一種液簾分叉檢測(cè)裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種液簾分叉檢測(cè)裝置，該液簾分叉檢測(cè)裝置包括光源發(fā)生模塊、光源接收模塊以及控制器。光源發(fā)生模塊與液簾間隔一定距離，并且設(shè)置于液簾的第一側(cè)面，用于產(chǎn)生多束光線；光源接收模塊與光源發(fā)生模塊相對(duì)設(shè)置，并且設(shè)置于液簾的第二側(cè)面，用于接收由第一側(cè)面穿透液簾后至第二側(cè)面的每束光線，并輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)；控制器用于獲取每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)，判斷到所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，并產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾出現(xiàn)分叉。本發(fā)明還提供一種液簾分叉檢測(cè)方法。通過本發(fā)明從而實(shí)現(xiàn)能夠自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉，也因此提高了工作效率。
【專利說明】
一種液簾分叉檢測(cè)裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉的液簾分叉檢測(cè)裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管(TFT)制備技術(shù)是采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路技術(shù)，在玻璃或者塑料基板等非單晶片上制作大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路，通過濺射、化學(xué)沉積工藝形成制造電路必須的各種模。在薄膜晶體管制備工藝中，需要陣列制程、組立制程、模組制程等等步驟。其中，預(yù)先對(duì)在濕法刻蝕工藝中，需要用到液刀的預(yù)濕潤。
[0003]發(fā)明人在實(shí)際操作過程中，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題:液刀預(yù)濕潤其它設(shè)備時(shí)，由于液刀的出口受到微粒的堵塞或者其它因素的影響下，液刀吐出的液簾會(huì)產(chǎn)生開叉現(xiàn)象，導(dǎo)致不能完全預(yù)濕潤設(shè)備，從而造成后續(xù)工藝的刻蝕不均等不良現(xiàn)象發(fā)生。因此，為了避免液刀產(chǎn)生的液簾出現(xiàn)分叉現(xiàn)象，操作員都會(huì)定期檢測(cè)液刀，此種方式工作效率低，并且不容易精準(zhǔn)聚焦于產(chǎn)生分叉現(xiàn)象的液刀位置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的包括提供一種液簾分叉檢測(cè)裝置及方法，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)不能自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉而造成工作效率低下的技術(shù)問題。
[0005]本發(fā)明實(shí)施例提供一種液簾分叉檢測(cè)裝置，用于自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉，所述液簾包括第一側(cè)面及第二側(cè)面，所述液簾分叉檢測(cè)裝置包括:
[0006]光源發(fā)生模塊，與液簾間隔一定距離，并且設(shè)置于所述液簾的第一側(cè)面，用于產(chǎn)生多束光線；
[0007]光源接收模塊，與所述光源發(fā)生模塊相對(duì)設(shè)置，并且設(shè)置于所述液簾的第二側(cè)面，用于接收由所述第一側(cè)面穿透所述液簾后至所述第二側(cè)面的每束光線，并輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)；
[0008]控制器，用于獲取每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)，判斷到所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，并產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾出現(xiàn)分叉。
[0009]可選地，所述光源發(fā)生模塊包括多個(gè)沿著所述液簾的長度方向并行排列的光源發(fā)生器;每個(gè)所述光源發(fā)生器均設(shè)置于所述液簾的第一側(cè)面。
[0010]可選地，所述光源接收模塊包括多個(gè)沿著所述液簾的長度方向并行排列的光源接收器;每個(gè)所述光源接收器均設(shè)置于所述液簾的第二側(cè)面，并且和每個(gè)所述光源發(fā)生器相對(duì)設(shè)置。
