本發(fā)明涉及印刷電路板檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種飛針測試裝置。

背景技術(shù)：

近年，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子產(chǎn)品的使用范圍越來越廣泛，使用數(shù)量也越來越大，所以印刷電路板也越來越重要，因此，對印刷電路板監(jiān)測設(shè)備的要求越來越高。

飛針測試是目前電氣測試一些主要問題的最新解決辦法。它用探針來取代針床，使用多個由馬達驅(qū)動的、能夠快速移動的電氣探針同器件的引腳進行接觸并進行電氣測量。

多飛針測試裝備因其高效、快捷的測試速度得到大面積應(yīng)用，但由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜，多采用模組結(jié)構(gòu)方式，但由于模組的機械精度偏低，不能進行高精度基板測試。

因此，亟待設(shè)計一種飛針測試裝置，提高飛針測試的精度，提高飛針測試的效率，增強集成電路的制造能力。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對上述技術(shù)問題，提供一種飛針測試裝置，其結(jié)構(gòu)合理，將多個x向單元平行設(shè)置在平行的可調(diào)節(jié)的導(dǎo)軌上，這樣提高了x向單元的安裝定位精度，有利于提高固定在其上的測針負載單元的定位精度，解決空間范圍內(nèi)多飛針測試結(jié)構(gòu)的三維布局問題，滿足了飛針高速運動的性能要求。

本發(fā)明的技術(shù)方案

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的一種飛針測試裝置，包括支撐底座，x向單元，y向單元及測針負載單元；x向單元及y向單元設(shè)置在支撐底座上，測針負載單元設(shè)置在y向單元上。

所述支撐底座包括后支撐底座及前支撐底座，其平行固定在飛針測試平臺上；后軌道副設(shè)置在后支撐底座，前軌道副設(shè)置在前支撐底座上；y向單元上的支撐板設(shè)置在支撐底座上的軌道副上。

平行的后支撐底座及前支撐底座，可以方便調(diào)節(jié)支撐底座上的軌道副的平行度，提高固定在其上的x向單元的安裝、定位精度；由于y向單元設(shè)置在x向單元上，測針負載單元設(shè)置在y向單元上，這種設(shè)計方案有利于提高側(cè)針負載單元的定位精度。

進一步地，所述x向單元與y向單元的數(shù)量相等。x向單元與y向單元的可以為兩個或更多。

進一步地，所述x向單元及y向單元的數(shù)量為兩個；x向單元包括第一測針x向絲杠、第一測針x向驅(qū)動電機及第一測針y向連接板，第二測針x向絲杠、第二測針x向驅(qū)動電機及第二測針y向連接板；y向單元包括第一測針y向絲杠、第一測針y向?qū)к?、第一測針y向驅(qū)動電機及第一測針y向支撐板，第二測針y向絲杠、第二測針y向?qū)к墶⒌诙y針y向驅(qū)動電機及第二測針y向支撐板；第一測針y向連接板與y向單元上的第一測針y向支撐板連接，第二測針y向連接板與y向單元上的第二測針y向支撐板連接。

測針負載單元固定在第一測針y向支撐板上，第一測針y向支撐板固定在第一測針y向絲杠上，第一測針y向絲杠的端部連接有第一測針y向驅(qū)動電機，在第一測針y向驅(qū)動電機驅(qū)動，第一測針y向支撐板沿第一測針y向?qū)к壡昂笠苿樱煌?，測針負載單元固定在第二測針y向支撐板上，第二測針y向支撐板固定在第二測針y向絲杠上，第二測針y向絲杠的端部連接有第二測針y向驅(qū)動電機，在第二測針y向驅(qū)動電機驅(qū)動，第二測針y向支撐板沿第二測針y向?qū)к壡昂笠苿印?/p>

