專利名稱：監(jiān)測真空泵失效的裝置和方法、真空度感測器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空泵失效監(jiān)測，尤其涉及半導體領(lǐng)域中，對傳送腔抽真空時，監(jiān)測真 空泵失效的裝置和方法，以及用于該裝置中的真空度感測器。
背景技術(shù)：
在半導體領(lǐng)域中，需要利用傳送腔將硅片運送到指定的反應腔內(nèi)，進行一定的工 藝。在半導體工藝中，對傳送腔的真空度的要求不高，一般為200 650豪托(mtorr)，傳統(tǒng) 的觀念認為，傳送腔內(nèi)真空度的大小，對硅片的影響不大，因此，現(xiàn)有技術(shù)中沒有對傳送腔 內(nèi)的真空度進行監(jiān)測的方法；然而經(jīng)過長時間的實踐，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，當真空泵失效時，傳送 腔內(nèi)真空度大于預定值時會影響硅片的潔凈度，進而在后段工藝形成金屬互連線時，造成 金屬線斷開或者短路，從而影響整個半導體器件性能。專利號為200410032743. 3的中國發(fā)明專利，公開了一種真空處理裝置和基板傳 送方法，然而，沒有解決現(xiàn)有技術(shù)的以上技術(shù)問題。當真空泵失效時，傳送腔內(nèi)的真空度會超過設定值，影響硅片的潔凈度，進而在后 段工藝形成金屬互連線時，造成金屬線斷開或者短路，從而影響整個半導體器件性能。為了 保證硅片在傳送腔內(nèi)傳送時免受粒子玷污，避免在半導體后段工藝形成金屬互連線時，金 屬互連線斷開或短路的現(xiàn)象，期望提出一種監(jiān)測真空泵失效的方法和裝置。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)中對傳送腔抽真空的真空泵失效時，沒有監(jiān)測真空 泵失效的方法和裝置，造成硅片在傳送腔內(nèi)傳送時被玷污，在半導體后段工藝中，形成金屬 互連線時，金屬線產(chǎn)生斷開或短路的缺點。為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種真空度感測器，包括第一支撐圈、第二支 撐圈、以及連接所述第一支撐圈和第二支撐圈的連接部；其中，所述第一支撐圈的半徑小于所述第二支撐圈的半徑，所述第一支撐圈具有 伸縮性，所述連接部具有不透光性，在所述真空度感測器所置環(huán)境的真空度大于預定真空 度值時，所述第一支撐圈處于緊縮狀態(tài)，所述連接部阻擋光透過。為解決以上問題，本發(fā)明還提供一種監(jiān)測真空泵失效的裝置，所述真空泵通過管 道與目標裝置連接，該監(jiān)測真空泵失效的裝置包括真空度感測器，置于所述管道內(nèi)，在所述管道內(nèi)的真空度大于預定真空度值時，所 述真空度感測器阻擋光透過；激光發(fā)射單元和激光探測單元，分別置于所述真空度感測器的兩側(cè)，所述激光探 測單元探測所述激光發(fā)射單元發(fā)射的激光；控制單元，在所述激光探測單元未探測到激光時，判定所述真空泵失效。可選的，所述目標裝置為半導體工藝中用來傳送硅片的傳送腔。本發(fā)明還提供一種監(jiān)測真空泵失效的方法，所述真空泵通過管道與目標裝置連接，該方法包括提供真空度感測器，將所述真空度感測器置于所述管道內(nèi)，在所述管道內(nèi)的真空 度大于預定真空度值時，所述真空度感測器阻擋光通過；在所述真空度感測器的一側(cè)發(fā)射激光，另一側(cè)探測激光；在所述真空度感測器的另一側(cè)未探測到激光時，判定所述真空泵失效。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點真空泵通過管道與目標裝置連接，對目標裝置進行抽真空，當目標裝置內(nèi)的真空 度超過預定真空度值時，真空度感測器阻擋激光發(fā)射單元發(fā)射的激光透過，激光探測單元 接收不到激光，從而可以得知真空泵失效，目標裝置內(nèi)的真空度大于預定值，此時可以更換 真空泵，繼續(xù)進行抽真空，確保目標裝置內(nèi)的真空度為設定的真空度值，當目標裝置為傳送 腔時，上述技術(shù)方案可以避免由于在傳送腔內(nèi)傳送硅片時，硅片被玷污，造成在后段工藝中 形成的金屬互連線斷開或短路的現(xiàn)象。
