正型感光性樹脂組合物、分隔壁和光學(xué)元件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供正型感光性樹脂組合物、以及提供使用該樹脂組合物形成的分隔壁、和光學(xué)元件，所述正型感光性樹脂組合物能夠制造拒墨性優(yōu)異、即使經(jīng)過紫外線/臭氧照射處理拒墨性也優(yōu)異、且點中殘留物少的分隔壁，所述正型感光性樹脂組合物具有充分的儲藏穩(wěn)定性。正型感光性樹脂組合物、使用該樹脂組合物形成的分隔壁和光學(xué)元件，所述正型感光性樹脂組合物的特征在于，其為包含堿可溶性樹脂(A)、光敏劑(B)和拒墨劑(C)的正型感光性樹脂組合物，前述拒墨劑(C)由包含含氟水解性硅烷化合物的混合物的部分水解縮合物形成，前述水解性硅烷化合物中的氟原子的含有比率為10～55質(zhì)量％。
【專利說明】正型感光性樹脂組合物、分隔壁和光學(xué)元件

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及正型感光性樹脂組合物、使用其形成的分隔壁、和具有該分隔壁的光 學(xué)元件。

【背景技術(shù)】
[0002] 用于作為光學(xué)元件的濾色器、有機EL(Electro-Luminescence)元件的像素部的 分隔壁已知有在基板上涂布感光性樹脂組合物并通過光刻技術(shù)而形成的方法。
[0003] 近年來，作為濾色器、有機EL元件的像素部的制造方法，提出了利用噴墨法的低 成本化工藝。
[0004] 例如，在濾色器的制造中，利用光刻形成分隔壁后，利用噴墨法向由分隔壁圍成的 開口部（點）中噴射、涂布R(紅）、G(綠）、和B(藍(lán)）的墨，并形成像素。
[0005] 噴墨法中，需要防止相鄰的像素間的墨的混色。因此，對于分隔壁，要求排斥噴墨 的吐出液即包含水、有機溶劑的墨的性質(zhì)、即所謂的拒墨性。另一方面，對于噴墨法中形成 于像素的墨層，要求具有優(yōu)異的膜厚均勻性，因此，由分隔壁圍成的點（dot)要求對吐出液 具有良好的潤濕性、即所謂的親墨性。
[0006] 為了使分隔壁的表面為拒墨性，開發(fā)了在用于分隔壁形成的感光性樹脂組合物中 添加拒墨劑的技術(shù)。
[0007] 從顯影后的殘渣（以下也稱作"顯影殘渣"）少的方面出發(fā)，正型感光性樹脂比負(fù) 型感光性樹脂優(yōu)異，有時可以優(yōu)選使用。例如專利文獻(xiàn)1中記載了使用包含表面自由能小 的拒墨劑的正型感光性樹脂組合物、對分隔壁表面賦予拒墨性的技術(shù)。
[0008] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)
[0010] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2009-251327號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 發(fā)明要解決的問是頁
[0012] 然而，對于專利文獻(xiàn)1中記載的正型感光性樹脂組合物來說，存在拒墨劑的表面 遷移性不充分，拒墨劑殘留在分隔壁內(nèi)部而分隔壁側(cè)面的親墨性變得不良的問題。還存在 拒墨劑殘留在顯影后的點中，墨無法均勻地涂布從而產(chǎn)生墨的白點的問題。為了清洗點，使 用紫外線/臭氧照射處理等，但對于專利文獻(xiàn)1中記載的拒墨劑來說，還存在耐性不充分， 分隔壁的拒墨性會大幅降低的問題。
[0013] 本發(fā)明是鑒于前述情況而作出的，本發(fā)明的目的在于提供能夠形成拒墨性優(yōu)異、 即使經(jīng)過紫外線/臭氧照射處理拒墨性也優(yōu)異、且點中殘留物少的分隔壁、儲藏穩(wěn)定性也 優(yōu)異的正型感光性樹脂組合物。
[0014] 另外，本發(fā)明的目的在于提供具有拒墨性優(yōu)異、即使經(jīng)過紫外線/臭氧照射處理 拒墨性也優(yōu)異的分隔壁的光學(xué)元件。
[0015] 用于解決問題的方案
[0016] 本發(fā)明提供具有以下[1]?[15]的構(gòu)成的正型感光性樹脂組合物、分隔壁、和光 學(xué)元件。
[0017] [1] -種正型感光性樹脂組合物，其為包含堿可溶性樹脂（A)、光敏劑⑶和拒墨 劑（C)的正型感光性樹脂組合物，
[0018] 前述拒墨劑（C)由包含下式（C-1)所示的水解性硅烷化合物、和下式（C-2)所示 的水解性硅烷化合物的混合物的部分水解縮合物形成，前述拒墨劑（C)中的氟原子含有率 為10?55質(zhì)量％。
[0019] Rf-QlSiX、 - (c-1)
[0020] RH1p-SiX2(4-p) ... (c-2)
[0021] (式（c-1)和（c-2)中的符號如以下所述。
[0022] Rf :碳原子數(shù)1?6的全氟烷基、或Rfl0Rf2-所示的碳原子數(shù)2?40的1價基團 (R fl為碳原子數(shù)1?6的全氟烷基，Rf2為在碳-碳原子間可以具有醚性氧原子的全氟亞烷 基。），
[0023] Q1 :碳原子數(shù)1?10的、不含氟原子的2價有機基團，
[0024] Rm :碳原子數(shù)1?6的烴基，
[0025] X1、和X2 :水解性基團，
[0026] ρ:0、1 或 2，
[0027] 其中，式（c-Ι)中的3個X1、式（c-2)中的（4-p)個X2、和p個R H1可以分別互不相 同也可以相同。）
[0028] [2]根據(jù)上述[1]所述的正型感光性樹脂組合物，其中，正型感光性樹脂組合物中 的總固體成分中的前述堿可溶性樹脂（A)的含量為10?90質(zhì)量％。
[0029] [3]根據(jù)上述[1]或[2]所述的正型感光性樹脂組合物，其中，正型感光性樹脂組 合物中的總固體成分中的前述光敏劑（B)的含量為0. 1?50質(zhì)量％。
[0030] [4]根據(jù)上述[1]?[3]中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，正型感 光性樹脂組合物中的總固體成分中的前述拒墨劑（C)的含量為0. 01?10質(zhì)量％。
[0031] [5]根據(jù)上述[1]?[4]中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，前述拒 墨劑（C)的數(shù)均分子量（Μη)為500以上且小于1000000。
[0032] [6]根據(jù)上述[1]?[5]中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，前述堿 可溶性樹脂（Α)為酚醛清漆型酚醛樹脂。
[0033] [7]根據(jù)上述[1]?[6]中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，前述光 敏劑（Β)為具有醌二疊氮基的化合物。
[0034] [8]根據(jù)上述[1]?[7]中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，前述混 合物還包含下式（c-3)所示的水解性硅烷化合物。
[0035]