[0011]可選地，所述裝置還包括多個(gè)第一提示裝置，每個(gè)所述第一提示裝置分別與所述光源發(fā)生器和所述控制器連接；當(dāng)所述控制器判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源發(fā)生器連接的第一提示裝置，以提示處于所述光源發(fā)生器位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，所述光源發(fā)生器產(chǎn)生的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。
[0012]可選地，所述裝置還包括多個(gè)第二提示裝置，每個(gè)所述第二提示裝置分別與所述光源接收器和所述控制器連接；當(dāng)所述控制器判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源接收器連接的第二提示裝置，以提示處于所述光源接收器位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，所述光源接收器接收的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。
[0013]可選地，所述裝置還包括放大器，所述放大器分別與所述光源接收模塊和所述控制器連接，用于將所述光信號(hào)進(jìn)行放大，傳輸給所述控制器。
[0014]可選地，所述裝置還包括控制開關(guān)，所述控制開關(guān)分別與所述控制器和所述光源發(fā)生模塊連接，用于接收所述控制器發(fā)送的控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)閉合或斷開的狀態(tài)切換。
[0015]可選地，所述裝置還包括控制開關(guān)，所述控制開關(guān)分別與所述控制器和所述光源接收模塊連接，用于接收所述控制器發(fā)送的控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)閉合或斷開的狀態(tài)切換。
[0016]本發(fā)明實(shí)施例提供一種液簾分叉檢測(cè)方法，用于自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉，所述液簾包括第一側(cè)面及第二側(cè)面，所述方法包括:
[0017]在所述液簾的第一側(cè)面產(chǎn)生多束光線；
[0018]在所述液簾的第二側(cè)面接收由所述液簾的第一側(cè)面穿透液簾后至第二側(cè)面的每束光線，并輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)；
[0019]獲取每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)，判斷所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，并產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾出現(xiàn)分叉。
[0020]可選地，方法還進(jìn)一步包括:
[0021]在所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化的對(duì)應(yīng)產(chǎn)生或者接收每束光線的位置進(jìn)行標(biāo)識(shí)，以提示處于所述位置的液簾出現(xiàn)分叉。
[0022]在本發(fā)明實(shí)施例中，通過控制器獲取每束光線穿透液簾后的光信號(hào)，并且判斷到所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化時(shí)，控制器產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾出現(xiàn)分叉，從而實(shí)現(xiàn)能夠自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉，也因此提高了工作效率。
[0023]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種液簾分叉檢測(cè)裝置的可能場(chǎng)景實(shí)施示意圖；
[0025]圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種液簾分叉檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供一種液簾分叉檢測(cè)方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的一種液簾分叉檢測(cè)裝置及方法的【具體實(shí)施方式】、方法、步驟、結(jié)構(gòu)、特征及功效，詳細(xì)說明如后。
[0028]有關(guān)本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，在以下配合參考圖式的較佳實(shí)施例詳細(xì)說明中將可清楚的呈現(xiàn)。通過【具體實(shí)施方式】的說明，當(dāng)可對(duì)本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定目的所采取的技術(shù)手段及功效得以更加深入且具體的了解，然而所附圖式僅是提供參考與說明之用，并非用來對(duì)本發(fā)明加以限制。
[0029]請(qǐng)一并參考圖1和圖2，如圖1所示，本實(shí)施例提供的液簾14是由液刀12產(chǎn)生的，此處的液簾14可以等效于一個(gè)具有一定長度和寬度的平面。在一些實(shí)施例中，液簾14還可以是半弧狀等其它形狀。
