專利名稱：往返于輸送機系統(tǒng)的直接裝載的制作方法
往返于輸送機系統(tǒng)的直接裝載
背景技術(shù)：
存在有幾種使半導體晶片容器在半導體制造設(shè)備(“工廠”)中輸送的方式。用于 輸送容器的系統(tǒng)通常指的是自動物料輸送系統(tǒng)(AMHS)或者簡稱為物料輸送系統(tǒng)。物料輸 送系統(tǒng)可以指整個系統(tǒng)的一部分或全部。工廠可以在整個工廠中僅使用一種類型的AMHS， 或者可以在某些區(qū)域具有不同類型的AMHS，或者具有用于不同的輸送功能的不同類型的 AMHS0當容器被輸送時，這些AMHS類型中的一些使用車輛來保持該容器，例如有軌小車 (RGV)或者自導引車(AGV)。使用RGV或者AGV的物料輸送系統(tǒng)需要管理空車以安排它們 到達要拾取容器的位置。等候這些車的到達導致AMHS延遲并且車輛運動管理增加了 AMHS 的復雜性。當利用吊運輸送(OHT)系統(tǒng)移動容器時也存在同樣的問題。輸送機系統(tǒng)在工廠內(nèi)移動容器方面比較有效，而不具有任何或者最少量的車輛延 遲并且不用必須管理空車。輸送機直接地移動容器而沒有出現(xiàn)在輸送機表面和容器表面之 間的任何物料或機械干預。除非輸送機是滿負荷，否則其能夠立即接收容器以便輸送。出 于這些以及其它原因，輸送機可以提供非常高產(chǎn)量的AMHS。在發(fā)明名稱為“集成式滾子輸送吊艙和不同步輸送機”的美國專利No. 6，223，886 中公開了輸送機系統(tǒng)的一個示例，該美國專利由Asyst Technologies Inc.公司所有并且 被全部結(jié)合在此。驅(qū)動導軌12包括驅(qū)動系統(tǒng)(在圖IA中總體由附圖標記38表示)，用于 沿著導軌12推動容器。驅(qū)動系統(tǒng)38包括多個分開的驅(qū)動組件40。對于指定的區(qū)域Z，每 個驅(qū)動組件40包括多個驅(qū)動輪42，該驅(qū)動輪42摩擦地接合容器2的下側(cè)，以沿著驅(qū)動導 軌12推動容器2。如在圖IA中所示，驅(qū)動組件40沿著導軌定位成使得在相鄰驅(qū)動組件40 的最外側(cè)驅(qū)動輪42之間的分開距離基本上等于單個驅(qū)動組件40的驅(qū)動輪42之間的間隔。 驅(qū)動輪42從驅(qū)動導軌外殼向上突起成使得導軌12的驅(qū)動輪42直接支承輸送容器2。輪 42優(yōu)選地安裝在大約相同的高度處，以當容器2沿著導軌12運動時，將容器2的翻倒或擺 動減少到最小。在本領(lǐng)域中還已知在每個驅(qū)動輪42之間單獨地安裝被動輪43 (如圖IA中 所示)。雖然各種類型的輸送機系統(tǒng)已經(jīng)提供了物體的運動，但是在輸送機系統(tǒng)和其它設(shè) 備之間的交接仍需要改進效率。在美國專利No. 6，481，558中示出了輸送機交接的示例，盡 管這種交接也能良好地工作，但是，其可能導致在與輸送機交接期間FOUP的等待。該美國 專利通過參引被結(jié)合在此。在這種背景下提出了現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的實施方式。
發(fā)明內(nèi)容
提供了一種用于直接裝載系統(tǒng)和輸送機的發(fā)明。如此處使用的，直接裝載指的是 將物料從輸送機系統(tǒng)直接裝載到基本上鄰近輸送機定位的工具。在一個實施方式中，通過 裝載端口模塊執(zhí)行該裝載。裝載端口模塊可以是單個裝載端口模塊或者是多裝載端口系統(tǒng) 的一部分。在任一構(gòu)造中，裝載端口模塊被構(gòu)造具有臂，該臂保持支承件。在進一步的實施 方式中，臂是單臂。沿著裝載端口的豎直定向設(shè)置軌道，其允許單臂豎直地上下運動。當臂向下運動時，臂在輸送機系統(tǒng)的方向上運動。輸送機系統(tǒng)可以安裝在制造設(shè)備的地板上，或 者在地板上方的平臺上，或者是構(gòu)造在地板中的部分中。臂被構(gòu)造用于使由臂保持的支承件向下運動并且進入輸送機系統(tǒng)的空間內(nèi)。該 空間被限定在由輸送機區(qū)段的兩個橫梁之間。在一個實施方式中，兩個或更多個輸送機區(qū) 段形成輸送機。因此利用單臂的裝載端口可以將支承件下降到輸送機內(nèi)，并且在輸送路徑 (由輸送機的帶限定)下方的位置處，并且當在輸送機上行進的物料到達裝載端口的位置 時(如果那個物料去往特定的那個裝載端口)，輸送機可以提升物料到裝載端口的上部位 置。在上部位置，裝載端口向一位置提供物料，該位置允許與裝載端口提供服務(例如，提 供物料)的工具交接。在一個具體實施方式
中，裝載端口被構(gòu)造用于降低到在裝載端口旁 邊(例如，鄰近裝載端口的下部區(qū)域)布置的輸送機內(nèi)，并且輸送機將容器(例如，F(xiàn)0UP) 移動到裝載端口位置。單臂隨后可以升高支承件并且提升容器離開輸送機到上部位置。應 該理解，如果容器不是去往(即，被指派給)特定的裝載端口，則輸送機將不會使容器停止 在裝載端口前面，并且裝載端口的支承件(如果處于下部位置)將不會阻礙、阻擋、防止或 者干涉容器沿輸送機的傳送。如果裝載端口已經(jīng)使容器升高離開輸送機，則處于上部位置 的容器也將允許在輸送機(其在裝載端口旁邊)上行進的其它容器無阻礙地運動。因此， 上部位置要充分地高，使得即使在裝載端口已經(jīng)直接裝載容器離開輸送機并且到上部位置 時，在輸送機上的容器也能行進。如此處使用的，提供關(guān)于移動容器的討論。在一個實施方式中，公開了一種直接裝載工具。該工具包括輸送機，所述輸送機沿 一方向定向，所述輸送機接近第一位置集成，所述輸送機包括第一橫梁和第二橫梁，并且 所述第一橫梁和所述第二橫梁中的每一個支承輪，所述輪分別使第一帶和第二帶運動。所 述第一橫梁和所述第二橫梁以平行定向間隔開，并且所述第一橫梁包括單槽。裝載端口鄰 近所述輸送機的所述第一橫梁定向，所述裝載端口包括裝載端口開口，所述裝載端口開口 接近第二位置限定；以及軌道，所述軌道在所述輸送機的所述第一位置和所述第二位置之 間沿豎直方向限定。單臂被構(gòu)造用于在所述第一位置和所述第二位置之間沿所述軌道運 動，從而使得所述單臂被構(gòu)造用于當所述單臂定位在所述第一位置時運動通過所述單槽。 支承件連接到所述單臂上，所述支承件沿所述豎直方向運動，以當所述單臂在所述第一位 置處于所述單槽中時將所述支承件放置在所述第一橫梁和所述第二橫梁之間。在另一實施方式中，所述輸送機設(shè)有裝載端口交接區(qū)段。所述裝載端口交接區(qū)段 包括至少兩個橫梁區(qū)段。所述橫梁區(qū)段的一側(cè)是連續(xù)的并且另一橫梁區(qū)段是不連續(xù)的?？?體而言，不連續(xù)的橫梁區(qū)段位于裝載端口的一側(cè)上。槽限定在不連續(xù)的橫梁區(qū)段中。該槽 被構(gòu)造用于允許裝載端口的單臂下降到槽內(nèi)，并且由此允許裝載端口的支承件放置在裝載 端口交接區(qū)段的兩個橫梁區(qū)段之間。在沒有定位裝載端口的部分中，也不設(shè)置槽，并且輸送 機區(qū)段的兩個橫梁是相同的。下面參照附圖提供較具體的細節(jié)。關(guān)于輸送機，在輸送機區(qū)段的橫梁上使用卡盤模塊。盡管輸送機由多個區(qū)段限定， 但是，可以設(shè)想使用更長的橫梁，同時仍使用沿著較長橫梁的多輸送機卡盤。