專利名稱：實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提的方法及其組合機(jī)組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)需抽真空容器的腔體中實(shí)現(xiàn)高真空度快速抽提的方法及其組合機(jī)組。
鈉、鉀、磷、鋇等及其合金類吸氣物以及鋯類吸氣物由于其固有的物理特性，都能吸附活性氣體。眾所周知鈉、鉀、磷、鋇等及其合金對(duì)活潑的氧化性氣體如O2H2、CO、CO2等具有很強(qiáng)的化學(xué)吸附作用，且抽速快，吸附量大；而鋯類對(duì)氫具有很強(qiáng)的吸附力，但其抽速和吸氣總量均無法與鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物相比，一般多用于對(duì)已被抽成真空的真空腔維持高真空度，將其直接用于抽提真空尚未見報(bào)道。由于鈉、鉀、磷、鋇等及其合金類吸氣物和鋯類吸氣物的性質(zhì)存在很大的差別，其使用中承受的吸氣壓力不同，因而在抽提真空的過程中分別采用鈉、鉀、磷、鋇等及其合金類吸氣物和鋯類吸氣物更未見有報(bào)道。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于將需抽真空容器的腔體在密封條件下與主抽提吸氣倉形成一個(gè)密閉空間，吸氣倉中活性吸氣物將腔體內(nèi)真空度提高到10-1pa～10-3pa再關(guān)閉其接觸通道，然后使腔體內(nèi)殘留氣體與副抽提吸氣倉中激活的鋯類吸氣物接觸，將真空度提升到10-3pa以上。
一種實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提方法的組合機(jī)組，包括真空度測(cè)量裝置，其特征在于組合機(jī)組中還包括主抽提吸氣倉和副抽提吸氣倉，所述各獨(dú)立單元通過控制閥與需抽真空的腔體接口相接。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于它與傳統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)腔體中高真空度的方法相比，由于它是以鈉、鉀、磷、鋇等及其合金類吸氣物為主抽提物，以鋯類吸氣物為副抽提物，具有方法簡(jiǎn)單，效率高，能耗低，其組合機(jī)組體積小，攜帶方便，且抽速快，尤其是在電力不足的野外作業(yè)時(shí)，僅憑蓄電池或干電池就能保證機(jī)組的正常運(yùn)行。
圖中1、需抽真空的腔體接口，2、真空度測(cè)量裝置，3、副抽提吸氣倉，4、主抽提吸氣倉，5、釋氣單元，6、真空泵，7、電源，8、鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物，9、加熱體，10、吸氣膜，11、鋯類吸氣物，12、控制閥。
本發(fā)明涉及的實(shí)現(xiàn)腔體中高真空度的方法是通過上述組合機(jī)組實(shí)現(xiàn)的，將需抽真空的腔體密封狀態(tài)下與主抽提吸氣倉4中的鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物8接觸，將腔內(nèi)真空度提高到10-2pa～10-3pa，關(guān)閉其接觸通道上的控制閥12，再打開副抽提吸氣倉3接觸通道上的控制閥12，使腔體內(nèi)殘留氣體與副抽提吸氣倉激活的鋯類吸氣物接觸，將真空度提升到10-3pa以上。
具體實(shí)施時(shí)，也可以在將需抽真空的腔體密封狀態(tài)下與主抽提吸氣倉4中的鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物8接觸前，先通過真空泵將腔體中的真空度6抽提到200pa～400pa，關(guān)閉真空泵6通道上的控制閥12，然后進(jìn)入后序流程。
具體實(shí)施時(shí)，還可以在將需抽真空的腔體密封狀態(tài)下與主抽提吸氣倉4中的鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物8接觸前，先通過真空泵將腔體中的真空度6抽提到200pa～400pa后，關(guān)閉真空泵6通道上的控制閥12，再打開釋氣單元5接觸通道上的控制閥12，充入活性氣體，使真空度下降，再重新啟動(dòng)真空泵6，將腔體真空度抽提到200pa～400pa后，關(guān)閉真空泵6通道上的控制閥12，然后進(jìn)入后序流程。釋氣單元5中的活性氣體可以是氮?dú)饣蜓鯕饣蛞谎趸蓟蚨趸嫉?。在本?shí)施例中，釋氣單元5中的活性氣體是氧氣。