[0030]如圖1和圖2所示，在本實(shí)施例中，光源發(fā)生模塊16與液簾14間隔一定距離，并且設(shè)置于液簾14的第一側(cè)面14A，并且產(chǎn)生多束光線。光源接收模塊18與光源發(fā)生模塊16相對(duì)設(shè)置，并且設(shè)置于液簾14的第二側(cè)面14B接收所述光線，用于接收由所述第一側(cè)面穿透所述液簾后至所述第二側(cè)面的每束光線，并輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)；?？刂破?0獲取每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)。
[0031]如圖1所示，液刀12的出口如果遇到微粒的堵塞，在微粒處產(chǎn)生的液簾會(huì)出現(xiàn)分叉。光源發(fā)生模塊16產(chǎn)生的光線照射在出現(xiàn)分叉處的液簾，由于分叉的液簾使原本正常投射液簾的光線出現(xiàn)散射，導(dǎo)致光源接收模塊18只能散射一部分光線后的光線。因此，控制器20通過判斷光源接收模塊18輸出的光信號(hào)強(qiáng)度，便可以知悉液刀12產(chǎn)生的液簾14是否出現(xiàn)分叉。當(dāng)控制器20判斷到光信號(hào)強(qiáng)度發(fā)生變化，則此時(shí)的液簾14出現(xiàn)分叉，控制器20產(chǎn)生警報(bào)以提示操作員關(guān)于液簾出現(xiàn)分叉的情況。如果光信號(hào)的強(qiáng)度未發(fā)生變化，則維持正常狀
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[0032]在一些實(shí)施例中，控制器20還可以通過分析光源接收模塊18輸出的光信號(hào)強(qiáng)度的具體大小，便可以知悉此時(shí)液簾14分叉的程度。比如說，如果光信號(hào)強(qiáng)度的變化幅度過大，則此處的液簾14分叉程度嚴(yán)重，液刀未能預(yù)濕潤設(shè)備大部分的表面。如果光信號(hào)強(qiáng)度的變化幅度不大，則此處的液簾14出現(xiàn)分叉，但是液刀尚可預(yù)濕潤設(shè)備大部分的表面。
[0033]在一些實(shí)施例中，控制器20可以采用可編程邏輯控制器(Programmable LogicController，PLC)，還可以采用微處理器。該技術(shù)領(lǐng)域的人員應(yīng)當(dāng)明白，微處理器還可以是通用處理器、數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)、專用集成電路(ASIC)、現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列(FPGA)或其它可編程邏輯器件、分立門或晶體管邏輯、分立的硬件組件或者這些部件的任何組合。還有，此處的微處理器可以是任何傳統(tǒng)處理器、控制器、微控制器或狀態(tài)機(jī)。處理器也可以被實(shí)現(xiàn)為計(jì)算設(shè)備的組合，例如，DSP和微處理器的組合、多個(gè)微處理器、一個(gè)或多個(gè)微處理器結(jié)合DSP核、或任何其它這種配置。
[0034]在實(shí)施例中，通過控制器20獲取每束光線穿透液簾14后的光信號(hào)，并且判斷到所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化時(shí)，控制器20產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾14出現(xiàn)分叉，從而實(shí)現(xiàn)能夠自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉，也因此提高了工作效率。
[0035]如圖1所示，光源發(fā)生模塊16包括多個(gè)沿著液簾14的長度方向并行排列的光源發(fā)生器162，每個(gè)光源發(fā)生器162均設(shè)置于液簾14的第一側(cè)面141。該光源發(fā)生模塊16橫貫液簾
14。每個(gè)光源發(fā)生器162均可以產(chǎn)生光線穿透液簾。控制器20和每個(gè)光源發(fā)生器162連接，并且產(chǎn)生控制信號(hào)控制各個(gè)光源發(fā)生器162工作。
[0036]進(jìn)一步地，該液簾分叉檢測(cè)裝置還包括多個(gè)第一提示裝置22，每個(gè)第一提示裝置22分別與光源發(fā)生器162和控制器20連接。當(dāng)控制器20判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源發(fā)生器162連接的第一提示裝置22，以提示處于所述光源發(fā)生器162位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，此處的光源發(fā)生器162產(chǎn)生的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。因此，本實(shí)施例提供的簾分叉檢測(cè)裝置不僅能夠檢測(cè)液簾出現(xiàn)分叉，還可以檢測(cè)液簾出現(xiàn)分叉的位置，一方面，操作員可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)液簾出現(xiàn)分叉，另一方，操作員還可以根據(jù)第一提示裝置22的位置，精準(zhǔn)定位液簾分叉位置，并在該位置進(jìn)行清理。因此，一方面，采用該檢測(cè)裝置，其能夠提高操作員的工作效率，另一方面，其能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)液簾分叉并進(jìn)行清理，從而提高預(yù)濕潤設(shè)備的成功概率，也因此提供工藝的良品率。
