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，還包括第二驅(qū)動(dòng)件，所述第二驅(qū)動(dòng)件設(shè)在所述一個(gè)壁上且與所述第二門體相連以便驅(qū)動(dòng)所述第二門體打開和關(guān)閉所述毛刷更換孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于晶圓的刷洗裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)件和所述第二驅(qū)動(dòng)件均為氣缸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于晶圓的刷洗裝置，所述用于晶圓的刷洗裝置包括密封箱，所述密封箱內(nèi)限定有容納腔，其中所述容納腔的側(cè)壁上設(shè)有晶圓取放孔；第一門體，所述第一門體設(shè)在所述側(cè)壁上用于打開和關(guān)閉所述晶圓取放孔；支撐件，所述支撐件設(shè)在所述容納腔內(nèi)用于可旋轉(zhuǎn)地支撐沿豎直方向定向的晶圓；和第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷相對(duì)地且間隔開地設(shè)在所述容納腔內(nèi)以分別用于刷洗所述晶圓的兩個(gè)表面。通過利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的刷洗裝置來刷洗晶圓，可以避免晶圓受到外來污物的污染，從而可以大大地提高晶圓的潔凈度。
文檔編號(hào)H01L21/67GK102522357SQ20111044881
公開日2012年6月27日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者何永勇, 梅赫賡, 裴召輝, 路新春 申請(qǐng)人:清華大學(xué)