如果使用較長 的橫梁，在裝載端口的位置處在橫梁中上限定槽。如上所述，所述槽設(shè)置用于能夠使裝載端 口的臂將支承件下降到輸送機路徑平面下方。如果裝載端口要提升容器，則單臂向上運動 并提升容器到上部位置。在一個實施方式中，卡盤包括多個輪，它們被設(shè)計為用于輸送機部分的單元，并且卡盤的輪被設(shè)計用于保持帶。在其它實施方式中，輪不需要作為卡盤的部分，而是可以被單 獨地增加以對帶提供必須的支承。在一個可選的實施方式中，輸送機部分包括集成的傳感 器，用于檢測容器(例如，F(xiàn)0UP)的存在。每個輸送機部分可以實施為精確的金屬板導軌， 其利于高速輸送F0UP。在一個實施方式中，每個輸送機部分具有兩側(cè)。每側(cè)都具有卡盤，所 述卡盤具有帶。在特定實施方式中，輸送機部分的一側(cè)包括驅(qū)動輸送機的驅(qū)動馬達。在其 它實施方式中，兩側(cè)都可以具有它們自己的馬達，因此取消了對于驅(qū)動軸的需要。當設(shè)置驅(qū)動軸時，使用快速連接-斷開式驅(qū)動軸將驅(qū)動連接到輸送機部分的另一 側(cè)上。在一個實施方式中，驅(qū)動軸為輸送機部分的兩條帶中的每一個提供基本恒定的速度。 在特定實施方式中，由于輸送機部分的靈活模塊性，可拆卸特定的部分，而不用必須打擾未 被移除的或者提供服務的鄰近部分。在一些情形下，需要移除以提供服務或者進行調(diào)節(jié)。用 于在半導體工廠中處理物料的輸送機系統(tǒng)需要高的可靠性，并且同時能快速接觸以便在出 現(xiàn)失效和/或維護的情形下進行修理。為解決兩個問題，輸送機系統(tǒng)的實施方式提供直的 部分，該部分已經(jīng)被減少到基本的部件。這些部件的示例包括支承結(jié)構(gòu)、具有集成的傳感器 的驅(qū)動系統(tǒng)、用于保持滾輪的模塊卡盤，該滾輪支承并且驅(qū)動帶。支承結(jié)構(gòu)可以是但不限于 金屬構(gòu)架(例如，金屬導板)，目的在于提供結(jié)構(gòu)支承和卡盤模塊的精確定位。在一個實施 方式中，卡盤系統(tǒng)包括吊艙定位傳感器、帶有惰輪的驅(qū)動系統(tǒng)、帶有機載診斷顯示器的互連 板以及帶調(diào)節(jié)器。在一個可選擇的實施方式中，可以取消帶并且作為替代可以使用滾子。在圖IA中 示出滾子的示例。因此，雖然圖IA示出現(xiàn)有技術(shù)的構(gòu)造，該構(gòu)造不允許支承件通過單臂306 進行嵌套，但是圖IA的滾子可被用于替代帶結(jié)構(gòu)。如果使用滾子，由滾子提供的輸送水平 面應該在運動板304的水平面上方。因此，即使代替帶以限定第二實施方式，此處限定的所 有實施方式也都工作良好。有利的是提供了直接裝載和輸送機系統(tǒng)，其改善了傳統(tǒng)的物料輸送性能，減少了 AMHS的成本，并且提供了多動力配置。
從下面結(jié)合附圖的詳細說明將更容易理解本發(fā)明。為使該說明容易，相似的附圖 標記表示相似的結(jié)構(gòu)部件。圖IA示意出現(xiàn)有技術(shù)的輸送機系統(tǒng)。圖IB示意出鄰近裝載端口和處理工具定位的輸送機部分。圖2示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的利用輸送機的帶沿一方向移動FOUP的 輸送機。圖3示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的用于移動帶的卡盤模塊的較詳細視圖。圖3A-;3K示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的各種類型的帶構(gòu)造。圖4示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的限定在輸送機區(qū)段中的槽的示例。圖5A-5D示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的與輸送機交接的裝載端口的示例。圖6示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的以嵌套定向下降到輸送機內(nèi)的裝載端 口臂的較詳細視圖。圖7A-7B示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的多裝載端口系統(tǒng)的示例。
圖8A-8D示意出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的在輸送機和裝載端口之間交換的 直接裝載之間的交接的示例。
具體實施例方式廣義地說，本發(fā)明限定了直接裝載和輸送機系統(tǒng)。該系統(tǒng)允許容器直接裝載到輸 送機上以及直接從輸送機上卸載。輸送機鄰近裝載系統(tǒng)定位。在一個實施方式中，裝載系 統(tǒng)是裝載端口。該裝載端口被構(gòu)造具有單臂，所述單臂被構(gòu)造用于使支承件沿豎直方向上 下運動。該單臂被構(gòu)造用于向下運動，然后嵌套在輸送機的橫梁之間，從而仍允許容器沿著 輸送機無阻礙地行進。輸送機的橫梁被構(gòu)造成包括鄰近裝載端口的槽，從而裝載端口的單 臂可以裝配在其內(nèi)，并且可以將支承件降低到輸送機內(nèi)的嵌套位置內(nèi)。如果容器被分配給 裝載端口，則單臂可以將支承件升起并且接合容器。然后容器可以向上運動并且離開輸送 機。在上部位置，容器可以形成為與裝載端口的門面接。裝載端口的門然后可以接合容器 的容器門，移去容器門，然后允許機器人將物料移入到容器中或者移出容器。此處描述的卡盤模塊提供快速的服務性能以及離線試驗/校正。在馬達、帶或者 惰輪失效的情況下，小的部分可以作為單元被更換并且被離線修理。卡盤模塊可以用不同 的部件組裝以使其成為驅(qū)動器或者從動單元。這些實施方式的比例不限于半導體晶片吊艙(FOUP)，而是其可以按比例調(diào)整以處 理大的平板顯示器盒、太陽能電池板或PCB組件輸送機系統(tǒng)。在該申請中描述的卡盤概念 可以利用多種材料和制造方法制成以進一步地集成部件并且增加其模塊性特征。帶有集成系統(tǒng)的直接驅(qū)動模塊帶輸送機卡盤包括直接驅(qū)動系統(tǒng)，該直接驅(qū)動系統(tǒng) 利用多個惰輪將馬達聯(lián)接到驅(qū)動滑輪上。在一個實施方式中，通過彈簧加載軸推壓在惰輪 上來提供帶張力。惰輪又提供必須的帶張力。經(jīng)由將驅(qū)動部分連接到從動卡盤上的驅(qū)動軸 來對隨動卡盤提供動力。驅(qū)動軸設(shè)計成使得在兩個部分之間存在減小的后沖情況。如所述， 驅(qū)動軸的一個實施方式是它的有意的快速斷開設(shè)計，用于快速移去和安裝。又與一個實施 方式相符，霍爾傳感器可以安裝在兩個卡盤上的相對的惰輪上，以檢測帶是否已經(jīng)失效。用 于監(jiān)測吊艙位置的傳感器可以安裝在卡盤上并且連接到小電路板上。電路板可以使用LED 燈以向操作者提供檢測狀態(tài)。在一個實施方式中，電路板可以位于驅(qū)動卡盤上。圖IB示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式的處理區(qū)域100的示例性視圖。處理區(qū) 域100例如可以是制造設(shè)備、無塵空間等等。處理區(qū)域100可以包括輸送機102，輸送機102 由多個輸送機區(qū)段104構(gòu)成。