[0037]如圖1所示，光源接收模塊18包括多個(gè)沿著液簾14的長度方向并行排列的光源接收器182，每個(gè)光源接收器182均設(shè)置于液簾14的第二側(cè)面142，并且和每個(gè)光源發(fā)生器162相對(duì)設(shè)置。每個(gè)光源接收器182接收對(duì)應(yīng)光源發(fā)生器162發(fā)射并且穿透液簾14的光線?？刂破?0和每個(gè)光源接收器182連接，并且產(chǎn)生控制信號(hào)控制各個(gè)光源接收器182工作。
[0038]進(jìn)一步地，該液簾分叉檢測(cè)裝置還包括多個(gè)第二提示裝置24，每個(gè)第二提示裝置24分別與光源接收器182和控制器20連接；當(dāng)控制器20判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源接收器182連接的第二提示裝置24，以提示處于光源接收器182位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，光源接收器182接收的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。在本實(shí)施例中，除了通過第一提示裝置22標(biāo)識(shí)液簾分叉的位置，還可以通過第二提示裝置24標(biāo)識(shí)液簾分叉的位置。因此，本實(shí)施例提供的檢測(cè)裝置具有高可靠性。
[0039]在一些實(shí)施例中，第一提示裝置22或者第二提示裝置24可以為蜂鳴器或者LED燈。
[0040]在一些實(shí)施中，光源發(fā)生模塊16的產(chǎn)生光線作用和光源接收模塊18接收光線作用可以集合于一個(gè)光傳感器來實(shí)現(xiàn)，進(jìn)一步的，該光傳感器和控制器連接，控制器通過產(chǎn)生控制信號(hào)控制該光傳感器的產(chǎn)生光線和接收光線。該領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白:此處所提到的光源發(fā)生模塊16和光源接收模塊18可以由各個(gè)電路模塊功能組合一起實(shí)現(xiàn)，或者通過硬件搭配軟件來實(shí)現(xiàn)。
[0041]如圖1所示，該檢測(cè)裝置還包括放大器26，放大器26分別與光源接收模塊18和控制器20連接。光源接收模塊18輸出光信號(hào)，放大器26將該光信號(hào)進(jìn)行放大，傳輸給控制器20。
[0042]在一些實(shí)施例中，放大器26可以是一個(gè)集成的放大器芯片，可以是驅(qū)動(dòng)放大電路。其中，放大器26的具體放大能力要結(jié)合作業(yè)目的來設(shè)計(jì)。放大器26放大信號(hào)可以是通過各個(gè)電路之間的相互配合來實(shí)現(xiàn)，還可以是通過放大器芯片結(jié)合算法來實(shí)現(xiàn)。
[0043]如圖1所示，該檢測(cè)裝置還包括控制開關(guān)28，控制開關(guān)28分別與控制器20和光源發(fā)生模塊16連接?？刂崎_關(guān)28接收控制器20發(fā)送的控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)閉合或斷開的狀態(tài)切換。當(dāng)需要啟動(dòng)或者停止光源發(fā)生模塊16工作時(shí)，控制器20向控制開關(guān)28發(fā)送控制信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)閉合或斷開的狀態(tài)切換。
[0044]在另一實(shí)施例中，控制開關(guān)28還可以分別與控制器20和光源接收模塊18連接，用于接收控制器20發(fā)送的控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)閉合或斷開的狀態(tài)切換。
[0045]在一些實(shí)施例中，控制開關(guān)28可以是電子開關(guān)，也可以是繼電器開關(guān)。由于液刀從打開閥門到液簾吐出需要一定的時(shí)間，進(jìn)一步的，該控制開關(guān)28是一個(gè)延時(shí)繼電器開關(guān)，控制器向該控制開關(guān)28傳輸控制信號(hào)，控制開關(guān)延時(shí)I或2秒后，再閉合開關(guān)，從而滿足實(shí)際作業(yè)的需要。
[0046]作為本發(fā)明的另一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種液簾分叉檢測(cè)方法。請(qǐng)參考圖3，圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供一種液簾分叉檢測(cè)方法的流程圖。如圖3所示，該方法包括:
[0047]S31、在所述液簾的第一側(cè)面產(chǎn)生多束光線；
