專利名稱：照射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種照射裝置，在半導(dǎo)體元件及液晶基板的制造工序中，適合用于晶片及玻璃基板等基板的干式清潔。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體元件及液晶基板的制造工序中，進(jìn)行硅晶片及玻璃基板等基板的表面上附著的有機(jī)化合物等的除去處理，作為該有機(jī)化合物等的除去處理方法，不使用水及有機(jī)溶劑等的干式清潔法被廣泛利用。作為這種干式清潔法，已知光清潔法，通過對被處理體的表面照射波長200nm以下的真空紫外線，由此將該被處理體的表面上附著的有機(jī)化合物分解，并且通過臭氧等活性氧進(jìn)行氧化除去(參照專利文獻(xiàn)1)；以及等離子清潔法，在大氣壓附近的壓力下，通過流過氮?dú)獾鹊入x子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體并且施加高頻電場，由此產(chǎn)生等離子，通過該等離子將被處理體的表面附著的有機(jī)化合物進(jìn)行分解、氧化而除去(參照專利文獻(xiàn)2)。作為光清潔法為，使用具備在放電容器內(nèi)例如封入氙的準(zhǔn)分子燈的照射裝置，使被處理體通過來自該照射裝置的紫外線所照射的照射區(qū)域，由此進(jìn)行該被處理體的清潔處理。此外，在等離子清潔法中，等離子在大氣壓下一瞬地從輝光放電轉(zhuǎn)移為電弧放電， 容易產(chǎn)生火花放電。因此，對電極施加短脈沖的電場，在從輝光放電向電弧放電轉(zhuǎn)移之前， 強(qiáng)制地切換電場，而使其不向電弧放電轉(zhuǎn)移，使輝光放電保持原樣地維持。然而，在以往的照射裝置中，存在以下的問題。在液晶基板中，正開發(fā)尺寸較大的大型的液晶基板，隨著這種液晶基板等被處理體的大型化，為了高效率地進(jìn)行被處理體的有機(jī)化合物等的除去處理，而要求通過提高被處理體的移動(dòng)速度來提高處理速度。然而，在以往的照射裝置中，在被處理體的處理速度較高的情況下，真空紫外線對該被處理體的照射時(shí)間變短，因此存在難以得到較高的清潔處理能力的問題。此外，在具有鍵能量較高的化學(xué)鍵的有機(jī)化合物中，由于不能夠通過真空紫外線的能量切斷該化學(xué)鍵，因此存在通過對這種有機(jī)化合物僅進(jìn)行基于真空紫外線的光清潔處理難以進(jìn)行除去的問題。此外，在等離子清潔法中使用的生成短脈沖電場的脈沖電源為高價(jià)，因此存在裝置整體的價(jià)格上升的問題。此外，在施加短脈沖電場的情況下，需要實(shí)現(xiàn)作為處理物的玻璃基板的移動(dòng)位置的定時(shí)的復(fù)雜控制，并產(chǎn)生陡峭的電場，因此還產(chǎn)生噪聲的問題。先行技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2006-1:34983號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2002-151480號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題本發(fā)明的目的為，鑒于以上情況，提供一種照射裝置，能夠得到較高的清潔處理能力，并且對于具有鍵能量較高的化學(xué)鍵的有機(jī)化合物，也能夠可靠地進(jìn)行除去。此外，本發(fā)明的其他目的在于，提供一種新的大氣壓等離子產(chǎn)生裝置，能夠防止從輝光放電向電弧放電的轉(zhuǎn)移，并且能夠解決使用脈沖電源時(shí)的各種問題。用于解決課題的手段本申請第一發(fā)明為一種照射裝置，其特征在于，具備準(zhǔn)分子燈，具有放電容器以及一對電極；和等離子放電用電極，經(jīng)由電介質(zhì)與該準(zhǔn)分子燈的一個(gè)電極對置配置，經(jīng)由上述準(zhǔn)分子燈的上述一個(gè)電極以及上述等離子放電用電極形成等離子產(chǎn)生電路，通過對上述準(zhǔn)分子燈的一對電極之間施加的高頻電場，在上述放電容器內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，并且在上述準(zhǔn)分子燈和上述等離子放電用電極之間流過等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體的狀態(tài)下，通過在上述準(zhǔn)分子燈的上述一個(gè)電極和上述等離子放電用電極之間施加的高頻電場，產(chǎn)生等離子放 H1^ ο本申請第二發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第一發(fā)明中，在上述電介質(zhì)的表面形成有電場集中用凸部。本申請第三發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第一或者第二發(fā)明中，在上述等離子放電用電極的表面形成有電場集中用凸部。本申請第四發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第一發(fā)明至第三發(fā)明的任一個(gè)發(fā)明中，具備配置上述準(zhǔn)分子燈的燈罩，在該燈罩中一體地設(shè)置有上述等離子放電用電極。本申請第五發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第一發(fā)明至第四發(fā)明的任一個(gè)發(fā)明中，通過用于準(zhǔn)分子放電的高頻電源產(chǎn)生上述等離子放電。本申請第六發(fā)明為一種照射裝置，其特征在于，在提供交流電場的一對電極所夾的空間中，相對于上述電極并聯(lián)且連續(xù)地配置有在大氣壓下有反應(yīng)氣體流過的反應(yīng)氣體層和在放電容器的內(nèi)部封入有惰性氣體的惰性氣體層，在上述電極之間產(chǎn)生的放電經(jīng)由反應(yīng)氣體層的等離子放電和惰性氣體層的準(zhǔn)分子放電而產(chǎn)生。本申請第七發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第六發(fā)明中，在上述放電容器上安裝有一個(gè)電極，在內(nèi)部配置有該放電容器的燈罩上安裝有另一個(gè)電極，在燈罩和放電容器之間形成有反應(yīng)氣體層。本申請第八發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第七發(fā)明中，上述一個(gè)電極具有向放電容器的側(cè)面延伸的一個(gè)側(cè)面電極，在與該一個(gè)側(cè)面電極對置的位置上安裝有另一個(gè)側(cè)面電極，該另一個(gè)側(cè)面電極以與上述另一個(gè)電極成為相同電位的方式被提供電力，在上述一個(gè)側(cè)面電極和上述另一個(gè)側(cè)面電極之間具有電介質(zhì)。本申請第九發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第六發(fā)明中，在與放電容器之間配置具有比上述一個(gè)電極大的面積的電介質(zhì)，上述電介質(zhì)的與被處理體對置的面上安裝有一個(gè)電極。本申請第十發(fā)明為一種照射裝置，其特征在于，向內(nèi)部電極和外部電極之間提供交流電場，該內(nèi)部電極配置在形成封入有惰性氣體的惰性氣體層的放電容器的內(nèi)部，該外部電極在上述放電容器的外部夾著在大氣壓下有反應(yīng)氣體流過的反應(yīng)氣體層而配置，在上述外部電極和上述內(nèi)部電極之間產(chǎn)生的放電，經(jīng)由反應(yīng)氣體層的等離子放電和惰性氣體層的準(zhǔn)分子放電而產(chǎn)生。