輸送機102被設(shè)計用于地板安裝，雖然組成部件同樣適用于 掛頂式輸送機系統(tǒng)。輸送機102可以被構(gòu)造用于將物料輸送到工具112和工具108，以及從 工具112和工具108輸送物料。在一個實施方式中，半導體襯底在前開式統(tǒng)一吊艙(FOUP) (未示出)中沿著輸送機102被輸送。沿著輸送機102行進的FOUP可以被裝載到裝載端口 106內(nèi)或裝載端口 110內(nèi)，并且可以分別在工具108或工具112內(nèi)處理半導體襯底。該圖提供用于容易地圖示，但是該圖不用于示出裝載端口與輸送機102的關(guān)系。 在下面提供的詳細示例中，將示出裝載端口實際上緊靠輸送機102定位，輸送機102位于裝 載端口的下面及旁側(cè)。圖8A-8D示出了這種定向。該緊密相鄰的構(gòu)造將允許容器直接從輸 送機102到裝載端口和工具的有效直接裝載。在更充分規(guī)模的實施中，輸送機可以在制造設(shè)備的整個地板上確定路線。制造設(shè)備可以集成在單層地板建筑物中或者在較大建筑物的多個地板上。在生產(chǎn)中，輸送機系統(tǒng) 可以伸展許多米并且甚至是英里。在設(shè)備中的工具數(shù)量可以是一個工具或者是數(shù)以千計的 工具。在一個實施方式中，工具108和工具112可以是在半導體襯底的處理中使用的機 械。工具108和工具112可以是相同的工具或者是執(zhí)行相似功能或不同功能的完全不同的 工具。這些制造功能可以包括，例如，蝕刻、沉積、光刻、凈化、計量等等。在圖IB中示意出 的實施方式中，每個工具108/112具有三個裝載端口 106/110。這僅僅是示意性的一個實施 方式，在其它實施方式中，更多或更少的裝載端口可以與每一個相應的工具相關(guān)聯(lián)。在一個實施方式中，輸送機區(qū)段104是模塊化組件，該模塊化組件允許輸送機102 的快速服務和維護。為便于快速服務和維護，每一個輸送機區(qū)段104可以包括帶模塊或帶 卡盤，它們能被快速地移除或更換，以使輸送機102的停工時間最小。每個輸送機區(qū)段104 也可以包括馬達，以連同用于致動馬達或使馬達不致動的計算機控制器一起驅(qū)動帶模塊。 在一個實施方式中，用于輸送機區(qū)段104的計算機控制器可以利用總線系統(tǒng)被聯(lián)網(wǎng)，以提 供動力和在單個的輸送機區(qū)段之間的通信。利用網(wǎng)絡(luò)114可以執(zhí)行向輸送機102通信，該 網(wǎng)絡(luò)114允許計算機118監(jiān)測并控制單個的輸送機區(qū)段104。圖2是根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的處理區(qū)域100的示例性視圖。在該示例性實施 方式中，四個輸送機區(qū)段104構(gòu)成輸送機102。為了延長輸送機102的長度，可以增加更多 的輸送機區(qū)段。允許輸送機區(qū)段轉(zhuǎn)向的指揮器部分(未示出)可以被用于使輸送機轉(zhuǎn)動方 向或者將容器從一個輸送機102移動到另一個。在示意出的示例中，F(xiàn)0UP206被示出在輸 送機102上，該F0UP206能夠在輸送機102內(nèi)沿著卡盤模塊204的帶運動。在一個實施方 式中，驅(qū)動馬達向輸送機區(qū)段104—側(cè)的帶提供運動，并且驅(qū)動軸202被用于將運動傳遞到 輸送機區(qū)段104另一側(cè)的帶。圖3示意出了根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的輸送機區(qū)段104的詳細示視，從而圖示 出了卡盤模塊204的方面?？ūP模塊204被示出附連到導軌的形成輸送機區(qū)段104的部分 上。輸送機區(qū)段104也包括定位傳感器201，該定位傳感器201遍布輸送機102放置，以確 定什么時候F0UP206在定位傳感器201的區(qū)域中行進。定位傳感器201將由此通知不同的 輸送機區(qū)段104F0UP206正沿一方向行進，并且在F0UP204的當前位置下游的輸送機區(qū)段 104可以致動，以基本當前的速度沿輸送機102傳遞F0UP206。在其它實施方式中，取決于 F0UP206是否要停止在本地裝載端口區(qū)域，或者F0UP206是否用于沿輸送機102的較遠的位 置，不同輸送機區(qū)段104的速度可以被調(diào)節(jié)。示意出的卡盤模塊204的具體細節(jié)包括多個惰輪228，所述多個惰輪2 布置在驅(qū) 動滑輪2 和滑輪227之間。惰輪2 對帶205提供支承，用于FOUP在帶205上行進。驅(qū) 動滑輪2 被示出作為連接到直接驅(qū)動馬達220上的從動輪。直接驅(qū)動馬達220由此將使 驅(qū)動滑輪2 轉(zhuǎn)動并且導致帶205圍繞滑輪227旋轉(zhuǎn)，并且也引起惰輪228的運動。在其 它實施方式中，惰輪2 可以不運動并且可以是被動輪，但是當在帶205上輸送的物體的重 量或接觸將重量或接觸傳遞在帶205上時，其可以引起惰輪2 轉(zhuǎn)動。驅(qū)動滑輪2 也被示出連接到驅(qū)動軸202上?？ūP204也與驅(qū)動軸202相對地定 位，以提供基本上平行于示出的卡盤模塊204的帶205的帶205。由此當物體經(jīng)過各個輸送 機區(qū)段104時，兩條平行的帶將允許物體沿著輸送機102輸送。在一個實施方式中，與示出的卡盤模塊204相對的卡盤模塊204(未示出)可以不包括直接驅(qū)動馬達220。在此情況 下，直接驅(qū)動馬達220將起作用以經(jīng)由驅(qū)動軸202驅(qū)動相對的卡盤模塊204。在另一實施方 式中，可以省略驅(qū)動軸202，由此允許獨立驅(qū)動馬達220驅(qū)動輸送機導軌的每一側(cè)的帶205。因此，卡盤模塊204可以被安裝，并且通過從壁或者橫梁上簡單地移除卡盤板204 可以從輸送機橫梁區(qū)段10 上移除卡盤模塊204。當移除卡盤模塊204時，所有的部件連 接到卡盤板M2。這樣，可以快速且迅速地從輸送機的部分——在部分的一側(cè)或兩側(cè)上移除 卡盤模塊204。如所述，對于利用非常少的停機時間維護、修理卡盤模塊204或者安裝新卡 盤模塊204來說必須移除卡盤模塊204。另外，如果正在移除或更換特定卡盤模塊204，可 以在特定區(qū)段正處于維護或者正被快速更換的同時，繼續(xù)操作使用輸送機系統(tǒng)的其余卡盤 模塊。如示意出的，卡盤模塊204(和輸送機區(qū)段104)然后可以被再反復地重復用于輸 送機系統(tǒng)的不同部分，并且當連接到輸送機系統(tǒng)的橫梁或者與輸送機系統(tǒng)的橫梁斷開時， 卡盤模塊中的每一個能夠作為單元以高效方式被安裝及移除。取決于卡盤模塊204的操作 或者配置，卡盤模塊204也可以具有任意數(shù)量的長度。取決于卡盤模塊的應用，一個示例的 長度可以是大約0. 25米，大約0. 5米，大約0. 75米，大約1. 0米，大約1. 5米，大約2米等等。圖3A示意出一示例，其中，設(shè)置輸送機橫梁350a和350b以接收卡盤模塊204，卡 盤模塊204支承輪并且又支承帶205。然后帶205可以順著卡盤模塊204的輪旋轉(zhuǎn)以沿著輸 送機102使F0UP206運動。提供圖到3H以示意出帶205的示例。