光照射裝置以及光照射方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光照射裝置以及光照射方法，尤其涉及具備能夠在相同軸上往復(fù)移動的兩個工件工作臺，并對該工件工作臺上的工件交替地照射光的光照射裝置以及光照射方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，關(guān)于以液晶面板為首的液晶顯示元件的取向膜、視場角補償薄膜的取向?qū)拥鹊娜∠蛱幚恚捎猛ㄟ^照射規(guī)定的波長的偏振光來進行取向的、被稱為光取向的技術(shù)。
[0003]在光取向中使用的光照射裝置具備:具有與光照射區(qū)域的寬度相當(dāng)?shù)拈L度的棒狀的光源；以及使來自該光源的光偏振的偏振元件，對沿與光源的長邊方向正交的方向被搬運的工件照射偏振光。
[0004]作為這樣的光照射裝置，例如存在專利文獻I所記載的技術(shù)。該技術(shù)采用雙工作臺方式，具備:能夠在設(shè)定于照射區(qū)域的一側(cè)的第一工件搭載位置與照射區(qū)域之間往復(fù)移動的第一工作臺；以及能夠在設(shè)定于照射區(qū)域的另一側(cè)的第二工件搭載位置與照射區(qū)域之間往復(fù)移動的第二工作臺。而且，通過使第一工作臺和第二工作臺交替地朝照射區(qū)域移動，并對工作臺上的工件照射光，由此，與僅具備一方的工作臺的情況相比較生產(chǎn)間隔時間減少。
[0005]專利文獻1:日本特開2014 - 174352號公報
[0006]在上述專利文獻I所記載的技術(shù)中，為了實現(xiàn)進一步的生產(chǎn)間隔時間的縮短的目的，也可以形成為:與一方的工作臺的歸路移動(從照射區(qū)域朝工件搭載位置返回的移動)相連續(xù)，開始另一方的工作臺的去路移動(從工件搭載位置朝向照射區(qū)域的移動)。
[0007]然而，各工作臺在照射區(qū)域內(nèi)移動的期間(照射偏振光的期間)、和在照射區(qū)域外移動的期間工作臺的移動速度不同。具體而言，各工作臺當(dāng)在照射區(qū)域外移動而僅進行工件的搬運的情況下，能夠高速移動，但當(dāng)在照射區(qū)域內(nèi)移動的期間，存在為了獲得規(guī)定的曝光量而低速移動的情況。
[0008]因此，僅僅使一方的工作臺的歸路移動開始的定時與另一方的工作臺的去路移動開始的定時同步的話，存在因上述的移動速度差而在工作臺之間產(chǎn)生干涉的顧慮。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明的課題在于，在雙工作臺方式中，提供一種工作臺彼此不會干涉而能夠高效地進行光照射處理的光照射裝置以及光照射方法。
[0010]為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的光照射裝置的一個方式為一種光照射裝置，對通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機位置朝向上述照射區(qū)域的移動作為去路移動而進行往復(fù)移動；第二工作臺，載置第二工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機位置朝向上述照射區(qū)域的移動作為去路移動而進行往復(fù)移動；以及控制部，對上述第一工作臺以及上述第二工作臺的移動獨立地進行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，上述控制部以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區(qū)域內(nèi)以第一移動速度移動，在上述照射區(qū)域外的歸路以比上述第一移動速度高速的第二移動速度移動，在上述照射區(qū)域外的去路，當(dāng)工作臺間距離比預(yù)先設(shè)定的最接近距離長時以上述第二移動速度移動、當(dāng)上述工作臺間距離為上述最接近距離以下時以上述第一移動速度移動，并且以下述方式進行控制:在上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的、處于歸路移動中的一方的工作臺至少處于上述照射區(qū)域的期間之前，另一方的工作臺開始進行去路移動。
[0011]這樣，采用具備載置工件的兩個工作臺，且對各工件交替地照射光的所謂雙工作臺方式。由此，在朝一方的工作臺照射光的期間，能夠進行另一方的工作臺的工件更換作業(yè)等。因此，與工作臺僅為一個的情況相比較能夠減少生產(chǎn)間隔時間，能夠提高生產(chǎn)率。并且，由于使在照射區(qū)域外進行去路移動的工作臺以使得工作臺間距離不會低于最接近距離的移動速度移動，因此，即便當(dāng)在第一工作臺與第二工作臺之間存在移動速度差的情況下，也能夠以不會發(fā)生工作臺之間的干涉且能夠高效地進行光照射處理的方式使工作臺移動。
[0012]并且，由于直至不發(fā)生工作臺之間的干涉的位置為止以以較高的速度進行去路移動，之后使其追隨先行移動的工作臺，因此能夠避免工作臺之間的干涉并且能夠使其盡早到達照射區(qū)域。因此，能夠在對一方的工件進行光照射處理后立刻對另一方的工件進行光照射處理，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)間隔時間的進一步縮短。
[0013]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區(qū)域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，上述控制部使上述一方的工作臺追隨上述另一方的工作臺而移動。
[0014]這樣，由于使在照射區(qū)域外進行去路移動的工作臺以與另一方的工作臺相同的移動速度移動，因此，即便當(dāng)在第一工作臺與第二工作臺之間存在移動速度差的情況下，也能夠可靠地防止工作臺之間的干涉。