本申請第十一發(fā)明的照射裝置的特征在于，在第十發(fā)明中，對上述內(nèi)部電極提供高電壓。發(fā)明的效果根據(jù)本申請第一 五發(fā)明的照射裝置，對被處理體，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈的紫外線的清潔處理以及基于在準(zhǔn)分子燈和等離子放電用電極之間產(chǎn)生的等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體能夠得到較高的清潔處理能力，對于在僅基于紫外線的清潔處理中難以除去的、具有鍵能量較高的化學(xué)鍵的有機(jī)化合物，也能夠通過基于等離子的清潔處理氧化，因此能夠可靠地除去。此外，根據(jù)本申請第六以及第七發(fā)明的照射裝置，由一對電極產(chǎn)生的放電經(jīng)由反應(yīng)氣體層和惰性氣體層而產(chǎn)生，因此能夠使反應(yīng)氣體層的放電不持續(xù)而停止，從而即使提供正弦波交流電壓也能夠防止等離子放電向電弧放電轉(zhuǎn)移，能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。 此外，對被處理體，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈的紫外線的清潔處理以及基于在準(zhǔn)分子燈和電極之間產(chǎn)生的等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體能夠得到較高的清潔處理能力。此外，根據(jù)本申請第八發(fā)明的照射裝置，在燈罩和放電容器之間形成有反應(yīng)氣體層，因此在向放電容器的側(cè)面延伸的一個(gè)側(cè)面電極和以與電極成為相同電位的方式提供電力的另一個(gè)側(cè)面電極之間，產(chǎn)生等離子放電。因此，能夠?qū)嗟入x子的氣體向被處理體W照射，能夠?qū)⒈惶幚眢wW的表面上附著的有機(jī)化合物更高效地分解、氧化。此外，根據(jù)本申請第九發(fā)明的照射裝置，在與放電容器之間配置具有比電極大的面積的電介質(zhì)，在電介質(zhì)的與被處理體對置的面上安裝電極，由此電極彼此在準(zhǔn)分子燈的放電容器的側(cè)面進(jìn)行放電，能夠防止沿面發(fā)生電弧短路。此外，根據(jù)本申請第十發(fā)明的照射裝置，由一對電極產(chǎn)生的放電經(jīng)由反應(yīng)氣體層和惰性氣體層而產(chǎn)生，因此能夠使反應(yīng)氣體層的放電不持續(xù)而停止，因此即使提供正弦波交流電壓也能夠防止等離子放電向電弧放電轉(zhuǎn)移，能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。此外，對被處理體，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈的紫外線的清潔處理以及基于在準(zhǔn)分子燈和電極之間產(chǎn)生的等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體能夠得到較高的清潔處理能力。此外，根據(jù)本申請第十一發(fā)明的照射裝置，內(nèi)側(cè)電極處于放電容器內(nèi)部的封閉空間內(nèi)，因此通過使內(nèi)側(cè)電極成為高壓側(cè)，能夠容易地實(shí)現(xiàn)絕緣。


圖1是表示第一實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖2是表示圖1的等離子放電用介電膜的變形例的截面圖。圖3是表示圖1的等離子放電用電極的變形例的截面圖。圖4是表示將第一實(shí)施方式的照射裝置的一部分變更的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖5是表示圖4的燈罩的上板的形狀的截面圖。圖6是表示將第一實(shí)施方式的照射裝置的一部分變更的其他照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖7是表示將第一實(shí)施方式的照射裝置的一部分變更的其他照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖8是表示第二實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖9是表示將圖8的等離子放電用電極的設(shè)置位置變更的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖10是表示將圖8的準(zhǔn)分子放電用電極經(jīng)由電介質(zhì)設(shè)置的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖11是表示第三實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖12是表示在圖11的放電容器的下半部分安裝有外部電極的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖13是表示安裝了對圖11的放電容器的整周進(jìn)行覆蓋的網(wǎng)狀電極的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖14是表示第四實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖15是表示第五實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。圖16是表示第六實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。
具體實(shí)施例方式使用圖1 圖7對本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是表示本實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，該照射裝置例如用于對液晶基板等被處理體的表面進(jìn)行干式清潔處理，具有放射波長200nm以下的真空紫外線的準(zhǔn)分子燈110，該準(zhǔn)分子燈110配置在下表面開口的矩形的箱型的燈罩120內(nèi)。此外，在準(zhǔn)分子燈110下方設(shè)置有使被處理體W在水平方向上搬運(yùn)而移動(dòng)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)130。該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)130構(gòu)成為，多個(gè)搬運(yùn)輥131沿著被處理體的搬運(yùn)方向排列配置。準(zhǔn)分子燈110具有氣密地封入準(zhǔn)分子用氣體的矩形的箱型的放電容器111。在該放電容器111的上部側(cè)部分Illa的外表面(圖1中的上表面)設(shè)置有膜狀的一個(gè)電極112， 在放電容器111的下部側(cè)部分Illb的外表面(圖1中的下表面)設(shè)置有網(wǎng)狀的另一個(gè)電極113，一個(gè)電極112以及另一個(gè)電極113分別與高頻電源P連接。在圖示的例子中，一個(gè)電極112成為高壓側(cè)電極，另一個(gè)電極113成為接地側(cè)電極。