帶205設(shè)有凸起的導 向部四0，以當在相對側(cè)的兩條帶205轉(zhuǎn)動以沿著輸送機102輸送F0UP206時，維持F0UP206 在輸送機102內(nèi)。圖:3B的示意圖示出具有帶205-1的輪和凸起的導向部四0-1。凸起的 導向部290-1被構(gòu)造在輪A的外緣處。輪A在圖3A中被示出為左輪，并且輪B被示出為右 輪。沿著輸送機的左、右側(cè)，單條環(huán)形帶205環(huán)繞輪A以及環(huán)繞輪B以支承F0UP206。 在圖;3B到3H中示意出的帶205因此都是關(guān)于輪A的，并且FOUP將位于在圖中示意出的 左緣的右向。在圖3C中，帶具有凸起的導向部四0-2，使得凸起部離開邊緣以限定帶205-2。 凸起的導向部290-3被示意出用于圖3D的帶205-3。在圖3E中，凸起的導向部290-4被示 意出用于帶205-4。在圖3F中，凸起的導向部四0-5被示意出用于帶205-5。圖3F具有另 一特征，其中，帶205-5的部分凹入輪A的槽內(nèi)。在圖3G中，兩個槽限定在輪A中，從而使 得帶205-6在輪A內(nèi)可以裝配并且被引導(帶有減少的滑移)以及被支承。圖3H示意出 另一實施方式，其中，在輪A中設(shè)置有多個導向部，并且?guī)?05-7與導向部緊密配合，以維持 帶205-7在輪A上。圖3H的導向部290-7被示出定位在帶205-7的表面上的另一位置處。圖31-1和31-2示意出根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的帶205_8的實施方式。例如，帶 205-8具有用于支承F0UP206的支承表面四8。帶205-8還包括凸起的導向部四0_8。在圖 31-2中示出該實施方式的截面圖。圖3J-1和圖3J-2示意出帶205-9的另一實施方式。帶 205-9包括支承表面四8以及凸起的導向部205-9。在該實施方式中，支承表面298也設(shè)有 槽以將帶205-9分區(qū)。凸起的導向部205-9也被分區(qū)，如圖31的凸起的導向部四0-8。通 過提供分區(qū)的凸起的導向部，可以為帶205增加另外的撓性，這可以延長帶在操作期間的 使用壽命。在一個實施方式中，不連續(xù)的帶也降低了帶上的彎曲力，并且由此改善了驅(qū)動和效率。圖Ι-Ι和H示意出帶205-10的另一實施方式。帶205-10示意出較大的凸起 的導向部四0-10以及支承表面四8的較大的分區(qū)。另外，圖;3Κ-2示意出帶205-10，其具有 與帶表面四8的邊緣間隔開的凸起的導向部四0-10。通過使凸起的導向部四0-10間隔開 一定的程度，可以對凸起的導向部四0-10增加另外的穩(wěn)定性，并且增加在其沿著輸送機系 統(tǒng)的使用期間的壽命。圖4示意出輸送機102和輸送機區(qū)段104的更詳細的視圖。在該示例中，設(shè)置有 裝載端口交接區(qū)段103，其被設(shè)計用于與裝載端口模塊面接。裝載端口(未示出)被設(shè)計成 基本上鄰近輸送機102放置。如將示出的，輸送機橫梁中的槽107限定子區(qū)段10 和子區(qū) 段104b，并且為直接裝載系統(tǒng)的臂提供路徑，以使臂在子區(qū)段之間通過。當裝載端口系統(tǒng)的 臂橫過輸送機區(qū)段l(Ma/104b的槽107時，裝載端口系統(tǒng)的臂允許支承板位于并且嵌套在 輸送機102的橫梁之間。裝載端口系統(tǒng)的支承件由此被降低到在橫梁之間的空間內(nèi)，該橫 梁限定輸送機區(qū)段104。在輸送機102的橫梁之間的支承橫梁板允許FOUP沿著輸送102無阻礙地在帶205 上行進。具體地，當臂被降低通過槽107以允許支承件進入輸送機區(qū)段的橫梁之間的空間 內(nèi)時，在帶205的頂部上行進的和/或位于帶205的頂部上的FOUP將不受到阻礙地通過支 承件的位置，由此允許沿輸送機102行進。關(guān)于槽107的功能在下面將提供較具體的細節(jié)。但是，本發(fā)明的一方面是，輸送機區(qū)段104是模塊化的并且每個輸送機區(qū)段104均 包括它們自己的卡盤模塊204，該卡盤模塊204附連到橫梁的構(gòu)架上，該橫梁限定輸送機區(qū) 段104。雖然為了易于三維示意沒有示出，但是卡盤模塊204定位在輸送機區(qū)段104的兩側(cè)， 如通過指示器示意出的。帶205因此將定位在輸送機區(qū)段104的兩側(cè)上，以提供F0UP206 可以在其上沿輸送機102行進的表面。也示意出了驅(qū)動軸202，該驅(qū)動軸202連接相對的卡盤模塊204的輪，以允許帶 205以基本相同的速度驅(qū)動。通過提供驅(qū)動軸202，也可以為每個輸送機區(qū)段104提供單個 驅(qū)動馬達。由于驅(qū)動馬達可以驅(qū)動驅(qū)動軸202，所以可以提供單個馬達，該驅(qū)動軸202傳遞 相同的旋轉(zhuǎn)到相對的卡盤模塊204上，由此使帶205以基本同步的速度運動。如上所述，在 可選擇的實施方式中，可以在輸送機區(qū)段104的每側(cè)上包括馬達，由此消除了對于驅(qū)動軸 202的需要。在裝載端口交接區(qū)段103中還示意出了連接器107a。在該實施方式中，連接器 107a被構(gòu)造用于使子區(qū)段10 連接到子區(qū)段104b上。連接器107a也提供U形構(gòu)造以允 許裝載端口的臂下落到橫梁的水平面下面，該橫梁限定子區(qū)段10 和子區(qū)段104b。在其它 實施方式中，提供直的連接器107a而在底部處不帶有U形彎曲就足夠了。在另一實施方式 中，可以完全地取消連接器107a，而由子區(qū)段10 和子區(qū)段104b的集成連接件代替。如果 連接器107a是子區(qū)段10 和子區(qū)段104b的集成連接件，槽107可以比當設(shè)置聯(lián)接區(qū)段的 U形連接器時更淺。在另一實施方式中，可以通過實施為較深的子區(qū)段壁連接子區(qū)段10 和104b，由此提供在槽107中的較低的下落而不需要U形連接器。因此，應該理解，連接器 107a僅僅是連接已經(jīng)設(shè)有槽107的部分的一個示例，槽107被構(gòu)造在輸送機102的側(cè)壁中。如在圖5A中所示，輸送機102設(shè)有多個輸送機區(qū)段104。輸送機區(qū)段104沿著輸 送機路徑排列以向F0UP206提供路徑，以從第一點行進到第二點。也可以使F0UP206沿著