圖1是在真空泵正常時本發(fā)明具體實施例的監(jiān)測真空泵失效的裝置的狀態(tài)示意 圖；圖2是在真空泵失效時本發(fā)明具體實施例的監(jiān)測真空泵失效的裝置的狀態(tài)示意 圖；圖3是本發(fā)明具體實施例的真空度感測器的示意圖；圖4為圖3中所示的真空度感測器的左視圖。
具體實施例方式本發(fā)明實施方式的監(jiān)測真空泵失效的方法和裝置、真空度感測器，在真空泵正常 時，傳送腔內(nèi)的真空度在預定值范圍內(nèi)時，置于與傳送腔連接的管道內(nèi)的光阻擋/透過阻 擋單元處于一種力的平衡狀態(tài)，此時激光發(fā)射單元發(fā)射的激光穿過阻擋/透過單元阻擋， 激光探測單元可以接收到激光，警報單元不報警；在真空泵失效時，真空度感測器的力的平 衡狀態(tài)被破壞，當傳送腔內(nèi)的真空度大于預定值時，光阻擋透過單元達到另外一種力的平 衡狀態(tài)，此時真空度感測器阻擋激光發(fā)射單元發(fā)射的激光，激光探測單元接收不到激光，警 報單元報警，從而得知真空泵失效。下面結(jié)合附圖對本發(fā)明實施例進行詳細介紹，使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理 解本發(fā)明的精神。圖1是真空泵正常時本發(fā)明具體實施例的監(jiān)測真空泵失效的裝置的狀態(tài)示意圖； 圖2是真空泵失效時本發(fā)明具體實施例的監(jiān)測真空泵失效的裝置的狀態(tài)示意圖。參考圖1，本發(fā)明實施例的監(jiān)測傳送腔內(nèi)真空度失效的裝置，所述真空泵10通過 管道20與目標裝置連接，該具體實施例中目標裝置為傳送腔30，該裝置包括真空度感測 器80，置于所述管道20內(nèi)，在所述管道20內(nèi)的真空度大于預定真空度值時，在該具體實施 例中，所述預定真空度值為比傳送腔30的真空度設定值大10%的值，所述真空度感測器80 阻擋光透過；激光發(fā)射單元40和激光探測單元50，分別置于所述真空度感測器80的兩側(cè)， 所述激光探測單元50探測所述激光發(fā)射單元40發(fā)射的激光；控制單元60，在所述激光探測單元50未探測到激光時，判定所述真空泵10失效。同時參閱圖3、圖4，所述真空度感測器80包括第一支撐圈81、第二支撐圈82、以 及連接所述第一支撐圈81和第二支撐圈82的連接部83。所述第一支撐圈81的半徑小于所述第二支撐圈82的半徑，所述第一支撐圈具有 伸縮性；所述第二支撐圈82的半徑與所述第一支撐圈81處于緊縮狀態(tài)的半徑之差為第二 支撐圈82半徑的8% 25%;該具體實施例中，所述第二支撐圈的直徑為10cm，所述第一支 撐圈81處于緊縮狀態(tài)的半徑與所述第二支撐圈82的半徑之差為第二支撐圈半徑的10%， 即5mm ；所述第二支撐圈82為金屬圈，在其他的實施例中，第二支撐圈82也可以由其他材 料構(gòu)成，比如塑料或者聚氨基甲酸酯(PU)。所述第一支撐圈81由第一支撐件811和第二支撐件812相互連接構(gòu)成，其中，第 一支撐件811具有可彎折性，在該具體實施例中，第一支撐件811為金屬絲，當然在本發(fā)明 的其他實施例中，其可以為其他的絲狀件，只要該絲狀件具有可彎折性，在拉力的作用下， 可以伸展，在壓力的作用下，可以彎折，就可以達到本發(fā)明的目的；第二支撐件812在該具 體實施例中為金屬條，當然在其他實施例中，也可以為其他的條狀件，比如可以起到支撐作 用的塑料條。