作為構(gòu)成放電容器111的材料，能夠使用使真空紫外線良好透過的材料，具體地說能夠使用合成石英玻璃等二氧化硅玻璃、藍(lán)寶石玻璃等。作為構(gòu)成一個(gè)電極112以及另一個(gè)電極113的材料，能夠使用鋁、鎳、金等金屬材料。此外，能夠通過對包含上述金屬材料的導(dǎo)電性膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、或者通過對上述金屬材料進(jìn)行真空蒸鍍，來形成一個(gè)電極112 以及另一個(gè)電極113。作為封入放電容器111內(nèi)的準(zhǔn)分子用氣體，能夠使用生成放射真空紫外線的準(zhǔn)分子的氣體，具體地說能夠使用氙、氬、氪等稀有氣體或者將稀有氣體和溴、氯、 碘、氟等鹵素氣體混合的混合氣體等。此外，準(zhǔn)分子用氣體的封入壓力例如為10 80kPa。在準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112上，以覆蓋一個(gè)電極112的方式形成有等離子放電用介電膜115。作為構(gòu)成等離子放電用介電膜115的材料，能夠使用氧化鋁(Al2O3)、二氧化硅(SiO2)等電介質(zhì)材料。此外，能夠通過在一個(gè)電極112的表面上熱噴涂或者熔敷上述電介質(zhì)材料來形成等離子放電用介電膜115。放電容器111的上部側(cè)部分Illa以及下部側(cè)部分Illb各自的厚度優(yōu)選為0. 5 5mm。此外，放電容器111內(nèi)的放電容器111的上部側(cè)部分Illa以及下部側(cè)部分Illb的距離(放電間隙)優(yōu)選為0.05 5mm。此外，等離子放電用介電膜115的厚度優(yōu)選為0. 01 4mm。在該厚度過小的情況下，在等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125之間容易產(chǎn)生電弧放電。另一方面，在該厚度過大的情況下，在等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125之間難以產(chǎn)生等離子放電。燈罩120由形成側(cè)壁的矩形的筒狀側(cè)壁部件121和將側(cè)壁部件121上部的開口堵塞的上板122構(gòu)成。在上板122的內(nèi)表面，例如由鋁形成的長方體狀的等離子放電用電極 125 —體設(shè)置在上板122上。在該等離子放電用電極125上，設(shè)置有分別在水平方向(圖1 中與紙面垂直的方向)貫通延伸的多個(gè)冷卻水管126。準(zhǔn)分子燈110為，以等離子放電用電極125經(jīng)由等離子放電用介電膜115與一個(gè)電極112對置的方式，通過固定板123固定配置在燈罩120內(nèi)，并且等離子放電用電極125接地，由此經(jīng)由準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112 以及等離子放電用電極125形成等離子產(chǎn)生電路。在圖示的例子中構(gòu)成為，通過用于準(zhǔn)分子燈110的準(zhǔn)分子放電的高頻電源P產(chǎn)生等離子體放電，S卩、通過共用的高頻電源P來進(jìn)行準(zhǔn)分子放電以及等離子放電雙方。此外，在上板122內(nèi)表面的與等離子放電用電極125相鄰的位置上設(shè)置有總管(manifold) 127，該總管127用于向準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112和等離子放電用電極125之間提供等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體，在準(zhǔn)分子燈110的側(cè)面位置上設(shè)置有引導(dǎo)部件128，該引導(dǎo)部件1 將在一個(gè)電極112和等離子放電用電極125之間流過的氣體向下方引導(dǎo)。等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125之間的分離距離優(yōu)選為1 10mm。在該分離距離過小的情況下，有時(shí)在等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極 125之間難以流過等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體。另一方面，在該分離距離過大的情況下，在準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112和等離子放電用電極125之間，有時(shí)難以產(chǎn)生等離子放電。在該照射裝置中，在等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125之間，在大氣壓或者其附近的壓力下，從總管127提供流過等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體。作為等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體，優(yōu)選使用以氮?dú)?N2)、氬氣(Ar)、二氧化碳?xì)怏w(CO2)、氦氣(He)等為主要成分、含有氧氣1 2體積％的氣體。此外，等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體的每單位長度的流量優(yōu)選為每Im為0. 5 4m3/s。在準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112和另一個(gè)電極113之間，將一個(gè)電極112作為高壓側(cè)電極、將另一個(gè)電極113作為接地側(cè)電極，通過高頻電源P施加高頻電場，通過該高頻電場在準(zhǔn)分子燈110的放電容器111內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，通過該準(zhǔn)分子放電形成由準(zhǔn)分子用氣體產(chǎn)生的準(zhǔn)分子，由此放射真空紫外線。另一方面，在準(zhǔn)分子燈Iio的一個(gè)電極112和等離子放電用電極125之間，將一個(gè)電極112作為高壓側(cè)電極、將等離子放電用電極125作為接地側(cè)電極，在大氣壓或者其附近的壓力下，通過高頻電源P施加高頻電場，通過該高頻電場在等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125之間產(chǎn)生等離子放電(輝光放電)， 通過該等離子放電使等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體電離或者激勵(lì)而生成等離子。以上，從高頻電源P提供的電力，其頻率優(yōu)選為10 IOOkHz的高頻，其電壓優(yōu)選為IkVrms 數(shù)IOkVrms的高電壓。由此，等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極 125之間的放電狀態(tài)，不會(huì)從輝光放電向電弧放電轉(zhuǎn)移，能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。此外， 準(zhǔn)分子放電以及等離子放電的開始電壓，根據(jù)放電空間的壓力、放電間隙的大小以及氣體種類等來決定，但優(yōu)選設(shè)定為，等離子放電的開始電壓比準(zhǔn)分子放電的開始電壓高，等離子放電比準(zhǔn)分子放電例如延遲數(shù)微秒期間而產(chǎn)生。