進一步地，所述測針負載單元包括第一測針負載單元及第二測針負載單元。

進一步地，所述x向單元設(shè)置在后支撐底座上，后支撐底座上的后軌道副與第一測針x向絲杠及第二測針x向絲杠平行。

本申請還公開了一種飛針測試裝置的調(diào)整方法，其具體包括以下步驟：

s1，安裝后支撐底座、前支撐底座、后導(dǎo)軌副及前導(dǎo)軌副，后導(dǎo)軌副及前導(dǎo)軌副形成x向移動導(dǎo)軌；

s2，調(diào)整后支撐底座、前支撐底座的水平度，使其上的后導(dǎo)軌副及前導(dǎo)軌副在同一平面上；

s3，調(diào)整后導(dǎo)軌副及前導(dǎo)軌副的平行度；

s4，安裝x向單元及y向單元，并將測針負載單元安裝在測針支撐板上；

s5，啟動測針驅(qū)動電機，根據(jù)測試要求，調(diào)整測針負載單元上飛針的位置。

進一步地，所述后導(dǎo)軌副與前導(dǎo)軌副之間的平面度不大于0.0015mm。

進一步地，所述導(dǎo)軌副與前導(dǎo)軌副之間的平行度不大于0.0015mm。

本發(fā)明有益效果：

本發(fā)明提供的一種飛針測試裝置，其結(jié)構(gòu)合理，將多個x向單元平行設(shè)置在平行的可調(diào)節(jié)的導(dǎo)軌上，這樣提高了x向單元的安裝定位精度，有利于提高固定在其上的測針負載單元的定位精度，解決空間范圍內(nèi)多飛針測試結(jié)構(gòu)的三維布局問題，滿足了飛針高速運動的性能要求。

附圖說明

通過結(jié)合以下附圖所作的詳細描述，本發(fā)明的上述優(yōu)點將變得更清楚和更容易理解，這些附圖只是示意性的，并不限制本發(fā)明，其中：

圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1的仰視圖。

附圖中，各標號所代表的部件如下：

1.后支撐底座；2.前支撐底座；3.后軌道副；4.前軌道副；5.第一測針x向絲杠；6.第二測針x向絲杠；7.第一測針y向連接板；8.第二測針y向連接板；9.第一測針x向驅(qū)動電機；10.第二測針x向驅(qū)動電機；11.第一測針y向支撐板；12.第一測針y向?qū)к墸?3.第一測針y向絲杠；14.第一測針負載單元；15.第一測針y向驅(qū)動電機；16.第二測針y向支撐板；17.第二測針y向?qū)к墸?8.第二測針y向絲杠；19.第二測針負載單元；20.第二測針y向驅(qū)動電機。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例和附圖，對本發(fā)明所述的一種飛針測試裝置進行詳細說明。

在此記載的實施例為本發(fā)明的特定的具體實施方式，用于說明本發(fā)明的構(gòu)思，均是解釋性和示例性的，不應(yīng)解釋為對本發(fā)明實施方式及本發(fā)明范圍的限制。除在此記載的實施例外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還能夠基于本申請權(quán)利要求書和說明書所公開的內(nèi)容采用顯而易見的其它技術(shù)方案，這些技術(shù)方案包括采用對在此記載的實施例的做出任何顯而易見的替換和修改的技術(shù)方案。

本說明書的附圖為示意圖，輔助說明本發(fā)明的構(gòu)思，示意性地表示各部分的形狀及其相互關(guān)系。請注意，為了便于清楚地表現(xiàn)出本發(fā)明實施例的各部件的結(jié)構(gòu)，相同的參考標記用于表示相同的部分。

一種飛針測試裝置，包括支撐底座，x向單元，y向單元及測針負載單元；x向單元及y向單元設(shè)置在支撐底座上，測針負載單元設(shè)置在y向單元上；其特征在于，支撐底座包括后支撐底座1及前支撐底座2，其平行固定在飛針測試平臺上；后軌道副3設(shè)置在后支撐底座1，前軌道副4設(shè)置在前支撐底座2上；y向單元上的支撐板設(shè)置在支撐底座上的軌道副上。

本申請摒棄了傳統(tǒng)的模組結(jié)構(gòu)方式，采用分體式結(jié)構(gòu)，后支撐底座1及前支撐底座2的平面度可調(diào)節(jié)，并且后軌道副3與前軌道副4之間的平行度可靈活調(diào)節(jié)，由于y向單元設(shè)置在x向單元上，測針負載單元設(shè)置在y向單元上，這種設(shè)計方案有利于提高側(cè)針負載單元的定位精度。

所述x向單元與y向單元的數(shù)量相等，所述x向單元及y向單元的數(shù)量為兩個或更多。

所述x向單元及y向單元的數(shù)量為兩個；x向單元包括第一測針x向絲杠5、第一測針x向驅(qū)動電機9及第一測針y向連接板7，第二測針x向絲杠6、第二測針x向驅(qū)動電機10及第二測針y向連接板8；y向單元包括第一測針y向絲杠13、第一測針y向?qū)к?2、第一測針y向驅(qū)動電機15及第一測針y向支撐板11，第二測針y向絲杠18、第二測針y向?qū)к?7、第二測針y向驅(qū)動電機20及第二測針y向支撐板16；第一測針y向連接板7與y向單元上的第一測針y向支撐板11連接，第二測針y向連接板8與y向單元上的第二測針y向支撐板16連接。