所述連接部83具有不透光性，在所述管道20內(nèi)的真空度大于預定真空度值時，所 述第一支撐圈81處于緊縮狀態(tài)，所述連接部83阻擋光透過。所述連接部83包括第一連接 件831和第二連接件832，第一連接件831和第二連接件832間隔設置，其中，第一連接件 831具有不透光性；在該具體實施例中第一連接件831為橡膠片，橡膠片為8片，第二連接 件832為無紡布，無紡布片也為8片；所述橡膠片的兩相對邊分別與所述第一支撐圈81和 第二支撐圈82連接，可以為粘接，也可以為縫接及其他方式的連接，所述無紡布的兩相對 邊分別與所述第一支撐圈81和第二支撐圈82連接，可以為粘接，也可以為縫接及其他方式 的連接，所述橡膠片的另兩相對邊分別與所述無紡布的另兩相對邊連接，可以為粘接，也可 以為縫接及其他方式的連接。需要說明的是，在該具體實施例中，無紡布片和橡膠片的數(shù)量分別為8片，在其他 實施例中，可以為其他的數(shù)量，比如6片。在本發(fā)明具體實施例第一連接件831為橡膠片，第二連接件832為無紡布片，因此 真空度感測器80可以折疊拉伸，當處于拉伸狀態(tài)時，如圖3所示，光阻擋透過單元80呈圓 臺狀。從圖1、圖2看，拉伸和收縮狀態(tài)，都呈圓臺狀。在該具體實施中，所述管道20具有一水平段21，所述真空度感測器80置于所述 管道20的水平段21中，所述第二支撐圈82與所述管道20的水平段21的管壁貼合，所述 第一支撐圈81到所述激光發(fā)射單元40的距離小于所述第一支撐圈81到所述激光探測單 元50的距離，在本發(fā)明的具體實施方式
中，所述激光發(fā)射單元到所述激光探測單元的距離 不超過100米，在該具體實施例中優(yōu)選為75米。所述激光發(fā)射單元40發(fā)射的激光的光路 到所述管道水平段21靠近所述光路的管壁的距離大于所述第二支撐圈82的半徑與所述第 一支撐圈81處于擴展狀態(tài)的半徑之差，小于所述第二支撐圈82與所述第一支撐圈81處于 緊縮狀態(tài)的半徑之差。在本發(fā)明的具體實施例中，還包括警報單元70，所述控制單元60分別與所述警報 單元70、激光發(fā)射單元40、激光探測單元50連接，由該控制單元60控制所述激光發(fā)射單元40、激光探測單元50以及警報單元70的工作狀態(tài)。當所述真空度感測器80阻擋所述激光 發(fā)射單元40發(fā)射的激光，所述控制單元60判定所述真空泵10失效時，該控制單元60控制 所述警報單元70進行報警。其中，本發(fā)明所用的激光發(fā)射單元40為現(xiàn)有的激光發(fā)射裝置，可以為氣體激光 器，液體激光器或者半導體激光器，例如可以采用氙(Xe)激光器或者氟化氪(KrF)激光器。本發(fā)明所用的激光探測單元40為現(xiàn)有的激光探測器，其具有接收激光，以及誤差 修正的功能。所述控制單元60可以是形成在印刷電路板(PCB)上的集成電路，所述激光發(fā)射單 元40、激光探測單元50以及警報單元70分別與該PCB電路板上的集成電路電連接，當真空 泵10開始抽真空時，開啟所述控制單元60使其處于工作狀態(tài)，控制單元60控制所述激光 發(fā)射單元40處于工作狀態(tài)，激光發(fā)射單元40發(fā)射激光，控制所述激光探測單元50處于工 作狀態(tài)，激光探測單元50接收激光發(fā)射單元40發(fā)射的激光，當激光探測單元50接收到激 光時，該激光探測單元50將接收到激光的信息發(fā)送給控制單元60，控制單元60根據(jù)該信息 控制警報單元70不報警，當激光探測單元50接收不到激光時，該激光探測單元50將接收 不到激光的信息發(fā)送給控制單元60，控制單元60根據(jù)該信息控制警報單元70報警。所述警報單元70可為一單獨的警報裝置，也可以為控制單元60上設置的一警報 裝置，當激光探測單元50接收到激光時，控制單元60控制警報單元70所在的回路斷開，警 報單元70不報警；當激光探測單元50接收不到激光時，控制單元60控制警報單元70所在 的回路導通，警報單元70報警。