通過滿足這種條件，放射基于準(zhǔn)分子放電的真空紫外線而產(chǎn)生光電子，因此能夠容易并且穩(wěn)定地產(chǎn)生等離子放電。在準(zhǔn)分子燈110的下方，在通過搬運(yùn)機(jī)構(gòu)130向水平方向移動(dòng)的被處理體W的表面，照射從準(zhǔn)分子燈110放射的真空紫外線，并且通過真空紫外線產(chǎn)生的臭氧等活性氧與被處理體W的表面接觸，由此在被處理體W的表面上附著的有機(jī)化合物被分解、氧化。并且， 包含在等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125之間生成的等離子的氣體，通過準(zhǔn)分子燈110的側(cè)面和引導(dǎo)部件1 而向下方引導(dǎo)，與通過搬運(yùn)機(jī)構(gòu)130而向水平方向移動(dòng)的被處理體W的表面接觸，由此在被處理體W的表面上附著的有機(jī)化合物被分解、氧化。 在此，有機(jī)化合物中的C-C鍵、C-H鍵、C = C鍵等化學(xué)鍵，由于鍵能量比較低，因此能夠通過真空紫外線的能量切斷，并且，能夠通過與由真空紫外線產(chǎn)生的活性氧進(jìn)行反應(yīng)而氧化并氣化。另一方面，C = 0鍵等化學(xué)鍵，由于鍵能量較高，因此不能夠通過真空紫外線的能量切斷，但是能夠通過由等離子放電產(chǎn)生的氧自由基等而氧化并氣化。如此，對于被處理體W 進(jìn)行基于真空紫外線的清潔處理以及基于等離子的清潔處理。根據(jù)該照射裝置，對于被處理體W，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈110的真空紫外線的清潔處理以及基于在準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112和等離子放電用電極125之間產(chǎn)生的等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體W得到較高的清潔處理能力。此外，對于具有僅通過基于真空紫外線的清潔處理難以除去的鍵能量較高的化學(xué)鍵的有機(jī)化合物，也能夠通過基于等離子的清潔處理來氧化并氣化，因此能夠可靠地除去。在本實(shí)施方式的照射裝置中，不限定于圖1所示的構(gòu)成，能夠如下述⑴ (6)說明的那樣施加各種變更。(1)如圖2所示那樣，在等離子放電用介電膜115的表面上，能夠形成多個(gè)電場集中用凸部115a。此外，如圖3所示那樣，在等離子放電用電極125的表面上能夠形成多個(gè)電場集中用凸部12fe。在這種照射裝置中，等離子放電用介電膜115的電場集中用凸部11 和等離子放電用電極125、或者等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125的電場集中用凸部12 可以分離也可以接觸，其分離距離優(yōu)選為2mm以下。此外，等離子放電用介電膜115的電場集中用凸部11 或者等離子放電用電極125的電場集中用凸部12 的突出高度，分別優(yōu)選為3 10mm。通過這種構(gòu)成，在等離子放電用介電膜115的電場集中用凸部11 和等離子放電用電極125之間、或者等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125的電場集中用凸部12 之間，集中產(chǎn)生高頻電場，得到沿面放電以及均勻電場型放電復(fù)合了的放電狀態(tài)， 因此能夠使用于等離子放電的啟動(dòng)開始電壓降低，此外，即使在工作中由于產(chǎn)生放電容器 111的熱膨脹而等離子放電用介電膜115和等離子放電用電極125之間的距離變化的情況下，也能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。(2)能夠不設(shè)置專用的等離子放電用電極，而將燈罩的一部分、例如圖4所示那樣將燈罩120的上板122利用為等離子放電用電極125，在這種構(gòu)成中，如圖5所示那樣，將上板122形成為波紋狀，由此能夠形成電場集中用凸部12fe。(3)如圖6所示那樣，等離子放電用介電膜115也可以形成在等離子放電用電極 125的表面上。(4)如圖7所示那樣，準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112也可以配置在放電容器111的內(nèi)部。在這種構(gòu)成中，能夠?qū)?zhǔn)分子燈Iio的放電容器111的上部側(cè)部分Illa利用為等離子放電用的電介質(zhì)。通過這種構(gòu)成，在一個(gè)電極112和放電容器111的下部側(cè)部分Illb之間產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，并且在一個(gè)電極112和放電容器111的上部側(cè)部分Illa之間產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電。因此，成為在一個(gè)電極112和等離子放電用電極125之間產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電以及等離子放電雙方的狀態(tài)，容易進(jìn)行放電狀態(tài)的控制。(5)在圖1所示的照射裝置中構(gòu)成為，準(zhǔn)分子放電以及等離子放電雙方通過共用的高頻電源P來進(jìn)行，但用于等離子放電的高頻電源也可以構(gòu)成為，與用于準(zhǔn)分子燈110的準(zhǔn)分子放電的高頻電源相獨(dú)立地設(shè)置。(6)在圖1所示的照射裝置中，準(zhǔn)分子燈110的一個(gè)電極112成為高壓側(cè)電極、等離子放電用電極125成為接地側(cè)電極，但也可以構(gòu)成為，等離子放電用電極125成為高壓側(cè)電極。接下來，使用圖8 圖10對本發(fā)明第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖8是表示第二實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，在燈罩220的內(nèi)部配置準(zhǔn)分子燈210，在準(zhǔn)分子燈210的下方設(shè)置有使被處理體W在水平方向上搬運(yùn)而移動(dòng)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)230。燈罩220被配置為，形成側(cè)壁的側(cè)壁部件221a、221b相面對，以將側(cè)壁部件221a、221b的上部的開口堵塞的方式形成頂板222。通過將燈罩220分為側(cè)壁部件221a、221b和頂板222地構(gòu)成，由此能夠使頂板222 為開閉式而對配置在燈罩220內(nèi)部的準(zhǔn)分子燈210進(jìn)行更換。搬運(yùn)機(jī)構(gòu)230構(gòu)成為，多個(gè)搬運(yùn)輥231沿著被處理體W的搬運(yùn)方向排列配置。在燈罩220的頂板222的內(nèi)表面，例如設(shè)置有由鋁形成的長方體狀的等離子放電用電極225。在等離子放電用電極225的內(nèi)部，設(shè)置有沿著準(zhǔn)分子燈210的長邊方向水平地延伸的多個(gè)冷卻水管226。在一個(gè)側(cè)壁部件221a和等離子放電用電極225之間，設(shè)置有用于向準(zhǔn)分子燈210和等離子放電用電極225之間提供反應(yīng)氣體的總管227。作為反應(yīng)氣體，優(yōu)選使用如下氣體以氮?dú)?N2)、氬氣(Ar)、二氧化碳?xì)怏w(CO2)、氦氣(He)等為主要成分，含有1 2體積％氧氣。此外，使每單位長度的流量以每Im成為0. 