所述測針負載單元包括第一測針負載單元14及第二測針負載單元19。第一測針負載單元14固定在第一測針y向支撐板11上，第一測針y向支撐板11固定在第一測針y向絲杠13上，第一測針y向絲杠13的端部連接有第一測針y向驅(qū)動電機15，在第一測針y向驅(qū)動電機15驅(qū)動，第一測針y向支撐板11沿第一測針y向?qū)к?2前后移動；第二測針負載單元19固定在第二測針y向支撐板16上，第二測針y向支撐板16固定在第二測針y向絲杠18上，第二測針y向絲杠18的端部連接有第二測針y向驅(qū)動電機20，在第二測針y向驅(qū)動電機20驅(qū)動，第二測針y向支撐板16沿第二測針y向?qū)к?7前后移動。

所述x向單元設(shè)置在后支撐底座1上，后支撐底座1上的后軌道副3與第一測針x向絲杠5及第二測針x向絲杠6平行。

在圖1所示的實施例中，后導(dǎo)軌副3和前導(dǎo)軌副4分別安裝在后支撐底座1及前支撐底座2上，后支撐底座1及前支撐底座2的平面度可靈活調(diào)節(jié)，后導(dǎo)軌副3和前導(dǎo)軌副4之間的平行度可靈活調(diào)節(jié)，兩者的平行度可調(diào)節(jié)至小于0.015mm。有效避免了模組結(jié)構(gòu)方式的弊端，提高了飛針測試裝置的安裝定位精度。

本發(fā)明還公開了一種飛針測試裝置的調(diào)整方法，其具體包括以下步驟：

s1，安裝后支撐底座1、前支撐底座2、后導(dǎo)軌副3及前導(dǎo)軌副4，后導(dǎo)軌副3及前導(dǎo)軌副4形成x向移動導(dǎo)軌；

具體地，本申請采用分體式結(jié)構(gòu)，后支撐底座1及前支撐底座2的平面度可調(diào)節(jié)，并且后軌道副3與前軌道副4之間的平行度可靈活調(diào)節(jié)，由于y向單元設(shè)置在x向單元上，測針負載單元設(shè)置在y向單元上，這種有利于提高側(cè)針負載單元的定位精度。

s2，調(diào)整后支撐底座1、前支撐底座2的水平度，使其上的后導(dǎo)軌副3及前導(dǎo)軌副4在同一平面上；

具體地，由于是分體結(jié)構(gòu)，操作人員可將后導(dǎo)軌副3與前導(dǎo)軌副4之間的平面度調(diào)整至不大于0.0015mm，這樣，有利于提高安裝在其上部件的定位精度。

s3，調(diào)整后導(dǎo)軌副3及前導(dǎo)軌副4的平行度；

具體地，由于是分體結(jié)構(gòu)，操作人員可將后導(dǎo)軌副3與前導(dǎo)軌副4之間的平行度調(diào)整至不大于0.0015mm。

s4，安裝x向單元及y向單元，并將測針負載單元安裝在測針支撐板上；

具體地，第一測針y向支撐板11及第二測針y向支撐板16安裝在后導(dǎo)軌副3與前導(dǎo)軌副4形成的x向移動導(dǎo)軌，第一測針y向支撐板11固定在第一測針y向絲杠13上，第一測針y向驅(qū)動電機15與第一測針y向絲杠13的端部連接，第一測針負載單元14固定在第一測針y向支撐板11上；第二測針y向支撐板16固定在第二測針y向絲杠18上，第二測針y向驅(qū)動電機20與第二測針y向絲杠18的端部連接，第二測針負載單元19固定在第二測針y向支撐板16上。

s5，啟動測針驅(qū)動電機，根據(jù)測試要求，調(diào)整測針負載單元上飛針的位置。

本發(fā)明提供的一種飛針測試裝置，其結(jié)構(gòu)合理，將多個x向單元平行設(shè)置在平行的可調(diào)節(jié)的導(dǎo)軌上，這樣提高了x向單元的安裝定位精度，有利于提高固定在其上的測針負載單元的定位精度，解決空間范圍內(nèi)多飛針測試結(jié)構(gòu)的三維布局問題，滿足了飛針高速運動的性能要求。

本發(fā)明不局限于上述實施方式，任何人在本發(fā)明的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品，但不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何變化，凡是具有與本申請相同或相近似的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。