本發(fā)明的報警單元70也可以為其他的報警裝置，例如為提 示燈，在真空泵失效真空度感測器阻擋激光時，提示燈變亮，提示真空泵失效；也可以為一 顯示裝置，在真空泵失效真空度感測器阻擋激光時，顯示裝置可以輸出信息，告知真空泵失 效。圖1顯示真空泵10正常時，真空度感測器80的第一支撐件811處于拉伸狀態(tài)，第 一支撐圈81處于擴展的狀態(tài)，激光發(fā)射單元40發(fā)射的激光穿過第一支撐圈81，激光探測 單元50探測到激光，警報單元70不報警；圖2顯示真空泵失效時，真空度感測器80的第一 支撐件811處于彎折狀態(tài)，第一支撐圈81處于緊縮的狀態(tài)，激光發(fā)射單元40發(fā)射的激光被 真空度感測器80的不透光的第一連接件831阻擋，在本發(fā)明的具體實施方式
中被橡膠片阻 擋，激光探測單元50探測不到激光，警報單元70報警。下面以在半導體領(lǐng)域中，真空泵對傳送腔抽真空，說明本發(fā)明具體實施方式
的監(jiān) 測真空泵失效的方法。參考圖1和圖2詳細說明本發(fā)明具體實施方式
的監(jiān)測真空泵失效的方法，所述真 空泵10通過管道20與傳送腔30連接，對傳送腔30抽真空，該方法包括以下步驟提供真空度感測器80，將所述真空度感測器80置于所述管道20內(nèi)，在所述管道 20內(nèi)的真空度大于預定真空度值時，在該具體實施例中所述預定真空度值為比目標裝置即 傳送腔的真空度設定值大10%的值；所述真空度感測器80阻擋光通過；所述真空度感測器 80的一側(cè)發(fā)射激光，在該具體實施例中，由激光發(fā)射單元40在一側(cè)發(fā)射激光，另一側(cè)探測 激光，在該具體實施例中，由激光探測單元在另一側(cè)探測激光；在所述真空度感測器80的 另一側(cè)未探測到激光時，判定所述真空泵10失效。設置所述真空度感測器80的位置，真空泵失效時，所述連接部83阻擋所述激光發(fā)射單元發(fā)射的激光；從以上所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置中可知，所述連接部83包括第一 連接件811和第二連接件812，第一連接件811和第二連接件812間隔設置，其中，第一連接 件811具有不透光性，因此在設置所述真空度感測器80的位置，真空泵失效時，所述第一連 接件811阻擋所述激光發(fā)射單元發(fā)射的激光。在該具體實施例中，將所述真空度感測器80置于所述管道20的水平段21中，設 置所述第二支撐圈82，使其中心線與所述管道20的水平段21的中心線重合，使所述第二 支撐圈82與所述管道20的水平段21的管壁貼合，并將所述第二支撐圈82固定；所述第一 支撐圈81到所述激光發(fā)射位置的距離小于所述第一支撐圈到所述激光探測位置的距離， 在該具體實施例中所述激光發(fā)射位置到所述激光探測位置的距離不超過100米，優(yōu)選為75 米，所述第二支撐圈82到所述激光發(fā)射單元40的距離等于到所述激光探測單元50的距 離，在其他的實施例中，第二支撐圈82到所述激光發(fā)射單元40的距離也可以不等于到所述 激光探測單元50的距離。而且，所述激光發(fā)射單元40發(fā)射的激光的光路到所述管道水平 段靠近所述光路的管壁的距離H大于所述第二支撐圈82的半徑與所述第一支撐圈81處于 擴展狀態(tài)的半徑之差；小于所述第二支撐圈的半徑與所述第一支撐圈處于緊縮狀態(tài)的半徑 之差。本發(fā)明的監(jiān)測真空泵失效的方法的原理為利用真空泵對傳送腔抽真空，第一支 撐圈受到兩個力，真空泵由于抽真空而施加的力Fl和連接部(在本發(fā)明具體實施方式