5 4m3/s的方式流過。反應(yīng)氣體在大氣壓或者其附近的壓力下，從總管227向等離子放電用電極225和準(zhǔn)分子燈210之間流動(dòng)，并從與另一個(gè)側(cè)壁部件221b之間的間隙朝向準(zhǔn)分子燈210下方的被處理體W流動(dòng)，由此所產(chǎn)生的等離子向被處理體W照射。以使反應(yīng)氣體不沿著一個(gè)側(cè)壁部件221a流出的方式，將固定板223配置為與準(zhǔn)分子燈210的側(cè)面接觸。此外，在與另一個(gè)側(cè)壁部件221b之間，隔著向與準(zhǔn)分子燈210的側(cè)面之間流過反應(yīng)氣體的間隙而配置有引導(dǎo)部件2W。準(zhǔn)分子燈210為，在合成石英玻璃等二氧化硅玻璃、藍(lán)寶石等能夠使真空紫外線良好透過的剖面矩形狀、中空長尺的放電容器211的內(nèi)部，例如以10 SOltfa氣密地封入有稀有氣體、或者由將稀有氣體和鹵素氣體混合的混合氣體形成的惰性氣體。在放電容器 211的與被處理體W對置的下表面211b的外表面，設(shè)置有網(wǎng)狀的準(zhǔn)分子放電用電極213。準(zhǔn)分子放電用電極213由鋁、鎳、金等金屬材料形成，通過對含有這些金屬材料的導(dǎo)電性膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、或者對金屬材料進(jìn)行真空蒸鍍來形成。等離子放電用電極225以及準(zhǔn)分子放電用電極213，與提供正弦波交流電壓的高頻電源P連接。從高頻電源P提供的電力，例如頻率為10 IOOkHz、電壓為IkVrms 數(shù) IOkVrms0在等離子放電用電極225和準(zhǔn)分子放電用電極213之間，以連續(xù)夾持的方式配置有在放電容器211的內(nèi)部封入有惰性氣體的惰性氣體層214和在大氣壓下有反應(yīng)氣體流過的反應(yīng)氣體層224。因此，等離子放電用電極225和準(zhǔn)分子放電用電極213的放電，隔著準(zhǔn)分子燈210的上表面211a而經(jīng)由等離子放電和準(zhǔn)分子放電。在惰性氣體層214產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電而形成準(zhǔn)分子，并放射真空紫外線。此外，通過對反應(yīng)氣體層2M施加的高頻電場產(chǎn)生等離子放電，反應(yīng)氣體2M被電離或者激勵(lì)而生成等離子。然后，對通過搬運(yùn)機(jī)構(gòu)230在水平方向上移動(dòng)的被處理體W的表面，照射從準(zhǔn)分子燈210放射的真空紫外線，并且使由真空紫外線產(chǎn)生的臭氧等活性氧與被處理體W的表面接觸，由此在被處理體W的表面上附著的有機(jī)化合物被分解、氧化。并且，含有等離子的氣體通過準(zhǔn)分子燈210的側(cè)面和引導(dǎo)部件228向下方引導(dǎo)，與被處理體W的表面接觸，由此在被處理體W的表面上附著的有機(jī)化合物被分解、氧化。對被處理體W，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈210的真空紫外線的清潔處理以及基于等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體 W得到較高的清潔處理能力。準(zhǔn)分子放電以及等離子放電的開始電壓，根據(jù)放電空間的壓力、放電間隙的大小、 氣體種類等來決定，但優(yōu)選設(shè)定為，等離子放電的開始電壓比準(zhǔn)分子放電的開始電壓高，等離子放電比準(zhǔn)分子放電例如延遲數(shù)微秒期間地產(chǎn)生。以滿足這種條件的方式，設(shè)定反應(yīng)氣體層2M和惰性氣體層214的放電間隙大小及惰性氣體層214的氣壓。例如，使反應(yīng)氣體層224的放電間隙的大小即準(zhǔn)分子燈210和等離子放電用電極225之間的分離距離為1 10mm，使惰性氣體層214的放電間隙即放電容器211的上表面211a和下表面211b之間的距離為0. 05 5_。對將等離子放電用電極225作為高電壓產(chǎn)生側(cè)而提供正弦波交流電壓的情況進(jìn)行說明。通過對準(zhǔn)分子放電用電極213施加的高電壓，在準(zhǔn)分子燈210的下表面211b充電電荷，當(dāng)基于所蓄積的電荷的電壓達(dá)到準(zhǔn)分子放電的開始電壓時(shí)，在惰性氣體層214中產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電。并且，通過在惰性氣體層214中的準(zhǔn)分子放電，在準(zhǔn)分子燈210的上表面 211a進(jìn)一步充電電荷，當(dāng)達(dá)到等離子放電的放電開始電壓時(shí)，在反應(yīng)氣體層224中產(chǎn)生等離子放電。然而，在惰性氣體層214中，由于準(zhǔn)分子放電而準(zhǔn)分子燈210的上表面211a和下表面211b之間的電壓降低，因此放電不會(huì)維持而停止。并且，由于準(zhǔn)分子放電的停止，向反應(yīng)氣體層224的電流被限制而等離子放電也停止。當(dāng)使所施加的高壓電壓進(jìn)一步上升時(shí)， 上述狀態(tài)在達(dá)到最大電壓之前反復(fù)產(chǎn)生而進(jìn)行放電。能夠使反應(yīng)氣體層224的放電不持續(xù)而停止，因此能夠防止向電弧放電轉(zhuǎn)移。通過等離子放電用電極225的極性反轉(zhuǎn)，由此再次產(chǎn)生上述放電。在等離子放電用電極225和準(zhǔn)分子放電用電極213之間所夾的空間中，反應(yīng)氣體層2M和惰性氣體層214相對于電極213、225排列配置，由此由一對電極225、213產(chǎn)生的放電經(jīng)由反應(yīng)氣體層2M和惰性氣體層214產(chǎn)生。通過成為這種構(gòu)成，能夠使反應(yīng)氣體層 2M的放電不持續(xù)而停止，因此即使提供正弦波交流電壓也能夠防止等離子放電向電弧放電轉(zhuǎn)移，能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。圖9是表示第二實(shí)施方式的照射裝置中將等離子放電用電極225的設(shè)置位置變更了的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。在圖8中，將等離子放電用電極225配置在燈罩220內(nèi)部，在向等離子放電用電極 225提供高電壓的情況下，有時(shí)難以對與燈罩220及其他部件之間進(jìn)行絕緣。為了避免這種問題，如圖9所示那樣，與燈罩220的頂板222相獨(dú)立，從頂板222懸吊地配置等離子放電用電極225。通過成為這種構(gòu)成，容易進(jìn)行等離子放電用電極225的絕緣。圖10是表示在第二實(shí)施方式的照射裝置中經(jīng)由電介質(zhì)215設(shè)置準(zhǔn)分子放電用電極213的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，不將準(zhǔn)分子放電用電極213直接安裝到放電容器211上，而在與放電容器211之間配置具有比準(zhǔn)分子放電用電極213大的面積的電介質(zhì)215，在電介質(zhì)215 的與被處理體W對置的面上安裝有準(zhǔn)分子放電用電極213。通過如此經(jīng)由電介質(zhì)215，由此準(zhǔn)分子放電用電極213和等離子放電用電極225，能夠在準(zhǔn)分子燈210的放電容器211的側(cè)面進(jìn)行放電，在沿面上不會(huì)電弧短路(arc short)。