[0048]S32、在所述液簾的第二側(cè)面接收由所述液簾的第一側(cè)面穿透液簾后至第二側(cè)面的每束光線，并輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)；
[0049]S33、獲取每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)，判斷所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，并產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾出現(xiàn)分叉。
[0050]在本實(shí)施例中，光源發(fā)生模塊與液簾間隔一定距離，并且設(shè)置于液簾的第一側(cè)面，并且產(chǎn)生多束光線。光源接收模塊與光源發(fā)生模塊相對(duì)設(shè)置，并且設(shè)置于液簾的第二側(cè)面接收所述光線，輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)?？刂破鳙@取每束光線穿透液簾后的光信號(hào)。[0051 ]當(dāng)液刀的出口如果遇到微粒的堵塞，在微粒處產(chǎn)生的液簾會(huì)出現(xiàn)分叉。光源發(fā)生模塊產(chǎn)生的光線照射在出現(xiàn)分叉處的液簾，由于分叉的液簾使原本正常投射液簾的光線出現(xiàn)散射，導(dǎo)致光源接收模塊只能散射一部分光線后的光線。因此，控制器通過判斷光源接收模塊輸出的光信號(hào)強(qiáng)度，便可以知悉液刀產(chǎn)生的液簾是否出現(xiàn)分叉。當(dāng)控制器判斷到光信號(hào)強(qiáng)度發(fā)生變化，則此時(shí)的液簾出現(xiàn)分叉，控制器產(chǎn)生警報(bào)以提示操作員關(guān)于液簾出現(xiàn)分叉的情況。如果光信號(hào)的強(qiáng)度未發(fā)生變化，則維持正常狀態(tài)。
[0052]進(jìn)一步地，該方法還包括:
[0053]在所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化的對(duì)應(yīng)產(chǎn)生或者接收每束光線的位置進(jìn)行標(biāo)識(shí)，以提示處于所述位置的液簾出現(xiàn)分叉。
[0054]當(dāng)控制器判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源發(fā)生器連接的第一提示裝置，以提示處于所述光源發(fā)生器位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，此處的光源發(fā)生器產(chǎn)生的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。因此，本實(shí)施例提供的簾分叉檢測(cè)裝置不僅能夠檢測(cè)液簾出現(xiàn)分叉，還可以檢測(cè)液簾出現(xiàn)分叉的位置，一方面，操作員可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)液簾出現(xiàn)分叉，另一方，操作員還可以根據(jù)第一提示裝置的位置，精準(zhǔn)定位液簾分叉位置，并在該位置進(jìn)行清理。因此，一方面，采用該檢測(cè)裝置，其能夠提高操作員的工作效率，另一方面，其能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)液簾分叉并進(jìn)行清理，從而提高預(yù)濕潤設(shè)備的成功概率，也因此提供工藝的良品率。
[0055]當(dāng)控制器判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源接收器連接的第二提示裝置，以提示處于光源接收器位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，光源接收器接收的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。在本實(shí)施例中，除了通過第一提示裝置標(biāo)識(shí)液簾分叉的位置，還可以通過第二提示裝置標(biāo)識(shí)液簾分叉的位置。因此，本實(shí)施例提供的檢測(cè)裝置具有高可靠性。
[0056]以上所述，僅是發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種液簾分叉檢測(cè)裝置，用于自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉，所述液簾包括第一側(cè)面及第二側(cè)面，其特征在于，所述液簾分叉檢測(cè)裝置包括: 光源發(fā)生模塊，與液簾間隔一定距離，并且設(shè)置于所述液簾的第一側(cè)面，用于產(chǎn)生多束光線； 光源接收模塊，與所述光源發(fā)生模塊相對(duì)設(shè)置，并且設(shè)置于所述液簾的第二側(cè)面，用于接收由所述第一側(cè)面穿透所述液簾后至所述第二側(cè)面的每束光線，并輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)； 控制器，用于獲取每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)，判斷到所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，并產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾出現(xiàn)分叉。