中為 橡膠片和無紡布片)施加的力F2，在真空泵正常時，第一支撐圈處于第一種力的平衡狀態(tài)， 且第一支撐圈處于擴展狀態(tài)，此時，激光發(fā)射單元發(fā)射的激光可以穿過第一支撐圈，激光探 測單元可以探測到激光，警報單元不報警；在真空泵失效時，由于真空泵抽真空而施加給第 一支撐圈的力變小，真空泵正常時，第一支撐圈所處的第一種力的平衡狀態(tài)被破壞，第一支 撐圈在連接部施加的力F2的作用下緊縮，直至到達第二種力的平衡狀態(tài)，在該狀態(tài)下，第 一支撐圈處于緊縮狀態(tài)，此時，激光發(fā)射單元發(fā)射的激光被真空度感測器的連接部的不透 光部分(在本發(fā)明具體事例中為橡膠片)阻擋，激光探測單元不能探測到激光，警報單元報 警，從而可以知道真空泵失效，更換真空泵，在更換真空泵后繼續(xù)抽真空，避免由于傳送腔 內(nèi)真空度超過設定的真空度值、造成傳送腔內(nèi)的硅片被玷污，在半導體后段工藝形成金屬 互連線的過程中，避免金屬互連線斷開或短路。在具體實驗過程中，利用三組數(shù)據(jù)分別進行了測試。第一組數(shù)據(jù)設定傳送腔內(nèi)的 真空度為200mtorr，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)如果真空泵失效，當傳送腔內(nèi)的真空度大于200+200*10% 時，警報單元報警；第二組數(shù)據(jù)設定傳送腔內(nèi)的真空度為lOOmtorr，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)如果真 空泵失效，當傳送腔內(nèi)的真空度大于100+100*10%時，警報單元報警；第三組數(shù)據(jù)設定 傳送腔內(nèi)的真空度為50mtorr，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)如果真空泵失效，當傳送腔內(nèi)的真空度大于 50+50*10%時，警報單元報警；由以上的實驗結(jié)果，發(fā)明人得出結(jié)論，當所述傳送腔內(nèi)的真 空度大于設定的真空度值的10%時，所述激光發(fā)射單元發(fā)射的激光被所述真空度感測器阻 擋，所述激光探測單元不能探測到激光，所述警報單元報警。通過以上所述的具體實施方 式，避免由于在傳送腔內(nèi)傳送硅片時，硅片被玷污，造成在后段工藝中形成的金屬互連線斷 開或短路的現(xiàn)象。以上所述為本發(fā)明在半導體領(lǐng)域中，對傳送腔抽真空時，監(jiān)測真空泵失效的方法 和裝置，本發(fā)明也可以用于其他的需要用到真空泵的領(lǐng)域，監(jiān)測真空泵失效。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù) 人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護范圍應 當以權(quán)利要求所限定的范圍為準。
權(quán)利要求
1.一種真空度感測器，其特征在于，包括第一支撐圈、第二支撐圈、以及連接所述第 一支撐圈和第二支撐圈的連接部；其中，所述第一支撐圈的半徑小于所述第二支撐圈的半徑，所述第一支撐圈具有伸縮 性，所述連接部具有不透光性，在所述真空度感測器所置環(huán)境的真空度大于預定真空度值 時，所述第一支撐圈處于緊縮狀態(tài)，所述連接部阻擋光透過。
2.如權(quán)利要求1所述的真空度感測器，其特征在于，所述第二支撐圈的半徑與所述第 一支撐圈處于緊縮狀態(tài)的半徑之差為第二支撐圈半徑的8% 25%。
3.如權(quán)利要求1所述的真空度感測器，其特征在于，所述連接部包括第一連接件和第 二連接件，第一連接件和第二連接件間隔設置，其中，第一連接件具有不透光性。
4.如權(quán)利要求3所述的真空度感測器，其特征在于，所述連接部的第一連接件為橡膠 片，第二連接件為無紡布；所述橡膠片的兩相對邊分別與所述第一支撐圈和第二支撐圈連接，所述無紡布的兩相 對邊分別與所述第一支撐圈和第二支撐圈連接，所述橡膠片的另兩相對邊分別與所述無紡 布的另兩相對邊連接。