10輸送機102行進并且停止在裝載端口 300處。如所示，裝載端口 300是允許正在輸送機102 上行進的F0UPs206直接裝載到工具360上的系統(tǒng)。F0UP206被構(gòu)造用于位于運動板304上，該運動板304由臂306保持。臂306被構(gòu) 造用于在從定位在輸送機路徑下面的點向上朝向裝載端口門302的方向上沿著軌道308行 進。裝載端口門302被構(gòu)造用于當FOUP被支承在運動板304上時與F0UP206的門緊密配 合。運動板304聯(lián)接到或者集成到支承件303上，支承件303也連接到臂306上并且由臂 306支承。臂306可以直接聯(lián)接到支承件303上或者使該支承件集成到運動板304中的部 件上。臂306將沿著軌道308行進，以將支承件303放置在橫梁區(qū)段350a和350b之間。 槽107也設(shè)置在橫梁區(qū)段350a中。具有槽107的輸送機區(qū)段被限定為裝載端口交接區(qū)段 103，如參照圖4所描述的。各個輸送機區(qū)段104也將包括卡盤模塊204，該卡盤橫塊204保 持并且移動帶205，以允許FOUP沿著輸送機102進行輸送和運動。臂306設(shè)有簡單的上下運動并且在從鄰近地板位置向上到裝載端口門302的位置 的豎直方向，臂306被示出連接到裝載端口 300的箱形開啟機構(gòu)/裝載器-工具(BOLTS) 的標準界面301處。通過提供沿著軌道308的簡單上下運動，臂306可以使支承件303和 運動板304下降到輸送機102的橫梁區(qū)段350a和350b之間的區(qū)域內(nèi)。支承件303被構(gòu)造 用于下落在橫梁區(qū)段350之間以將運動板304降低到至少在帶205的水平面下方的位置。 通過將運動板304降低到帶205的水平面下方，可以使用輸送機102輸送不去往裝載端口 300 的 FOUP 206。這樣，僅僅因為裝載端口 300具有處于下降位置的支承件303，所以沿著輸送機 102行進的FOUP將不受阻礙地沿著鄰近裝載端口 300的系統(tǒng)輸送。當支承件303和相關(guān)聯(lián) 的運動板304處于升高的位置(當前示出的)時，沿著輸送機102行進的FOUP可以繼續(xù)行 進而不會受到支承件303的阻礙。因此，可以在支承件303處于在橫梁區(qū)段350a和350b 之間的下降位置時或者在支承件303處于升高位置從而臂306將支承件303和運動板304 放置在升高位置(接近裝載端口門302或者在裝載端口門302處)時，沿著輸送機102輸 送 FOUP。圖5B示意出了放置在下降位置的臂306，在該下降位置，運動板304在輸送機102 內(nèi)位于帶205的水平面下方。圖5C示意出通過支承件303和臂306放置在下降位置的示 例運動板304和運動銷30 的較詳細的圖。如所示，運動銷30 放置在恰好在帶的水平 面下方的位置處。帶位置370由此被示出與運動銷位置372分開最小的分離距離374。該 最小的分離距離374使得帶205或者帶205上的物料的任何可能運動不會阻礙在帶上行 進的F0UP。在一個實施方式中，理想的是，與放置在運動銷位置372上的運動銷30 的接 觸不會阻礙行進的F0UP。也在圖5C中示出臂306通過槽107放置時的位置。在美國專利 No. 6，435，330中示出了運動銷的多個示例，該美國專利通過參引結(jié)合在此處。在一個可選擇的實施方式中，可以取消帶，并且作為替代可以使用滾子。滾子的示 例在圖IA中示出。由此，雖然圖IA示出了現(xiàn)有技術(shù)的構(gòu)造，S卩，該構(gòu)造不允許支承件通過 單臂306進行嵌套，但是圖IA的滾子(例如，輸送輪)可以被用于替代帶結(jié)構(gòu)。如果使用 滾子，由滾子提供的輸送水平面應該在運動板304的水平面上方。因此，即使帶被更換以形 成第二實施方式，此處限定的所有實施方式也工作良好。在美國專利No. 6，435，330中提供了另外的滾子輸送機示例(例如，具有輸送輪)，該美國專利通過參引結(jié)合在此處。另外，在 美國專利申請No. 11/484，218 (ASTGP135)中也示出了并且使用了滾子，該美國專利申請通 過參引結(jié)合在此處，作為帶實施方式的替代。因此，根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，通過在單個軌道308上行進的單臂306使運動 板304下降，該單個軌道308是裝載端口 300的一部分。如進一步示意出的，單臂306在支 承件303的一個點處連接到支承件303上。臂306與支承件303的連接使得當運動板304 接收F0UP206時并且使F0UP206在裝載端口門302和圖5C中示意出的下部位置之間降低 或升高時，充足的重量可以以穩(wěn)定并且精確的運動降低和升高。在一個實施方式中，軌道308可以實施為單個滑動機構(gòu)。例如，該單個滑動機構(gòu)可 以包括單直線式支座，以當臂306上下滑動時對臂306提供平滑的支承。在一個實施方式 中，該單直線式支座使用利用了球元件的旋轉(zhuǎn)運動的線性運動機構(gòu)。在一些實施方式中，支座可以是球支座。球支座的目的是減少旋轉(zhuǎn)摩擦以及支承 徑向和軸向負荷。通地使用至少兩個滾道包含球并且通過球傳遞負荷可以實現(xiàn)該目的。通 常，滾道中的一個被保持固定。當支座的滾道中的一個旋轉(zhuǎn)時，其導致球也旋轉(zhuǎn)。由于球滾 動，所以它們具有比兩個平坦表面在彼此上轉(zhuǎn)動的情況低很多的摩擦系數(shù)。在一個實施方式中，出于許多原因，提供單臂非常有益，并且克服了許多問題。例 如，通過在裝載端口中僅提供一個槽及臂，可以減少運動部件的數(shù)量。也可以降低在干凈的 環(huán)境中微粒產(chǎn)生的潛在可以能性。此外，可以減少在輸送機區(qū)段107中的槽107的數(shù)量。通 過僅提供一個槽107，可以進行較簡單的設(shè)計，由此允許支承件303以被嵌套的定向比較簡 單地下降。因此，設(shè)計簡單、易于集成以及無塵空間的相容性克服了許多比較復雜的裝載端 口設(shè)計所面臨的問題。在圖5D中示意出的上部位置，被升高并且處于鄰近裝載端口門302的位置的FOUP 206不會碰撞在帶205上沿輸送機102行進的F0UP206，。如示意出的，橫梁區(qū)段350b和橫 梁區(qū)段350a被構(gòu)造用于接收卡盤模塊204，使得當一個FOUP 206處于上部位置時，帶205 可以使F0UP206，沿輸送機102運動。圖5D也示意出了臂306和支承件303可以具有水平運動392以及豎直運動391， 該豎直運動391使臂306運動通過軌道308。水平運動392可以被用于將FOUP放置在更鄰 近裝載端口門以允許交接。在其它實施方式中，可以只設(shè)置豎直運動391。圖6較詳細地示意出根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的裝載端口交接區(qū)段103。如所示， 槽107限定在輸送機區(qū)段10 和104b內(nèi)。在裝載端口交接區(qū)段103內(nèi)，提供第一驅(qū)動軸 202-1和第二驅(qū)動軸202-2以允許在橫梁區(qū)段350a和橫梁區(qū)段350b所在的兩側(cè)上的帶205 旋轉(zhuǎn)。由此，帶205以基本彼此平行的定向設(shè)置在每個橫梁區(qū)段上，以允許帶205在制造設(shè) 備的不同位置之間輸送FOUP 206。在一個實施方式中，馬達220被構(gòu)造用于驅(qū)動裝載端口 交接區(qū)段103。馬達220被構(gòu)造在輸送機102的橫梁區(qū)段350b側(cè)上。馬達220由此使帶沿 著帶路徑205’轉(zhuǎn)動以使輪227運動。輪227的旋轉(zhuǎn)則使驅(qū)動軸202-2沿著與A側(cè)上的帶 路徑205’相同的方向轉(zhuǎn)動。驅(qū)動軸202-2又將使B側(cè)上的輪227轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動輪227由此 將使帶205在B側(cè)的帶路徑205’上轉(zhuǎn)動。另外，A側(cè)的馬達220也將導致驅(qū)動軸202-1轉(zhuǎn) 動以使在橫梁區(qū)段350a側(cè)上的輪227，運動。