通過在電介質(zhì)215和準(zhǔn)分子燈210之間也流過反應(yīng)氣體，由此在等離子放電用電極225和準(zhǔn)分子放電用電極213之間產(chǎn)生的放電中，增加了在電介質(zhì)和準(zhǔn)分子燈210之間產(chǎn)生的等離子放電，由產(chǎn)生等離子放電的反應(yīng)氣體層2M所夾而存在產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電的惰性氣體層214。接下來，使用圖11 圖13對本發(fā)明第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖11是表示本實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，準(zhǔn)分子燈240構(gòu)成為，具有外側(cè)管243和內(nèi)側(cè)管242配置在同軸上的雙重管構(gòu)造的放電容器241，在外側(cè)管243和內(nèi)側(cè)管242所包圍的空間中封入惰性氣體。在準(zhǔn)分子燈240上方配置有由鋁形成的槽狀的反射鏡251。在準(zhǔn)分子燈240和反射鏡 251之間，反應(yīng)氣體在大氣壓下流過，漏出的氣體朝向被處理體流出。在準(zhǔn)分子燈240的內(nèi)側(cè)管242的內(nèi)周面上形成有由圓筒狀的金屬部件形成的內(nèi)側(cè)電極M4，將反射鏡251作為另一個(gè)電極，而與提供正弦波交流電壓的高頻電源P連接。內(nèi)側(cè)電極244處于內(nèi)側(cè)管242內(nèi)側(cè)的封閉的空間內(nèi)，因此通過使內(nèi)側(cè)電極244為高壓側(cè)、使反射鏡251為低壓側(cè)，由此能夠容易地實(shí)現(xiàn)絕緣。在內(nèi)側(cè)電極M4的上半部分側(cè)與反射鏡251之間，連續(xù)夾持地配置有在放電容器 241的內(nèi)部封入了惰性氣體的惰性氣體層245和在大氣壓下流過反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體層 252。通過成為這種構(gòu)成，能夠使反應(yīng)氣體層252的放電不持續(xù)而停止，因此即使提供正弦波交流電壓，也能夠防止等離子放電向電弧放電轉(zhuǎn)移，能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。此外， 對于被處理體，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈MO的真空紫外線的清潔處理以及基于等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體得到較高的清潔處理能力。圖12是表示在第三實(shí)施方式的照射裝置中在放電容器Ml的下側(cè)一半安裝外部電極M6的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，在準(zhǔn)分子燈MO的放電容器Ml的外側(cè)管M3的下側(cè)一半安裝外部電極M6，使外部電極246接地。對放電容器Ml的下側(cè)一半所封入的惰性氣體，由內(nèi)側(cè)電極244和外側(cè)電極246夾著而施加高電壓，進(jìn)行準(zhǔn)分子放電。在圖11所示的照射裝置中，僅內(nèi)側(cè)電極244的上半部分側(cè)有助于放電，但在圖12所示的照射裝置中，通過在外側(cè)管 243的下側(cè)一半安裝外部電極M6，由此能夠使內(nèi)側(cè)電極M4的下半部分側(cè)也有助于放電， 能夠?qū)Ρ惶幚眢w提高清潔處理能力。圖13是表示在第三實(shí)施方式的照射裝置中不安裝反射鏡251、而安裝對放電容器 241的整周進(jìn)行覆蓋的網(wǎng)狀電極M7的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，安裝有網(wǎng)狀電極M7，該網(wǎng)狀電極247對放電容器241周圍的整周經(jīng)由反應(yīng)氣體層252進(jìn)行覆蓋。網(wǎng)狀電極247形成為，經(jīng)由惰性氣體層245和反應(yīng)氣體層252夾著該內(nèi)側(cè)電極244的整周。通過構(gòu)成這種網(wǎng)狀電極M7，能夠在包圍內(nèi)側(cè)電極M4 的全部區(qū)域中產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電和等離子放電。接下來，使用圖14對本發(fā)明第四實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖14是表示本實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，該照射裝置，在將反應(yīng)氣體引導(dǎo)為朝向準(zhǔn)分子燈210下方的被處理體W流動(dòng)的引導(dǎo)部件2 上安裝有側(cè)面電極229，并以與等離子放電用電極225成為相同電位的方式提供電力。在引導(dǎo)部件228的表面上，形成有由氧化鋁(Al2O3)、二氧化硅 (SiO2)等電介質(zhì)材料形成的電介質(zhì)219。在放電容器211的下表面211b上形成的準(zhǔn)分子放電用電極213形成為，延伸到與引導(dǎo)部件2 相面對的側(cè)面212。在準(zhǔn)分子燈210和引導(dǎo)部件2 之間流過反應(yīng)氣體，因此在延伸到側(cè)面212的準(zhǔn)分子放電用電極213和經(jīng)由電介質(zhì)219對置的側(cè)面電極2 之間，產(chǎn)生等離子放電。反應(yīng)氣體在即將與被處理體W的表面接觸之前產(chǎn)生等離子放電，由此將含有更多等離子的氣體向被處理體W照射，在被處理體W的表面上附著的有機(jī)化合物被更高效地分解、氧化。接下來，使用圖15對本發(fā)明第五實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖15是表示本實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，該照射裝置為，在燈罩320內(nèi)部配置有準(zhǔn)分子燈310，在準(zhǔn)分子燈310下方設(shè)置有使被處理體W在水平方向上搬運(yùn)而移動(dòng)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)330。燈罩320被配置為，與形成側(cè)壁的側(cè)壁部件321a、321b相面對，以將側(cè)壁部件321a、321b上部的開口堵塞的方式形成有頂板322。將燈罩320分為側(cè)壁部件321a、321b和頂板322而構(gòu)成，由此使頂板322為開閉式，而能夠?qū)ε渲迷跓粽?20內(nèi)部的準(zhǔn)分子燈310進(jìn)行更換。搬運(yùn)機(jī)構(gòu)330 構(gòu)成為，多個(gè)搬運(yùn)輥331沿著被處理體W的搬運(yùn)方向排列配置。在燈罩320的頂板322的內(nèi)表面上，設(shè)置有例如由鋁形成的長方體狀的外側(cè)電極 325。在外側(cè)電極325的內(nèi)部，設(shè)置有沿著準(zhǔn)分子燈310的長邊方向水平地延伸的多個(gè)冷卻水管326。在一個(gè)側(cè)壁部件321a和外側(cè)電極325之間設(shè)置有總管327，向準(zhǔn)分子燈310和外側(cè)電極325之間提供反應(yīng)氣體。