[0015]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述控制部以下述方式進行控制:當(dāng)上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區(qū)域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，當(dāng)上述另一方的工作臺的歸路移動方向上的后端部位置相比上述照射區(qū)域的靠上述一方的工作臺的待機位置側(cè)的端部位置而位于上述另一方的工作臺的待機位置側(cè)時，使上述一方的工作臺以上述第二移動速度移動直至到上述端部位置為止。
[0016]由此，若先行移動的工作臺完全進入照射區(qū)域內(nèi)，則在照射區(qū)域外進行去路移動的工作臺與工作臺間距離無關(guān)而直至照射區(qū)域的入口為止都能夠以較高的速度移動。因此，也能夠形成為對兩個工件中的至少一方的工件始終進行光照射處理的狀態(tài)，能夠?qū)崿F(xiàn)進一步的生產(chǎn)間隔時間的縮短。
[0017]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺的去路移動。
[0018]由此，能夠在一方的工作臺開始進行歸路移動后再開始另一方的工作臺的去路移動，能夠避免兩個工作臺均進行去路移動的狀況。因此，能夠可靠地避免工作臺彼此的干涉。
[0019]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺開始朝向目標(biāo)停止位置進行去路移動，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述另一方的工作臺到達上述目標(biāo)停止位置時，當(dāng)上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，使上述另一方的工作臺在上述目標(biāo)停止位置停止。
[0020]這樣，當(dāng)一方的工作臺正進行去路移動時，開始另一方的工作臺的去路移動，因此能夠更高效地進行針對兩個工件的光照射處理。
[0021]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，還具備旋轉(zhuǎn)控制部，該旋轉(zhuǎn)控制部獨立地控制上述第一工作臺以及上述第二工作臺繞相對于工作臺面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺的姿態(tài)成為光照射時的姿態(tài)，當(dāng)上述第一工作臺以及上述第二工作臺在從各自的待機位置直至到達上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間正進行去路移動的期間，上述旋轉(zhuǎn)控制部對上述旋轉(zhuǎn)進行控制。
[0022]通過像這樣具備旋轉(zhuǎn)控制部，例如在對工件照射偏振光的情況下，能夠?qū)⒐ぜ姆较蛳鄬τ谄窆獾钠窆廨S設(shè)置成規(guī)定的方向而進行光照射處理。并且，通過在去路移動中進行工作臺的旋轉(zhuǎn)控制，能夠抑制生產(chǎn)間隔時間變長。
[0023]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)未由上述旋轉(zhuǎn)控制部控制的非旋轉(zhuǎn)控制對象的工作臺正進行去路移動時，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對象的工作臺從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠旋轉(zhuǎn)控制對象的待機位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述非旋轉(zhuǎn)控制對象的工作臺正進行歸路移動時，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對象的工作臺的位置靠上述旋轉(zhuǎn)控制對象的待機位置側(cè)上述最接近距離的位置。
[0024]由此，能夠在避免工作臺間的干涉的同時進行去路移動中的旋轉(zhuǎn)控制。
[0025]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述工作臺間距離是上述第一工作臺的去路移動方向上的前端位置與上述第二工作臺的去路移動方向上的前端位置之間的沿上述搬運軸方向的距離。
[0026]這樣，由于各工作臺的去路移動方向上的前端位置彼此的距離設(shè)為工作臺間距離，因此，即便當(dāng)各工作臺的形狀或繞與工作臺面正交的軸的旋轉(zhuǎn)角度等產(chǎn)生差異的情況下，也能夠進行避免了工作臺間的干涉的工作臺移動控制。
[0027]此外，在上述的光照射裝置中，上述光可以是偏振光。這樣，也能夠應(yīng)用于對工件照射偏振光而進行光取向處理的偏振光照射裝置。
[0028]并且，在上述的光照射裝置中，可以對上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動和歸路移動這雙方照射上述光。由此，能夠不浪費能量地進行光照射處理。
[0029]此外，本發(fā)明所涉及的光照射方法的一個方式涉及對通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光的光照射方法，其中，對第一工作臺和第二工作臺獨立地進行控制以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機位置朝向上述照射區(qū)域的移動作為去路移動而進行往復(fù)移動，上述第二工作臺載置上述第二工件，且能夠在通過上