在另一實施方式中，參照圖6，可以將馬達220連接到具有驅(qū)動軸202-2的端部上。如果這樣連接，則可以取消驅(qū)動軸202-1。通過這樣做，輪227’將不被驅(qū)動，但是可以選擇 驅(qū)動輪227’和輪230。也示出了在子區(qū)段104b上的被動輪320，其與輪227’對齊。在一個實施方式中， 輪320是被動輪(例如，不被驅(qū)動)。在其它實施方式中，如果需要，輪320可以被驅(qū)動或 者連接到帶上。例如，帶可以恰好圍繞兩個輪320設(shè)置，或者圍繞兩個輪320和327設(shè)置， 以提供由三個輪限定的帶路徑。在其它實施方式中，在輪320和327’中的每一個上均不設(shè) 置帶，相反地，所述輪設(shè)有允許FOUP在其上行進的簡單表面。當在子區(qū)段104b中不設(shè)置帶 時，輪的表面可以是與由帶205提供的表面相類似的橡膠處理的表面。在該實施方式中，軌道308被示出鄰近并且基本上對準槽107，以允許臂306在槽 107內(nèi)滑動并且在兩個橫梁區(qū)段350a和350b之間降低運動板304和支承件303。如上參照 圖5A到5D所示，下降位置允許沿著輸送機102行進的FOUP不受運動板304或運動銷30 阻礙地行進。仍參照圖6，注意，在該實施方式中，裝載端口交接區(qū)段103不同于其中沒有設(shè)置 裝載端口交接的輸送機區(qū)段104。當在特定的輸送機區(qū)段104中沒有設(shè)置裝載端口交接時， 槽107不限定在輸送機區(qū)段內(nèi)。如果輸送機區(qū)段不是裝載端口交接區(qū)接段103，則輸送機在 輸送機區(qū)段104的每側(cè)上設(shè)有卡盤模塊以及單個驅(qū)動軸202。單個驅(qū)動軸202被構(gòu)造用于 驅(qū)動不包括馬達的相對側(cè)。但是，如上所述，可以提供沒有驅(qū)動軸202與輸送機區(qū)段104集 成的系統(tǒng)，并且為每個卡盤模塊204設(shè)置單獨的馬達以驅(qū)動相應的帶205。如果使用單獨的 馬達并且不使用驅(qū)動軸202，則能夠通過適當?shù)某绦蚴柜R達同步，該程序連接輸送機帶的電 子裝置，以監(jiān)測速度、致動和相關(guān)的運動。在該比較具體的圖示中，卡盤模塊204中的每一個也均設(shè)有蓋204’。蓋204’用于 封裝各個輪，所述各個輪支承在每個卡盤模塊204中的帶205。而且，注意卡盤模塊204 (如 在圖3中較詳細示出的)可以沿著路徑包括或多或少的惰輪228，所述惰輪2 支承帶205。 惰輪的數(shù)量將取決于具體的構(gòu)造、預期的FOUP的等待(裝載以及卸載晶片)、或者被輸送的 物料的類型。雖然參照半導體晶片描述了特定的示例，但是，應該理解，物料的類型可以改變并 且除半導體晶片之外的物料可以沿著輸送機102被輸送。輸送機102由此將提供輸送機系 統(tǒng)，用于以下述方式移動可以安置在帶205之上的物料，S卩，在制造設(shè)備內(nèi)將所述物料從一 位置移動到另一位置。如上所述，在一些實施方式中，帶205可以包括凸起的導向部，該凸 起的導向部將保證在帶205的頂部上放置的物料將支承以及維持在帶中的每一條的凸起 的導向部之間。在其它實施方式中，可以設(shè)想帶205的表面可以采用各種構(gòu)造，并且可以具 有任一連續(xù)的表面、肋形面、不連續(xù)的表面等等。另外，帶205的凸起的導向部也可以是任 一連續(xù)的、不連續(xù)的、帶槽的、間斷的槽間隙、柱、壁(連續(xù)的或者分開的)、胎面或者任何其 它構(gòu)造，只要凸起的導向部用于維持在帶205之間排列的物體(例如，容器)。圖7A示意出根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的多裝載端口系統(tǒng)400，其具有四個裝載端 口單元300’裝載端口 300’類似于如在圖5A中示意出的單個裝載端口 300，除了裝載端口 單元300’的上部部分與外殼402集成之外。外殼402允許裝載端口單元300’的比較集成 的控制，以在放置高產(chǎn)量工具的某一位置處理更多的物料。外殼402被示出具有多個裝載 端口開口 406。雖然未示出，但裝載端口開口 406將包括裝載端口門，該裝載端口門當前處
13于外殼402內(nèi)的下部位置。外殼402也將包括端部效應器，用于傳送物料(例如，往返于裝載到裝載端口單元 300’中的每一個上的容器的半導體晶片)。在該示例中，外殼402也將包括過濾器403，其 置于外殼402的上部部分上。在一個實施方式中，過濾器403可以是HEPA(高效空氣)過 濾器，其保證注入到外殼402的空氣流是干凈的，并且去除了微粒。上述過濾器403是容納 多個扇風機410的殼體404。扇風機410通過在殼體404上簡化的圓圈示出，表示空氣流入 殼體404、通過過濾器403以及進入外殼402的路徑。外殼402也包括接觸板開口 408，該接觸板開口 408被示出不具有門。所述門通 常在操作期間附連到接觸板開口 408上，但其提供了用于向多裝載端口系統(tǒng)400提供維護 的路線。在該實施中，輸送機102包括多個輸送機區(qū)段104。位于裝載端口單元300’中的 每一個的前面的輸送機區(qū)段104也是裝載端口交接區(qū)段103。通過被構(gòu)造為裝載端口區(qū)段 103，裝載端口區(qū)段中的每一個也將包括接近裝載端口單元300’中的每一個的槽107。如 上所述，當臂306向下滑動通過軌道308并且進入槽107內(nèi)時，槽107提供用于臂306的通 道。圖7B示意出在下部位置的裝載端口單元308，所述裝載端口單元308具有在輸送 機區(qū)段104的橫梁之間的嵌套位置的支承件303和運動板304。當裝載端口單元300’具有 在下部位置的支承件和運動板304時，運動板304不會干涉由輸送機102的帶205提供的 路徑。在一個實施方式中，理想的是，運動板304和運動銷30 不阻礙在帶205上滾動的 容器。在該示例中，多裝載端口系統(tǒng)400包括四個裝載端口單元300’，但是，取決于通過 由多裝載端口系統(tǒng)400服務的來往于工具的裝載和卸載容器(例如，半導體晶片)的需要， 更多或更少的裝載端口單元可以成群地作為多裝載端口系統(tǒng)400的部分。另外，應該注意， 裝載端口單元300 ’中的每一個能夠單獨地操作，不需要都一起向上運動或一起向下運動。 在另一實施方式中，它們能夠一起上下運動?？傮w上，裝載端口單元300，中的每一個能夠獨 立地操作，以允許支承件303和運動板304在上下位置彼此獨立地運動，以將容器放置在上 部位置，以進給半導體晶片通過外殼402的裝載端口開口 406進入容器或者離開容器。更 進一步地，應該注意，裝載端口單元300’也可以被用于直接地將容器從輸送機102裝載到 存放設(shè)備內(nèi)。存放設(shè)備可以包括專門的外殼，該外殼沿著制造設(shè)備將容器存放在不同的位 置，以在其它制造設(shè)備繁忙的同時允許物料的臨時排隊等候。這樣，具有從輸送機102直接 裝載能力的裝載端口單元300’可以靈活地與不同類型的外殼集成，所述外殼提供裝載端口 能力或完成容器到存放裝置系統(tǒng)內(nèi)的傳遞。圖8A示意出根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的裝載端口 300的截面圖。裝載端口 300 集成在輸送機102的旁邊。在該示例中，輸送機102包括橫梁區(qū)段350a和350b，橫梁區(qū)段 350a和350b保持卡盤模塊204。卡盤204又保持帶205，帶205允許FOUP 206沿著輸送機 102輸送。當臂306處于下部位置時，支承件303和運動板304放置在輸送FOUP 206的平 面的下方。臂306以虛線示出，該虛線示意出支承件303已經(jīng)下落在帶205的水平面下方。 如上所示，圖5C示出槽107，當臂306通過軌道308時，臂306通過槽107下落。一旦正確 的FOUP 206到達裝載端口 300，計算機系統(tǒng)和使具體的制造設(shè)備運行的程序?qū)⒅甘狙b載端 口 300升高臂306。通過升高臂306，F(xiàn)OUP 206被允許升高離開帶205到達鄰近裝載端口