作為反應(yīng)氣體優(yōu)選使用如下氣體以氮?dú)?N2)、氬氣(Ar)、 二氧化碳?xì)怏w(CO2)、氦氣(He)等為主要成分，含有1 2體積％的氧氣。此外，使每單位長度的流量以每Im成為0. 5 4m3/S方式流過。反應(yīng)氣體在大氣壓或者其附近的壓力下，從總管327向外側(cè)電極325和準(zhǔn)分子燈 310之間流動(dòng)，從與另一個(gè)側(cè)壁部件321b之間的間隙朝向準(zhǔn)分子燈310下方的被處理體W 流動(dòng)，由此所產(chǎn)生的等離子向被處理體W照射。為了使反應(yīng)氣體不沿著一個(gè)側(cè)壁部件321a流出，以與準(zhǔn)分子燈310的側(cè)面接觸的方式配置有固定板323。此外，在與另一個(gè)側(cè)壁部件 321b之間，夾著在與準(zhǔn)分子燈310的側(cè)面之間流過反應(yīng)氣體的間隙而配置有引導(dǎo)部件328。準(zhǔn)分子燈310為，在合成石英玻璃等二氧化硅玻璃、藍(lán)寶石等真空紫外線良好透過的剖面矩形狀、中空長尺的放電容器311的內(nèi)部，稀有氣體或者由將稀有氣體和鹵素氣體混合的混合氣體形成的惰性氣體、例如以10 SOltfa氣密地封入。在放電容器311內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)側(cè)電極313。內(nèi)側(cè)電極313由鋁、鎳、金等金屬材料形成，通過在放電容器311內(nèi)部進(jìn)行支撐、或者在放電容器311的內(nèi)表面上對導(dǎo)電性膏進(jìn)行絲網(wǎng)印刷等來形成。外側(cè)電極325以及內(nèi)側(cè)電極313與提供正弦波交流電壓的高頻電源P連接。從高頻電源P提供的電力例如頻率為10 100kHz、電壓為IkVrms 數(shù)lOkVrms。在外側(cè)電極 325和內(nèi)側(cè)電極313之間，以連續(xù)地夾持的方式配置有在放電容器311內(nèi)部封入了惰性氣體的惰性氣體層314、以及在大氣壓下有反應(yīng)氣體流過的反應(yīng)氣體層324。因此，外側(cè)電極 325和內(nèi)側(cè)電極313的放電，隔著準(zhǔn)分子燈310的上表面311a而經(jīng)由等離子放電和準(zhǔn)分子放電。在由內(nèi)側(cè)電極313和放電容器311的上表面311a所夾著的惰性氣體層314中產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電而形成準(zhǔn)分子，并放射真空紫外線。此外，通過對反應(yīng)氣體層3M施加的高頻電場產(chǎn)生等離子放電，反應(yīng)氣體3M被電離或者激勵(lì)而生成等離子。然后，對通過搬運(yùn)機(jī)構(gòu) 330在水平方向上移動(dòng)的被處理體W的表面，照射從準(zhǔn)分子燈310放射的真空紫外線，并且使由真空紫外線產(chǎn)生的臭氧等活性氧與被處理體W的表面接觸，由此在被處理體W的表面上附著的有機(jī)化合物被分解、氧化。并且，含有等離子的氣體通過準(zhǔn)分子燈310的側(cè)面和引導(dǎo)部件3 被向下方引導(dǎo)，并與被處理體W的表面接觸，由此在被處理體W的表面上附著的有機(jī)化合物被分解、氧化。對于被處理體W，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈310的真空紫外線的清潔處理以及基于等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體W得到較高的清潔處理能力。準(zhǔn)分子放電以及等離子放電的開始電壓，根據(jù)放電空間的壓力、放電間隙的大小、 氣體種類等來決定，但是優(yōu)選設(shè)定為，等離子放電的開始電壓比準(zhǔn)分子放電的開始電壓高、 等離子放電比準(zhǔn)分子放電例如延遲數(shù)微秒期間地產(chǎn)生。以滿足這種條件的方式設(shè)定反應(yīng)氣體層3M和惰性氣體層314的放電間隙的大小以及惰性氣體層314的氣壓。例如，使反應(yīng)氣體層324的放電間隙的大小即準(zhǔn)分子燈310和外側(cè)電極325之間的分離距離為1 10mm， 使惰性氣體層314的放電間隙即放電容器311的上表面311a和內(nèi)側(cè)電極313之間的距離為 0. 05 5mmο對將內(nèi)側(cè)電極313作為高電壓產(chǎn)生側(cè)而提供正弦波交流電壓的情況進(jìn)行說明。通過對內(nèi)側(cè)電極313施加的高電壓而蓄積電荷，當(dāng)電壓達(dá)到準(zhǔn)分子放電的開始電壓時(shí)，在惰性氣體層314中產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電。通過惰性氣體層314中的準(zhǔn)分子放電，在準(zhǔn)分子燈310 的上表面311a進(jìn)一步充電電荷，當(dāng)達(dá)到等離子放電的放電開始電壓時(shí)，在反應(yīng)氣體層324 中產(chǎn)生等離子放電。然而，在惰性氣體層314中，由于準(zhǔn)分子放電而內(nèi)側(cè)電極313和準(zhǔn)分子燈310的下表面311b之間的電壓降低，因此放電不維持而停止。并且，由于準(zhǔn)分子放電的停止，向反應(yīng)氣體層324的電流被限制而等離子放電也停止。當(dāng)使所施加的高壓電壓進(jìn)一步上升時(shí)，上述狀態(tài)在到達(dá)最大電壓之前反復(fù)產(chǎn)生而進(jìn)行放電。能夠使反應(yīng)氣體層324的放電不持續(xù)而停止，因此能夠防止向電弧放電的轉(zhuǎn)移。通過等離子放電用電極325的極性進(jìn)行反轉(zhuǎn)，再次產(chǎn)生上述放電。在外側(cè)電極325和內(nèi)側(cè)電極313之間所夾的空間中，反應(yīng)氣體層3M和惰性氣體層314相對于內(nèi)側(cè)電極313和外側(cè)電極325排列配置，由此在內(nèi)側(cè)電極313和外側(cè)電極325 之間產(chǎn)生的放電經(jīng)由反應(yīng)氣體層3M和惰性氣體層314產(chǎn)生。通過成為這種構(gòu)成，能夠使反應(yīng)氣體層324的放電不持續(xù)而停止，因此即使提供正弦波交流電壓，也能夠防止等離子放電向電弧放電轉(zhuǎn)移，能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。此外，內(nèi)側(cè)電極313處于放電容器311內(nèi)部的封閉的空間內(nèi)，因此通過使內(nèi)側(cè)電極 313為高壓側(cè)，能夠容易地實(shí)現(xiàn)燈罩320以及被處理體W的絕緣。接下來，使用圖16對本發(fā)明的第6實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖16是表示本實(shí)施方式的照射裝置的構(gòu)成的截面圖。如該圖所示那樣，該照射裝置為，準(zhǔn)分子燈340在封入了惰性氣體的圓筒狀的放電容器341內(nèi)部，配置有圓筒狀的內(nèi)側(cè)電極342。在準(zhǔn)分子燈340上方配置有由鋁形成的槽狀的反射鏡351。在放電容器341和反射鏡351之間，反應(yīng)氣體在大氣壓下流過，漏出的氣體朝向被處理體流出。放電容器341內(nèi)部所配置的內(nèi)側(cè)電極342，將反射鏡351作為另一個(gè)電極而成為一對，與提供正弦波交流電壓的高頻電源P連接。