【權(quán)利要求】
1. 一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，其為包含堿可溶性樹脂（A)、光敏劑（B) 和拒墨劑（C)的正型感光性樹脂組合物， 所述拒墨劑（C)由包含下式（c-1)所示的水解性硅烷化合物、和下式（c-2)所示的 水解性硅烷化合物的混合物的部分水解縮合物形成，所述拒墨劑（C)中的氟原子含有率為 10?55質(zhì)量％， R^Q-SiX^ - (c-1) RH1p-SiX2(4-p) ... (c-2) 式（c-1)和（c-2)中的符號如以下所述： Rf:碳原子數(shù)1?6的全氟烷基、或RflORf2-所示的碳原子數(shù)2?40的1價基團，其中， Rfl為碳原子數(shù)1?6的全氟烷基，Rf2為在碳-碳原子間可以具有醚性氧原子的全氟亞烷 基， Q1 :碳原子數(shù)1?10的、不含氟原子的2價有機基團， RH1 :碳原子數(shù)1?6的1價烴基， X1和X2 :水解性基團， P :0、1 或 2， 其中，式（c-Ι)中的3個X1、式（c-2)中的（4-p)個X2、和p個RH1可以分別互不相同也 可以相同。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其中，正型感光性樹脂組合物中的 總固體成分中的所述堿可溶性樹脂（A)的含量為10?90質(zhì)量％。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的正型感光性樹脂組合物，其中，正型感光性樹脂組合物中 的總固體成分中的所述光敏劑（B)的含量為0. 1?50質(zhì)量％。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1?3中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，正型感光性樹 脂組合物中的總固體成分中的所述拒墨劑（C)的含量為0. 01?10質(zhì)量％。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?4中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述拒墨劑 (C)的數(shù)均分子量（Μη)為500以上且小于1000000。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1?5中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述堿可溶性 樹脂（Α)為酚醛清漆型酚醛樹脂。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1?6中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述光敏劑 (Β)為具有醌二疊氮基的化合物。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1?7中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其中，所述混合物還 包含下式（c-3)所示的水解性硅烷化合物，
式（c-3)中的符號如以下所述： Υ :氫原子可以被鹵素原子、碳原子數(shù)1?3的烷基、碳原子數(shù)2?3的鏈烯基或硝基所 取代的苯基， Q2:單鍵或2價有機基團， RH2 :碳原子數(shù)1?6的1價烴基， X3 :水解性基團， q :1 或 2， r :0和1中的使得q+r成為1或2的數(shù)， 其中，q個Y、Q2、和Y-Q2、以及（4-q-r)個X3可以分別互不相同也可以相同。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1?8中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其還包含溶劑（D)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1?9中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其還包含熱固化劑 (E)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的正型感光性樹脂組合物，其還包含熱固化促進(jìn)劑（F)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1?11中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物，其還包含著色劑 (G)。
13. -種分隔壁，其形成為將基板表面分隔成像素形成用的多個分區(qū)的形態(tài)， 其由權(quán)利要求1?12中的任一項所述的正型感光性樹脂組合物的固化膜形成。
14. 一種光學(xué)元件，其在基板表面具有多個像素和位于鄰接的像素之間的分隔壁，所述 分隔壁由權(quán)利要求13所述的分隔壁形成。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)元件，其中，所述光學(xué)元件為濾色器、TFT陣列或有機 EL元件。
【文檔編號】G03F7/075GK104160336SQ201380013041
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2013年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月9日
【發(fā)明者】川島正行, 高橋秀幸, 古川豐 申請人:旭硝子株式會社