圖8B示意出將FOUP 206升高到鄰近裝載端口門302的上部位置的支承件303。 裝載端口門302也包括彈鍵鎖506，該彈鍵鎖506被構(gòu)造用于和容器門510上的鎖孔緊密 配合。一旦處于上部位置，臂306被構(gòu)造用于朝向彈鍵鎖506水平地移動，如在圖8C中示 意出的。在該點，在端口門502內(nèi)的齒輪或其它機構(gòu)轉(zhuǎn)動彈鍵鎖506，并且隨后朝向裝載端 口門302拉動容器門510。一旦利用延伸部504和其它機構(gòu)使容器門510連接到裝載端口 門302上，裝載端口門302水平地移動離開F0UP206，并且隨后向下以跳過FOUP 206內(nèi)的開圖8D示意出機器人520，其能夠移入及移出FOUP 206以在F0UP206和處理工具 530之間遞送或者移除晶片。如在圖8B到8D中示意出的，在FOUP 206在與裝載端口面接 /連接的同時，另一 FOUP 206可以沿著輸送機102行進。因此，注意，臂306提供從輸送機 102到鄰近裝載端口的開口的位置的上下豎直運動。當在上部位置時，F(xiàn)OUP 206可以在輸 送機102上無阻礙地繼續(xù)行進。當在下部位置時，支承件和運動板304可以置于在輸送機 帶的平面下方的嵌套位置，從而如果某些特定的FOUP 206不去往特定的裝載端口 300則允 許FOUP 206行進。如前所討論的，輸送機可以包括集成的網(wǎng)絡(luò)通信，這些通信允許單個的輸送機區(qū) 段經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)由計算機系統(tǒng)控制。該計算機系統(tǒng)也可以執(zhí)行允許單個的FOUP被輸送及停止 在裝載端口、存放器、或者同時在輸送機上的軟件。也設(shè)想可以具有帶運動板的0ΗΤ，以及向下降低運動板(帶有延伸部)到輸送機 區(qū)段103。在該實施方式中，對于OHT可以在沿著輸送機路徑的位置從輸送機上拾取容器。 OHT隨后可以將容器下落到輸送機102的另一位置上或者在制造設(shè)備中的另一處理部。OHT 也能將容器提升到OHT軌道上、緩沖或者存放容器，并且然后將容器遞送到OHT軌道上的另 一位置或者在輸送機102上的另一位置。容器隨后可以被移動到理想的位置，以便通過裝 載端口或者擊打裝置進行傳遞。雖然容器可以指承載半導體晶片的F0UP，但是，其它襯底也 可以在輸送機上輸送并通過裝載端口提升。由此，代替容器，設(shè)想為足夠平坦以在帶、滾子 或者滑座上行進的其它物料也可以被輸送。另外，雖然具體的實施方式限定“裝載端口”，但 是，應該理解，也可以使用從輸送機直接裝載的其它系統(tǒng)?？梢岳脝伪蹚妮斔蜋C裝載的其 它系統(tǒng)包括(作為示例而不具有限定性)儲料器、裝貨設(shè)備、處理工具、貯藏庫、置頂輸送車 輛等等。通過實施為單臂306可以提供許多優(yōu)點。這些優(yōu)點也克服了許多問題。單臂306 例如允許系統(tǒng)在裝載端口的前面僅提供一個軌道。這在需要非常干凈的環(huán)境要求的位置削 減了移動部件的數(shù)量。由此，減少了微粒產(chǎn)生。此外，可以減少在輸送機區(qū)段107中的槽 107的數(shù)量。通過僅提供一個槽107，可以實現(xiàn)比較簡單的設(shè)計，由此允許支承件303以嵌 套定向進行較簡單的降低。因此，設(shè)計簡單、易于集成以及無塵空間的相容性克服了許多比 較復雜的裝載端口和輸送機設(shè)計所面臨的問題。本發(fā)明可以利用其它計算機系統(tǒng)配置進行實踐，這些計算機系統(tǒng)配置包括計算裝 置、手持裝置、微處理器系統(tǒng)、微處理機控制的或者可以編程的電子消費品、小型計算機、大 型計算機等。本發(fā)明也可以在由通過網(wǎng)絡(luò)聯(lián)接的遠程處理裝置執(zhí)行任務的分布計算環(huán)境中 進行實踐。例如，也可以使用在線游戲系統(tǒng)和軟件。
盡管介紹了上述的實施方式，但是，應該理解，本發(fā)明可以采用包括在計算機系統(tǒng) 中存儲的數(shù)據(jù)的各種計算機實現(xiàn)的操作。這些操作是那些需要物理量的物理控制的操作。 通常，但不是必須，這些量采用能夠被存儲、傳遞、結(jié)合、比較以及其它操作的電子或磁信號 的形式。此外，執(zhí)行的操作通常明確地指，例如，生產(chǎn)、識別、判定或者比較。此處描述的形成本發(fā)明一部分的操作中的任意一些是常用的機械操作。本發(fā)明也 涉及用于執(zhí)行這些操作的裝置或設(shè)備。所述設(shè)備可以被專門地構(gòu)造用于所需要的目的，例 如上述討論的承載器網(wǎng)絡(luò)，或者其可以是通用計算機，該通用計算機通過在計算機中存儲 的計算機程序被選擇性地致動或者構(gòu)造。特別是，各種通用機械可以和依據(jù)此處教導寫出 的計算機程序一起使用，或者其可以比較便于構(gòu)造更專業(yè)的設(shè)備以執(zhí)行所需要的操作。本發(fā)明也可以體現(xiàn)為在計算機可讀介質(zhì)上的計算機可讀代碼。計算機可讀介質(zhì)可 以是可以存儲數(shù)據(jù)的任意數(shù)據(jù)存儲裝置，所述數(shù)據(jù)之后可以通過計算機系統(tǒng)讀取。計算機 可讀介質(zhì)的示例包括硬盤驅(qū)動器、網(wǎng)絡(luò)附加存儲器(NAQ、只讀存儲器、隨機存取存儲器、 快閃記憶存儲器、⑶-ROM、⑶-R、⑶-RW、DVD、磁帶以及其它光學及非光學數(shù)據(jù)存儲裝置。計 算機可讀介質(zhì)也可以被分布在聯(lián)接計算機系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)上，從而使得計算機可讀代碼可以以 分布的方式被存儲及執(zhí)行。盡管已經(jīng)根據(jù)幾個優(yōu)選的實施方式描述了本發(fā)明，但是將理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員 在閱讀前述的說明書和研究附圖后將會認識到各種變化、增加、改變及它們的等同物。由 此，意在本發(fā)明包括如落入本發(fā)明的真正精神和范圍之內(nèi)一樣的所有這些變化、增加、改變 及等同物。
權(quán)利要求
