一種鏈式濕法刻蝕機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及晶硅太陽能電池領(lǐng)域的多晶硅刻蝕的設(shè)備，具體涉及一種鏈式濕法刻蝕機。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池又稱為“太陽能芯片”或“光電池”，“是一種利用太陽光直接發(fā)電的光電半導體薄片。它只要被光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學上稱為太陽能光伏，簡稱光伏，核心部件是太陽能電池片，其制造過程分為制絨-擴散-刻蝕-PECVD鍍膜-絲網(wǎng)印刷-測試分選。其中，刻蝕工序的作用去掉硅片背面和硅片側(cè)面的PN結(jié)，達到正面與背面絕緣的目的。目前，RENA in-line式結(jié)構(gòu)的設(shè)備是一種常用的鏈式濕法刻蝕設(shè)備。他是在HF/HN03體系中，利用表面張力和毛吸作用力去除邊緣和背面的PN結(jié)，正面未粘液，而使電池正面和背面絕緣。這種設(shè)備基本結(jié)構(gòu)為:刻蝕槽-水噴淋槽-堿槽-水噴淋槽-去PSG槽-水噴淋槽-烘干槽。該設(shè)備在使用過程中表現(xiàn)出許多優(yōu)異的性能。但因為鏈式結(jié)構(gòu)，故各槽之間裝有風刀吹干硅片，防止上個槽的藥液帶入，導致本槽濃度背稀釋。目前，鏈式濕法刻蝕機的水洗槽風刀由于維護周期較長容易被堿結(jié)晶堵塞，導致風刀上的出氣小孔被堵塞，會將水帶入酸槽，導致酸槽濃度降低，去磷硅玻璃不干凈，造成不良品。為了解決這個問題，目前是在巡查中發(fā)現(xiàn)風刀吹不干的情況下停機沖洗風刀，但因為堵塞程度不一，容易在巡查中忽視，導致酸槽被稀釋后造成大量不良品產(chǎn)生，影響生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是針對上述的不足和缺陷，提供一種鏈式濕法刻蝕機，把原有鏈式濕法刻蝕機第二水洗槽的風刀壓縮空氣管道改接至機臺烘干機管道，利用烘干機熱風防止管道堿結(jié)晶并提高吹干效果。
[0004]本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)上述目的:
[0005]—種鏈式濕法刻蝕機，包括烘干槽、第一水洗槽、酸洗槽、第二水洗槽、風刀、進氣管，烘干槽、第一水洗槽、酸洗槽和第二水洗槽依次連接，第二水洗槽設(shè)有風刀，第二水洗槽和烘干槽通過進氣管連接。
[0006]—種鏈式濕法刻蝕機，其中風刀上均勻設(shè)置有若干出氣孔，風刀上連接有壓縮空氣進氣管，壓縮空氣壓力要求大于0.6Mpa。
[0007]一種鏈式濕法刻蝕機，進氣管的管道連接在烘干槽管道上。
[0008]—種鏈式濕法刻蝕機，烘干槽管道上的空氣為加熱加壓的熱風。
[0009]本實用新型的有益效果是:是通過改變第二水槽風刀的結(jié)構(gòu)，將由原風刀的壓縮空氣轉(zhuǎn)變?yōu)楹娓刹鄹稍餀C加熱加壓的壓縮空氣，無需增加新設(shè)備，即可提高風刀吹干效果。降低不良品產(chǎn)生機率，提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用型新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標記:烘干槽1、第一水洗槽2、酸洗槽3、第二水洗槽4、風刀5、進氣管6。
【具體實施方式】
[0012]實施例1、
[0013]—種鏈式濕法刻蝕機，包括烘干槽1、第一水洗槽2、酸洗槽3、第二水洗槽4、風刀
5、進氣管6，烘干槽1、第一水洗槽2、酸洗槽3和第二水洗槽4依次連接，第二水洗槽4設(shè)有風刀5，第二水洗槽4和烘干槽I通過進氣管6連接。
[0014]實施例2、
[0015]—種鏈式濕法刻蝕機，其中風刀5上均勻設(shè)置有若干出氣孔，風刀5上連接有壓縮空氣進氣管6，壓縮空氣壓力要求大于0.6Mpa。
[0016]其余同實施例1。
[0017]實施例3、
[0018]一種鏈式濕法刻蝕機，進氣管6的管道連接在烘干槽I管道上。
[0019]其余同實施例1。
[0020]實施例4、
[0021]—種鏈式濕法刻蝕機，烘干槽I管道上的空氣為加熱加壓的熱風。
[0022]其余同實施例1。
[0023]結(jié)合【附圖說明】工作原理:
[0024]在風刀5的進氣管6上直接連接到烘干槽I的管道上，在正常生產(chǎn)時，烘干機產(chǎn)生的熱風通過進氣管6分流至第二水洗槽4的風刀5上，通過風刀的氣孔實用熱風高效吹干娃片。
【主權(quán)項】
1.一種鏈式濕法刻蝕機，其特征在于:包括烘干槽(I)、第一水洗槽(2)、酸洗槽(3)、第二水洗槽(4)、風刀(5 )、進氣管(6 )，烘干槽(I)、第一水洗槽(2 )、酸洗槽(3 )和第二水洗槽(4)依次連接，第二水洗槽(4)設(shè)有風刀(5 )，第二水洗槽(4)和烘干槽(I)通過進氣管(6 )連接。2.如權(quán)利要求書I所述的一種鏈式濕法刻蝕機，其特征在于:其中風刀(5)上均勻設(shè)置有若干出氣孔，風刀(5)上連接有壓縮空氣進氣管(6)，壓縮空氣壓力要求大于0.6Mpa。3.如權(quán)利要求書I所述的一種鏈式濕法刻蝕機，其特征在于:進氣管(6)的管道連接在烘干槽(I)管道上。4.如權(quán)利要求書I所述的一種鏈式濕法刻蝕機，其特征在于:烘干槽(I)管道上的空氣為加熱加壓的熱風。
【專利摘要】本實用新型公開了一種鏈式濕法刻蝕機，通過改變水洗槽風刀的結(jié)構(gòu)，在原有風刀使用壓縮空氣的進氣管道上直接連接到后面烘干槽管道，使用熱風吹干，減少堿結(jié)晶堵塞的機率，熱風也能提升風刀的吹干效果，從而降低不良品產(chǎn)生的機率。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號】CN204760404
【申請?zhí)枴緾N201520239454
【發(fā)明人】黃明, 戚祖?zhèn)? 陳圓, 楊曉琴
【申請人】上饒光電高科技有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年4月20日