5.如權(quán)利要求4所述的真空度感測器，其特征在于，所述第一支撐圈由第一支撐件和 第二支撐件相互連接構(gòu)成，其中，第一支撐件具有可彎折性。
6.如權(quán)利要求5所述的真空度感測器，其特征在于，所述第一支撐件為金屬絲。
7.如權(quán)利要求1所述的真空度感測器，其特征在于，所述第二支撐圈為金屬圈。
8.—種監(jiān)測真空泵失效的裝置，所述真空泵通過管道與目標裝置連接，其特征在于，包括真空度感測器，置于所述管道內(nèi)，在所述管道內(nèi)的真空度大于預定真空度值時，所述真 空度感測器阻擋光透過；激光發(fā)射單元和激光探測單元，分別置于所述真空度感測器的兩側(cè)，所述激光探測單 元探測所述激光發(fā)射單元發(fā)射的激光；控制單元，在所述激光探測單元未探測到激光時，判定所述真空泵失效。
9.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述預定真空度值為比 目標裝置的真空度設定值大10%的值。
10.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述真空度感測器包 括第一支撐圈、第二支撐圈、以及連接所述第一支撐圈和第二支撐圈的連接部；其中，所述第一支撐圈的半徑小于所述第二支撐圈的半徑，所述第一支撐圈具有伸縮 性，所述連接部具有不透光性，在所述管道內(nèi)的真空度大于預定真空度值時，所述第一支撐 圈處于緊縮狀態(tài)，所述連接部阻擋光透過。
11.如權(quán)利10所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述第二支撐圈的半徑與 所述第一支撐圈處于緊縮狀態(tài)的半徑之差為第二支撐圈半徑的8% 25%。
12.如權(quán)利要求10所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述連接部包括第一 連接件和第二連接件，第一連接件和第二連接件間隔設置，其中，第一連接件具有不透光 性。
13.如權(quán)利要求12所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述連接部的第一連 接件為橡膠片，第二連接件為無紡布；所述橡膠片的兩相對邊分別與所述第一支撐圈和第二支撐圈連接，所述無紡布的兩相 對邊分別與所述第一支撐圈和第二支撐圈連接，所述橡膠片的另兩相對邊分別與所述無紡 布的另兩相對邊連接。
14.如權(quán)利要求13所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述第一支撐圈由第 一支撐件和第二支撐件相互連接構(gòu)成，其中，第一支撐件具有可彎折性。
15.如權(quán)利要求10所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述管道具有水平段， 所述真空度感測器置于所述管道的水平段中，所述第二支撐圈與所述管道的水平段的管壁 貼合，所述第一支撐圈到所述激光發(fā)射單元的距離小于所述第一支撐圈到所述激光探測單 元的距離。
16.如權(quán)利要求15所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述激光發(fā)射單元發(fā) 射的激光的光路到所述管道水平段靠近所述光路的管壁的距離大于所述第二支撐圈的半 徑與所述第一支撐圈處于擴展狀態(tài)的半徑之差，小于所述第二支撐圈與所述第一支撐圈處 于緊縮狀態(tài)的半徑之差。
17.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述激光發(fā)射單元到所 述激光探測單元的距離不超過100米。
18.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述控制單元還控制所 述激光發(fā)射單元的工作狀態(tài)。