1.一種直接裝載工具，包括(a)輸送機，所述輸送機沿一方向定向，所述輸送機接近第一位置集成，所述輸送機包括(i)第一橫梁和第二橫梁，所述第一橫梁和所述第二橫梁中的每一個支承輪，所述輪分 別使第一帶和第二帶運動，其中，所述第一橫梁和所述第二橫梁以平行定向間隔開，所述第 一橫梁包括單槽；(b)裝載端口，所述裝載端口鄰近所述輸送機的所述第一橫梁定向，所述裝載端口包括(i)裝載端口開口，所述裝載端口開口接近第二位置限定；( )軌道，所述軌道在所述輸送機的所述第一位置和所述第二位置之間沿豎直方向限定；(iii)單臂，所述單臂被構(gòu)造用于在所述第一位置和所述第二位置之間沿所述軌道運 動，從而所述單臂被構(gòu)造用于當所述單臂定位在所述第一位置時運動通過所述單槽；以及(iv)支承件，所述支承件連接到所述單臂上，所述支承件沿所述豎直方向運動，以當所 述單臂在所述第一位置處于所述單槽中時將所述支承件放置在所述第一橫梁和所述第二 橫梁之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，所述第一位置鄰近地板，所述第二位置遠離 所述地板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，所述第一帶和所述第二帶位于帶路徑高度 處，當所述支承件被放置在所述第一橫梁和所述第二橫梁之間時，所述支承件位于所述帶 路徑高度的下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，容器由所述輸送機的所述第一帶和所述第二帶支承。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，所述支承件包括運動板，當所述運動板在所 述第一位置時，所述運動板被放置在所述第一帶和所述第二帶的水平面的下方。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的直接裝載工具，其中，所述支承件的所述運動板聯(lián)接到所述容器 的底部上，所述單臂被構(gòu)造用于提升所述容器離開所述第一帶和所述第二帶，并且將所述 容器接近所述第二位置定位。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的直接裝載工具，其中，所述單臂具有水平連接件，該水平連接件用 于當所述單臂在所述第二位置時使所述單臂水平地運動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，所述第一橫梁和所述第二橫梁限定輸送機 區(qū)段，多個輸送機區(qū)段被聯(lián)接以限定所述輸送機。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的直接裝載工具，其中，所述輸送機區(qū)段中的某些包括所述單槽。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，所述第一帶和所述第二帶是環(huán)形帶。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的直接裝載工具，其中，所述第一帶和所述第二帶中的每一個均 包括支承表面和凸起的導向部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的直接裝載工具，其中，所述支承表面是連續(xù)的、平面的、肋形的、 卵石花紋的或者不連續(xù)的中的一個。
13.根據(jù)權(quán)利要求11的直接裝載工具，其中，所述凸起的導向件是連續(xù)的、平面的、肋形的、卵石花紋的或者不連續(xù)的之一。
14.根據(jù)權(quán)利要求8的直接裝載工具，其中，使所述第一帶和所述第二帶中的每一個運 動的所述輪集成在卡盤模塊上。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的直接裝載工具，其中，每一個輸送機區(qū)段包括所述卡盤模塊中 的至少兩個。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的直接裝載工具，其中，在每一個輸送機區(qū)段上的至少一個卡盤 模塊包括馬達。
17.
18.根據(jù)權(quán)利要求16的直接裝載工具，還包括在每一個輸送機區(qū)段中的至少一個驅(qū)動軸。
19.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，所述載裝端口與半導體處理工具交接。
20.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，處于所述第一橫梁和所述第二橫梁之間的 所述支承件使所述支承件以嵌套定向的方式放置在所述輸送機的帶之間，所述嵌套定向提 供用于使容器無阻礙地在所述帶上行進的間隙。
21.根據(jù)權(quán)利要求1的直接裝載工具，其中，所述軌道實施為單直線式支座。
22.—種直接裝載工具，包括(a)輸送機，所述輸送機沿一方向定向，所述輸送機接近第一位置集成，所述輸送機包括(i)第一橫梁和第二橫梁，所述第一橫梁和所述第二橫梁中的每一個支承輪，所述輪分 別使輸送輪運動，其中，所述第一橫梁和所述第二橫梁以平行定向間隔開，所述第一橫梁包 括單槽；(b)裝載端口，所述裝載端口鄰近所述輸送機的所述第一橫梁定向，所述裝載端口包括(i)裝載端口開口，所述裝載端口開口接近第二位置限定；( )軌道，所述軌道在所述輸送機的所述第一位置和所述第二位置之間沿豎直方向限定；(iii)單臂，所述單臂被構(gòu)造用于在所述第一位置和所述第二位置之間沿所述軌道運 動，從而所述單臂被構(gòu)造用于當所述單臂定位在所述第一位置時運動通過所述單槽；以及(iv)支承件，所述支承件連接到所述單臂上，所述支承件沿所述豎直方向運動，以當所 述單臂在所述第一位置處于所述單槽中時將所述支承件放置在所述第一橫梁和所述第二 橫梁之間。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的直接裝載工具，其中，處于所述第一橫梁和所述第二橫梁之間 的所述支承件將所述支承件以嵌套定向的方式放置在所述輸送機的所述輸送輪之間，所述 嵌套定向提供用于使容器無阻礙地在所述輸送輪上行進的間隙。
24.根據(jù)權(quán)利要求22的直接裝載工具，其中，所述軌道實施為單直線式支座。
全文摘要
一種直接裝載系統(tǒng)，其包括裝載端口，用于在鄰近輸送機的下部位置和直到接近裝載端口門的上部位置之間使容器沿豎直取向運動。裝載端口包括單臂，該單臂以豎直構(gòu)型使支承件運動，從而使單臂運動允許支承件在輸送機的兩個橫梁之間的嵌套位置中下降到輸送機。輸送機包括在橫梁中的單槽，該單槽允許單臂通過。單臂從嵌套位置升高離開輸送機并且到裝載端口門。單臂以及與輸送機的槽的交接可以通過其它工具來使用，該工具為例如存放器或者需要直接接觸輸送機的工具，該輸送機用于輸送容器(例如，晶片等等)到制造設(shè)備的位置/工具。
文檔編號H01L21/677GK102067300SQ200980123167
公開日2011年5月18日 申請日期2009年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月20日
發(fā)明者伊藤浩士, 安東尼·C·伯諾拉, 弗魯芒·I·杰亞諾夫, 約瑟夫·約翰·法圖拉三世, 羅杰·G·海因 申請人:村田自動化機械有限公司