光照射方法和設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光照射方法和設備，且更確切地說，涉及用于在于過程控制模塊中發(fā)生異常時防止襯底在長時間內曝露于光且受到損害的光照射方法和設備。
【背景技術】
[0002]通常，將玻璃襯底用作例如有機發(fā)光二極管顯示器等平板顯示器裝置的襯底。借助于干凈的、激光退火、曝光和蝕刻工藝將此類玻璃襯底制造成平板顯示器裝置。
[0003]此處，激光退火工藝是用于通過用激光照射玻璃襯底而使非晶形和多晶薄膜結晶的工藝。此類工藝和工藝所應用于的裝置當前按各種類型來實施。舉例來說，第2013-0071288號韓國專利申請案早期公開案揭示了激光處理裝置和其控制方法，且第0780291號韓國專利揭示了激光退火裝置。
[0004]此外，在過程期間，當在控制過程的主系統(tǒng)中發(fā)生異常時，難以控制執(zhí)行過程的每一裝置。明確地說，在其中擋閘開啟的狀態(tài)下(擋閘起到阻擋照射在玻璃襯底上的激光的作用)，存在以下情況:其中，當用激光照射玻璃襯底且在比目標時間長的時間段期間用激光照射玻璃襯底的預定區(qū)域時，在主系統(tǒng)中發(fā)生異常。因此，出現(xiàn)以下限制:玻璃襯底在長時間內曝露于激光且玻璃襯底的曝露區(qū)域被加熱且受到損害。
[0005]另外，存在以下情況:其中，當用激光照射玻璃襯底時，在主系統(tǒng)中發(fā)生異常且接著并不會將控制振蕩單元的操作的脈沖信號從主系統(tǒng)遞送到振蕩單元以用于使激光振蕩。因此，振蕩單元異常地被終止且接著振蕩單元受到損害從而減少了其壽命。

【發(fā)明內容】

[0006]本發(fā)明提供一種光照射方法和設備，其能夠在過程期間實時地監(jiān)視過程控制模塊的操作狀態(tài)以檢測在過程控制模塊中發(fā)生的異常。
[0007]本發(fā)明還提供一種光照射方法和設備，其能夠在于過程控制模塊的操作狀態(tài)下發(fā)生異常時關閉擋閘以防止被照射對象在長時間內曝露于光。
[0008]本發(fā)明還提供一種光照射方法和設備，其能夠在于過程控制模塊的操作狀態(tài)下發(fā)生異常時，將光照射模塊的操作模式改變成內部模式且防止光照射模塊異常地被終止。
[0009]本發(fā)明還提供一種光照射方法和設備，其能夠防止被照射對象曝露于光從而防止被照射對象受到損害且增加過程穩(wěn)定性和生產率。
[0010]根據(jù)示范性實施例，一種用于處理用光照射的被照射對象的光照射方法包含:監(jiān)視過程控制模塊的狀態(tài)；比較所監(jiān)視狀態(tài)值與預置參考值；以及當預置參考值不同于所監(jiān)視狀態(tài)值時，阻擋照射在被照射對象上的光的路徑。
[0011 ] 所述光照射方法可進一步包含在比較預置參考值與所監(jiān)視狀態(tài)值之后，當預置參考值不同于狀態(tài)值時，產生提示音。
[0012]所述光照射方法可進一步包含在比較預置參考值與所監(jiān)視狀態(tài)值之后，當預置參考值不同于所監(jiān)視狀態(tài)值時，將光照射模塊的操作方法從外部模式改變成內部模式。
[0013]過程控制模塊的所監(jiān)視狀態(tài)包含從過程控制模塊輸出的心跳，所監(jiān)視狀態(tài)值可包含心跳的輸出周期，且預置參考值可包含心跳的預置參考周期。
[0014]根據(jù)另一示范性實施例，一種用于處理用光照射的被照射對象的光照射設備包含:光照射模塊，其經(jīng)配置以用光照射被照射對象；擋閘模塊，其安置在從光照射模塊照射的光的路徑上；過程控制模塊，其經(jīng)配置以控制擋閘模塊的操作；以及操作控制模塊，其經(jīng)配置以監(jiān)視過程控制模塊的狀態(tài)，比較所監(jiān)視狀態(tài)值與預置參考值，及根據(jù)比較結果控制擋閘模塊的操作以阻擋照射在被照射的被照射對象上的光的路徑。
[0015]過程控制模塊的所監(jiān)視狀態(tài)包含從過程控制模塊輸出的心跳，所監(jiān)視狀態(tài)值可包含心跳的輸出周期，且預置參考值可包含心跳的預置參考周期。
[0016]光照射模塊可包含:振蕩單元，其經(jīng)配置以接收脈沖信號以使光振蕩；以及振蕩控制單元，其連接到振蕩單元且經(jīng)配置以將脈沖信號輸出到振蕩單元，其中振蕩控制單元的操作模式包含用于接收從過程控制模塊輸出的脈沖信號以將脈沖信號輸出到振蕩單元的外部模式，以及用于產生脈沖信號以將脈沖信號輸出到振蕩單元的內部模式，且可通過操作控制模塊的控制來改變。