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液簾分叉檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光源發(fā)生模塊包括多個(gè)沿著所述液簾的長度方向并行排列的光源發(fā)生器;每個(gè)所述光源發(fā)生器均設(shè)置于所述液簾的第一側(cè)面。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液簾分叉檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光源接收模塊包括多個(gè)沿著所述液簾的長度方向并行排列的光源接收器;每個(gè)所述光源接收器均設(shè)置于所述液簾的第二側(cè)面，并且和每個(gè)所述光源發(fā)生器相對(duì)設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液簾分叉檢測(cè)裝置，其特征在于，所述液簾分叉檢測(cè)裝置還包括多個(gè)第一提示裝置，每個(gè)所述第一提示裝置分別與所述光源發(fā)生器和所述控制器連接；當(dāng)所述控制器判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源發(fā)生器連接的第一提示裝置，以提示處于所述光源發(fā)生器位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，所述光源發(fā)生器產(chǎn)生的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液簾分叉檢測(cè)裝置，其特征在于，所述液簾分叉檢測(cè)裝置還包括多個(gè)第二提示裝置，每個(gè)所述第二提示裝置分別與所述光源接收器和所述控制器連接；當(dāng)所述控制器判斷到光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化，則產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)，觸發(fā)與光源接收器連接的第二提示裝置，以提示處于所述光源接收器位置的液簾出現(xiàn)分叉;其中，所述光源接收器接收的光信號(hào)的強(qiáng)度已經(jīng)發(fā)生變化。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的液簾分叉檢測(cè)裝置，其特征在于，所述液簾分叉檢測(cè)裝置還包括放大器，所述放大器分別與所述光源接收模塊和所述控制器連接，用于將所述光信號(hào)進(jìn)行放大，傳輸給所述控制器。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液簾分叉檢測(cè)裝置，其特征在于，所述液簾分叉檢測(cè)裝置還包括控制開關(guān)，所述控制開關(guān)分別與所述控制器和所述光源發(fā)生模塊連接，用于發(fā)生所述控制器發(fā)送的控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)閉合或斷開的狀態(tài)切換。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液簾分叉檢測(cè)裝置，其特征在于，所述液簾分叉檢測(cè)裝置還包括控制開關(guān)，所述控制開關(guān)分別與所述控制器和所述光源接收模塊連接，用于接收所述控制器發(fā)送的控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)閉合或斷開的狀態(tài)切換。9.一種液簾分叉檢測(cè)方法，用于自動(dòng)檢測(cè)液簾分叉，所述液簾包括第一側(cè)面及第二側(cè)面，其特征在于，所述方法包括: 在所述液簾的第一側(cè)面產(chǎn)生多束光線； 在所述液簾的第二側(cè)面接收由所述液簾的第一側(cè)面穿透液簾后至第二側(cè)面的每束光線，并輸出每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)； 獲取每束光線對(duì)應(yīng)的光信號(hào)，判斷所述光信號(hào)的強(qiáng)度的是否發(fā)生變化，如發(fā)生變化則產(chǎn)生警報(bào)以提示液簾出現(xiàn)分叉。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液簾分叉檢測(cè)方法，其特征在于，方法還進(jìn)一步包括: 在所述光信號(hào)的強(qiáng)度發(fā)生變化的同時(shí)對(duì)產(chǎn)生或者接收每束光線的位置進(jìn)行標(biāo)識(shí)，以提示處于所述位置的液簾出現(xiàn)分叉。
【文檔編號(hào)】H01L21/66GK106098580SQ201610496840
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年6月29日
【發(fā)明人】陳宇新
【申請(qǐng)人】昆山國顯光電有限公司