由圖2可見，所述的主抽提吸氣倉4的中設(shè)有鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物8，在本實(shí)施例中，鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物8選用鋇合金類吸氣物，鋇合金類吸氣物的中心設(shè)有加熱體9，鋇合金類吸氣物可以采用鋇鋁鎳(BaALNi)或鋇鋁鈦(BaALTi)合金粉制成的鋇環(huán)，加熱體9使鋇合金類吸氣物的鋇分子擴(kuò)散蒸發(fā)，使其在用玻璃或不銹鋼材料制作的倉壁上形成一層鋇吸氣膜10，所述吸氣膜10對(duì)活潑的氧化性氣體具有很強(qiáng)的吸附作用，迅速將腔內(nèi)真空度提高到10-1pa～10-3pa。
由圖3和圖4可見，副抽提吸氣倉3中設(shè)有回轉(zhuǎn)排列的鋯類吸氣物11，在本實(shí)施例中，所述的鋯類吸氣物11可以采用鋯釩鐵(ZrVFe)或鋯鋁(ZrAl)等合金粉壓制或涂覆于康銅或鎳或鍍鎳鐵帶上，制成鋯帶，并回轉(zhuǎn)排列在副抽提吸氣倉3中，工作前鋯帶因通電而發(fā)熱，使壓制或涂覆的鋯類吸氣物表面清潔，擴(kuò)散和排出氣體后被激活，被激活的鋯帶在工作中將會(huì)吸附更多的活性氣體。
權(quán)利要求
1.一種實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于將需抽真空容器的腔體在密封條件下與主抽提吸氣倉形成一個(gè)密閉空間，吸氣倉中活性吸氣物將腔體內(nèi)真空度提高到10-1pa～10-3pa再關(guān)閉其接觸通道，然后使腔體內(nèi)殘留氣體與副抽提吸氣倉中激活的鋯類吸氣物接觸，將真空度提升到10-3pa以上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于所述的活性吸氣物為鈉、鉀、磷、鋇及其合金，所述的活性吸氣物可以為粉狀或塊狀或氣霧形成的吸氣膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于在需抽真空容器的腔體密封狀態(tài)下接觸活性吸氣膜前，先通過真空泵將腔體中的真空度抽提到200pa～400pa，關(guān)閉真空泵，然后進(jìn)入后序流程。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提的方法，其特征在于在需抽真空的腔體密封狀態(tài)下接觸活性吸氣物前，先通過真空泵將腔體中的真空度抽提到200pa～400pa，關(guān)閉真空泵，再充入活性氣體，使真空度下降，并重新啟動(dòng)真空泵，將腔體真空度抽提到200pa～400pa，關(guān)閉真空泵，然后進(jìn)入后序流程。
5.一種實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提方法的組合機(jī)組，包括真空度測(cè)量裝置，其特征在于組合機(jī)組中還包括主抽提吸氣倉和副抽提吸氣倉，所述各獨(dú)立單元通過控制閥與需抽真空的腔體接口相接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提方法的組合機(jī)組，其特征在于所述的獨(dú)立單元還可以包括真空泵和充滿活性氣體的釋氣單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提方法的組合機(jī)組，其特征在于所述的釋氣單元中的活性氣體可以是氧氣或氮?dú)饣驓錃饣蛞谎趸蓟蚨趸肌?br> 8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提方法的組合機(jī)組，其特征在于所述各獨(dú)立單元可以安裝于同一機(jī)架上，也可以將各獨(dú)立單元分別通過管路組裝。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種腔體中實(shí)現(xiàn)高真空度的方法及其組合機(jī)組。其特征在于將需抽真空的腔體密封狀態(tài)下與活性吸氣物接觸，再使腔體內(nèi)殘留氣體與激活的鋯類吸氣物接觸，將真空度提升到10
文檔編號(hào)F04B37/00GK1431397SQ03112860
公開日2003年7月23日 申請(qǐng)日期2003年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月21日
發(fā)明者朱雷 申請(qǐng)人:朱雷