[0017]擋閘模塊可包含:擋閘單元，其安置在光的路徑上且經(jīng)配置以接收接通信號以開啟光的路徑以及接收關斷信號以阻擋光的路徑；以及擋閘控制單元，其連接到過程控制模塊且經(jīng)配置以接收從過程控制模塊輸出的控制信號并輸出接通或關斷信號以用于控制擋閘單元的操作。
[0018]過程控制模塊可包含:過程控制單元，其經(jīng)配置以根據(jù)預置過程計劃表輸出用于控制光照射模塊和擋閘模塊中的至少任一個的操作的信號；以及狀態(tài)輸出單元，其經(jīng)配置以在過程控制單元的操作期間周期性地輸出心跳。
[0019]操作控制模塊可包含:監(jiān)視單元，其連接到過程控制模塊且經(jīng)配置以監(jiān)視從過程控制模塊輸出的心跳；確定單元，其連接到監(jiān)視單元且經(jīng)配置以比較心跳的所監(jiān)視輸出周期與預置參考周期，并且在輸出周期匹配參考周期時確定過程控制模塊的操作狀態(tài)為正常的，以及在輸出周期并不匹配參考周期時確定過程控制模塊的操作狀態(tài)為異常的；操作控制信號輸出單元，其連接到確定單元且經(jīng)配置以在確定操作狀態(tài)為正常的時輸出接通信號，以及在確定操作狀態(tài)為異常的時輸出關斷信號；以及互鎖單元，其連接到操作控制信號輸出單元和擋閘模塊，且經(jīng)配置以在從操作控制信號輸出單元接收到接通信號時控制擋閘模塊使其根據(jù)預置過程計劃表操作，以及在從操作控制信號輸出單元接收到關斷信號時控制擋閘模塊以阻擋光的路徑。
[0020]互鎖單元可連接到操作控制信號輸出單元和擋閘單元且在從操作控制信號輸出單元接收到關斷信號時，將關斷信號輸出到擋閘單元以關閉擋閘單元。
[0021]互鎖單元可包含:第一中繼器，其連接到擋閘控制單元且經(jīng)配置以從擋閘控制單元接收接通或關斷信號以控制其開啟或阻擋；第二中繼器，其連接到操作控制信號輸出單元且經(jīng)配置以從操作控制信號輸出單元接收接通或關斷信號以控制其開啟或阻擋；以及第三中繼器，其連接到第一和第二中繼器，且當?shù)谝缓偷诙欣^器中的至少一個被阻擋時，第三中繼器被阻擋從而關閉擋閘單元，否則，第三中繼器被開啟從而開啟擋閘單元。
[0022]操作控制模塊可進一步包含提示音產生單元，其連接到操作控制信號輸出單元且經(jīng)配置以在從操作控制信號輸出單元輸出關斷信號時產生提示音。
[0023]當振蕩控制單元在外部模式中操作時，當從操作控制模塊的操作控制信號輸出單元輸出關斷信號時，可將振蕩控制單元的操作模式改變成內部模式。
【附圖說明】
[0024]通過結合附圖進行的以下描述可以更詳細地理解示范性實施例，其中:
[0025]圖1和圖2為根據(jù)示范性實施例的光照射設備的框圖。
[0026]圖3為根據(jù)示范性實施例的光照射方法的流程圖。
[0027]附圖標記說明:
[0028]100:處理腔室；
[0029]110:透射型窗口；
[0030]200:平臺；
[0031]300:光照射模塊；
[0032]310:振蕩單元；
[0033]320:振蕩控制單元；
[0034]400:擋閘模塊；
[0035]410:擋閘單元；
[0036]420:擋閘控制單元；
[0037]500:過程控制模塊；
[0038]510:過程控制單元；
[0039]520:狀態(tài)輸出單元；
[0040]600:操作控制模塊；
[0041]610:監(jiān)視單元；
[0042]620:確定單元；
[0043]630:操作控制信號輸出單元；
[0044]640:互鎖單元；
[0045]650:提示音產生單元；
[0046]1000:光照射設備；
[0047]F:非晶形薄膜；
[0048]R:中繼器；
[0049]Rl:第一中繼器；
[0050]R2:第二中繼器；
[0051]R3:第三中繼器；
[0052]S:被照射對象；
[0053]S100、S200、S300、S400、S510、S520、S530、S540:操作。
【具體實施方式】
[0054]下文中，將參考附圖詳細描述特定實施例。然而，本發(fā)明可以用不同形式來體現(xiàn)，并且不應被解釋為限于本文所闡述的實施例。確切地說，提供這些實施例是為了使得本發(fā)明將為透徹的并且完整的，且這些實施例將把本發(fā)明的范圍完全地傳達給所屬領域的技術人員。
[0055]圖1為說明根據(jù)示范性實施例的光照射設備的框圖，圖2為說明根據(jù)修改的實例的光照射設備的框圖，且圖3為根據(jù)示范性實施例的光照射方法的流程圖。<