內(nèi)側(cè)電極342處于放電容器341內(nèi)部的封閉的空間內(nèi)，因此通過使內(nèi)側(cè)電極342為高壓側(cè)、反射鏡351為低壓側(cè)，能夠容易地實(shí)現(xiàn)絕緣。內(nèi)側(cè)電極342的上半部分側(cè)被配置為，在與反射鏡351之間連續(xù)地夾著在放電容器341內(nèi)部封入了惰性氣體的惰性氣體層343和在大氣壓下流過反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體層 352。通過成為這種構(gòu)成，能夠使反應(yīng)氣體層352的放電不持續(xù)而停止，因此即使提供正弦波交流電壓，也能夠防止等離子放電向電弧放電轉(zhuǎn)移，能夠穩(wěn)定地維持等離子放電。此外， 對于被處理體，能夠進(jìn)行基于來自準(zhǔn)分子燈340的真空紫外線的清潔處理以及基于等離子的清潔處理雙方，因此對于被處理體得到較高的清潔處理能力。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的照射裝置，在半導(dǎo)體元件以及液晶基板的制造工序中，能夠良好地用于晶片及玻璃基板等基板的干式清潔。符號的說明110準(zhǔn)分子燈111放電容器Illa上部側(cè)部分Illb下部側(cè)部分112 —個(gè)電極113另一個(gè)電極115等離子放電用介電膜11 電場集中用凸部120 燈罩121側(cè)壁部件122 上板
123固定板125等離子放電用電極12 電場集中用凸部1 冷卻水管127 總管1 引導(dǎo)部件130搬運(yùn)機(jī)構(gòu)131搬運(yùn)輥210準(zhǔn)分子燈211放電容器212 側(cè)面213準(zhǔn)分子放電用電極214惰性氣體層215電介質(zhì)219電介質(zhì)220 燈罩221側(cè)壁部件222 頂板223固定板2 反應(yīng)氣體層225等離子放電用電極2 冷卻水管227 總管2 引導(dǎo)部件2 側(cè)面電極230搬運(yùn)機(jī)構(gòu)231搬運(yùn)輥240準(zhǔn)分子燈241放電容器242內(nèi)側(cè)管243外側(cè)管M4內(nèi)側(cè)電極245惰性氣體層246外部電極247網(wǎng)狀電極251反射鏡252反應(yīng)氣體層310準(zhǔn)分子燈311放電容器
313內(nèi)側(cè)電極314惰性氣體層320 燈罩321側(cè)壁部件322 頂板323固定板3 反應(yīng)氣體層325外側(cè)電極3 冷卻水管327 總管3 引導(dǎo)部件330搬運(yùn)機(jī)構(gòu)331搬運(yùn)輥340準(zhǔn)分子燈341放電容器342內(nèi)側(cè)電極343惰性氣體層351反射鏡352反應(yīng)氣體層P高頻電源W被處理體
權(quán)利要求
1.一種照射裝置，其特征在于，具備準(zhǔn)分子燈，具有放電容器以及一對電極；和等離子放電用電極，經(jīng)由電介質(zhì)與該準(zhǔn)分子燈的一個(gè)電極對置配置，經(jīng)由上述準(zhǔn)分子燈的上述一個(gè)電極以及上述等離子放電用電極形成等離子產(chǎn)生電路， 通過對上述準(zhǔn)分子燈的一對電極之間施加的高頻電場，在上述放電容器內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，并且在上述準(zhǔn)分子燈和上述等離子放電用電極之間流過等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體的狀態(tài)下，通過在上述準(zhǔn)分子燈的上述一個(gè)電極和上述等離子放電用電極之間施加的高頻電場， 產(chǎn)生等離子放電。
2.如權(quán)利要求1所述的照射裝置，其特征在于，在上述電介質(zhì)的表面形成有電場集中用凸部。
3.如權(quán)利要求1所述的照射裝置，其特征在于，在上述等離子放電用電極的表面形成有電場集中用凸部。
4.如權(quán)利要求1所述的照射裝置，其特征在于，具備配置上述準(zhǔn)分子燈的燈罩，在該燈罩中一體地設(shè)置有上述等離子放電用電極。
5.如權(quán)利要求1所述的照射裝置，其特征在于，通過用于準(zhǔn)分子放電的高頻電源產(chǎn)生上述等離子放電。
6.一種照射裝置，其特征在于，在提供交流電場的一對電極所夾的空間中，相對于上述電極并聯(lián)且連續(xù)地配置有在大氣壓下有反應(yīng)氣體流過的反應(yīng)氣體層和在放電容器的內(nèi)部封入有惰性氣體的惰性氣體層，在上述電極之間產(chǎn)生的放電經(jīng)由反應(yīng)氣體層的等離子放電和惰性氣體層的準(zhǔn)分子放電而產(chǎn)生。
7.如權(quán)利要求6所述的照射裝置，其特征在于，在上述放電容器上安裝有一個(gè)電極，在內(nèi)部配置有該放電容器的燈罩上安裝有另一個(gè)電極，在燈罩和放電容器之間形成有反應(yīng)氣體層。
8.如權(quán)利要求7所述的照射裝置，其特征在于，上述一個(gè)電極具有向放電容器的側(cè)面延伸的一個(gè)側(cè)面電極，在與該一個(gè)側(cè)面電極對置的位置上安裝有另一個(gè)側(cè)面電極，該另一個(gè)側(cè)面電極以與上述另一個(gè)電極成為相同電位的方式被提供電力，在上述一個(gè)側(cè)面電極和上述另一個(gè)側(cè)面電極之間具有電介質(zhì)。
9.如權(quán)利要求6所述的照射裝置，其特征在于，在與放電容器之間配置具有比上述一個(gè)電極大的面積的電介質(zhì)，上述電介質(zhì)的與被處理體對置的面上安裝有一個(gè)電極。
10.一種照射裝置，其特征在于，向內(nèi)部電極和外部電極之間提供交流電場，該內(nèi)部電極配置在形成封入有惰性氣體的惰性氣體層的放電容器的內(nèi)部，該外部電極在上述放電容器的外部夾著在大氣壓下有反應(yīng)氣體流過的反應(yīng)氣體層而配置，在上述外部電極和上述內(nèi)部電極之間產(chǎn)生的放電，經(jīng)由反應(yīng)氣體層的等離子放電和惰性氣體層的準(zhǔn)分子放電而產(chǎn)生。
11.如權(quán)利要求10所述的照射裝置，其特征在于，對上述內(nèi)部電極提供高電壓。
全文摘要
提供一種照射裝置，得到高清潔處理能力并且對于具有鍵能量高的化學(xué)鍵的有機(jī)化合物也能夠可靠地除去。具備準(zhǔn)分子燈(110)，具有放電容器(111)以及一對電極(112、113)；和等離子放電用電極(125)，經(jīng)由電介質(zhì)與一個(gè)電極(112)對置配置，經(jīng)由一個(gè)電極(112)以及等離子放電用電極(125)形成等離子產(chǎn)生電路，通過對準(zhǔn)分子燈(110)的一對電極之間(112、113)施加的高頻電場在放電容器(111)內(nèi)產(chǎn)生準(zhǔn)分子放電，并且在準(zhǔn)分子燈(110)和等離子放電用電極(125)之間流過等離子產(chǎn)生用反應(yīng)氣體的狀態(tài)下，通過對一個(gè)電極(112)和等離子放電用電極(125)之間施加的高頻電場產(chǎn)生等離子放電。
文檔編號H05H1/24GK102473585SQ201080027548
公開日2012年5月23日 申請日期2010年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月17日
發(fā)明者中村雅規(guī), 奧村寬 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社