19.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述控制單元還控制所 述激光探測單元的工作狀態(tài)。
20.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，還包括警報單元，所述 控制單元在判定所述真空泵失效時，控制所述警報單元進行報警。
21.如權(quán)利要求8所述的監(jiān)測真空泵失效的裝置，其特征在于，所述目標裝置為半導體 工藝中用來傳送硅片的傳送腔。
22.—種監(jiān)測真空泵失效的方法，所述真空泵通過管道與目標裝置連接，其特征在于， 包括提供真空度感測器，將所述真空度感測器置于所述管道內(nèi)，在所述管道內(nèi)的真空度大 于預定真空度值時，所述真空度感測器阻擋光通過；在所述真空度感測器的一側(cè)發(fā)射激光，另一側(cè)探測激光；在所述真空度感測器的另一側(cè)未探測到激光時，判定所述真空泵失效。
23.如權(quán)利要求22所述的監(jiān)測真空泵失效的方法，其特征在于，所述預定真空度值為 比目標裝置的真空度設定值大10%的值。
24.如權(quán)利要求22所述的監(jiān)測真空泵失效的方法，其特征在于，所述光阻擋透過單元 包括第一支撐圈、第二支撐圈、以及連接所述第一支撐圈和第二支撐圈的連接部；所述第一支撐圈的半徑小于所述第二支撐圈的半徑，所述第一支撐圈具有伸縮性，所 述連接部具有不透光性，在所述真空度感測器所置環(huán)境的真空度大于預定真空度值時，所 述第一支撐圈處于緊縮狀態(tài)，所述連接部阻擋光透過。
25.如權(quán)利要求22所述的監(jiān)測真空泵失效的方法，其特征在于，所述連接部包括第一 連接件和第二連接件，第一連接件和第二連接件間隔設置，其中，第一連接件具有不透光 性。
26.如權(quán)利要求M所述的監(jiān)測真空泵失效的方法，其特征在于，所述管道具有水平段， 將所述真空度感測器置于所述管道內(nèi)包括將所述真空度感測器于置于所述管道的水平段 中，使所述第二支撐圈與所述管道的水平段的管壁貼合，所述第一支撐圈到所述激光發(fā)射 位置的距離小于所述第一支撐圈到所述激光探測位置的距離。
27.如權(quán)利要求沈所述的監(jiān)測真空泵失效的方法，其特征在于，所述發(fā)射的激光的光 路到所述管道水平段靠近所述光路的管壁的距離大于所述第二支撐圈的半徑與所述第一 支撐圈處于擴展狀態(tài)的半徑之差；小于所述第二支撐圈的半徑與所述第一支撐圈處于緊縮 狀態(tài)的半徑之差。
28.如權(quán)利要求22所述的監(jiān)測真空泵失效的方法，其特征在于，所述激光發(fā)射位置到 所述激光探測位置的距離不超過100米。
全文摘要
一種監(jiān)測真空泵失效的裝置和方法、真空度感測器，所述真空泵通過管道與目標裝置連接，所述監(jiān)測真空泵失效的裝置包括真空度感測器，置于所述管道內(nèi)，在所述管道內(nèi)的真空度大于預定真空度值時，所述真空度感測器阻擋光透過；激光發(fā)射單元和激光探測單元，分別置于所述真空度感測器的兩側(cè)，所述激光探測單元探測所述激光發(fā)射單元發(fā)射的激光；控制單元，在所述激光探測單元未探測到激光時，判定所述真空泵失效。當目標裝置為傳送腔時，避免由于在傳送腔內(nèi)傳送硅片時，真空泵失效時，傳送腔內(nèi)的真空度不符合要求，從而導致硅片被玷污，造成在后段工藝中形成的金屬互連線斷開或短路的現(xiàn)象。
文檔編號F04B51/00GK102121470SQ20101002257
公開日2011年7月13日 申請日期2010年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月8日
發(fā)明者李景倫 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司