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實(shí)現(xiàn)容器中高真空度快速抽提的方法及其組合機(jī)組的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5420378

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本發(fā)明涉及一種對(duì)需抽真空容器的腔體中實(shí)現(xiàn)高真空度快速抽提的方法及其組合機(jī)組。鈉、鉀、磷、鋇等及其合金類吸氣物以及鋯類吸氣物由于其固有的物理特性,都能吸附活性氣體。眾所周知鈉、鉀、磷、鋇等及其合金對(duì)活潑的氧化性氣體如O2H2、CO、CO2等具有很強(qiáng)的化學(xué)吸附作用,且抽速快,吸附量大;而鋯類對(duì)氫具有很強(qiáng)的吸附力,但其抽速和吸氣總量均無(wú)法與鈉、鉀、磷、鋇及其合金類吸氣物相比,一般多用于對(duì)已被抽成真空的真空腔維持高真空度,將其直接用于抽提真空尚未見(jiàn)報(bào)道。由于鈉、鉀...
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