一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，通過軟件界面來控制設備開關，包括操作界面(1)、設備開關操作(2)、聯(lián)鎖條件(3)、是否滿足聯(lián)鎖條件(4)、打開或關閉設備(5)、操作完成(6)、聯(lián)鎖界面(7)。
【專利說明】
一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及一種對設備器件操作的保護方法，尤其涉及到離子注入機設備操作的安全性和靈活性。
【背景技術】
[0002]離子注入機是一個非常精細和復雜的系統(tǒng)，涉及到多種器件，造價昂貴，但是一部分器件如冷栗、干栗、高規(guī)等造價高，操作不當就會對其造成影響甚至損壞，有些器件需要達到一定的前提條件才可對其進行開關操作，誤操作會造成很大的損失也會影響系統(tǒng)安全，所以增加連鎖至關重要；但是如果在調(diào)試階段，并非所有的連鎖條件都滿足，有連鎖的限制又不能進行相關操作，這樣會影響整機調(diào)試進度，會帶來不必要的麻煩和不便，所以可選擇的連鎖配置也很必要。
[0003]鑒于離子注入機整機器件的安全性和靈活性，一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法是整機操作必不可少的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明時針對離子注入機器件操作的安全性和靈活性，而開發(fā)出的一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法。
[0005]本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn):
[0006]1.一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，如圖1所示，是通過服務器操作界面(I)控制離子注入機的硬件設備(閥門、分子栗、干栗、高硅、低硅等)的開關(2)，在服務器程序界面上打開或關閉設備的操作命令之前，程序中會首先判斷和設備相關的連鎖條件是否滿足(4)，如果滿足則會順利進行相應的操作(5)，如若不滿足，則會提示操作失敗并提示缺少哪些連鎖條件不滿足。
[0007]2.一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，當進行設備調(diào)試時，如果設備沒有滿足連鎖條件而不能調(diào)試設備時，可以打開連鎖界面，在連鎖界面上有每個器件對應的連鎖條件，是可選擇的，只要把相應不滿足的條件去掉就可以進行操作了。
[0008]3.一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，在連鎖界面上每個連鎖條件對應一個變量，每個變量都和設備操作相關聯(lián)，變量之間傳遞簡單方便。
[0009]4.操作系統(tǒng)打開時，連鎖條件是自動全選的，遇到需要調(diào)試的可以手動去掉某個連鎖條件，這樣保證機器安全。
[0010]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點:
[0011]1.可選擇連鎖條件防止誤操作對設備的損壞，增加系統(tǒng)的安全性和靈活性；
[0012]2.增加判斷，節(jié)省了代碼量，簡單易行，提高效率；
【附圖說明】
[0013]圖1為離子注入機可選擇連鎖配置的流程圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖1對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0015]如圖1所示，是通過服務器操作界面(I)控制離子注入機的硬件設備(閥門、分子栗、干栗、高硅、低硅等)的開關(2)，在服務器程序界面上打開或關閉設備的操作命令之前，程序中會首先通過連鎖函數(shù)判斷和設備相關的連鎖條件是否滿足(4)，如果滿足則會順利進行相應的操作(5)，如若不滿足，則會彈出對話框提示操作失敗并提示哪些連鎖條件不滿足。當進行設備調(diào)試時，如果設備沒有滿足連鎖條件而不能調(diào)試設備時，可以打開連鎖界面，在連鎖界面上有每個器件對應的連鎖條件，是可選擇的，只要把相應不滿足的條件去掉就可以進行操作了。系統(tǒng)開始運行時，所有器件的連鎖條件是默認全選的，這樣保證了系統(tǒng)操作的安全性。
[0016]在連鎖界面上每個連鎖條件對應一個變量，每個變量都和設備操作相關聯(lián)，變量之間傳遞簡單方便。
[0017]本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【主權(quán)項】
1.一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，包括操作界面(I)、設備開關操作(2)、聯(lián)鎖條件(3)、是否滿足聯(lián)鎖條件(4)、打開或關閉設備(5)、操作完成￠)、聯(lián)鎖界面(7)。2.一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，其特征在于運用變量關聯(lián)的思想，使代碼更簡潔，使設備的操作更靈活。3.一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，其特征在于聯(lián)鎖條件可選擇，避免設備出現(xiàn)故障時由于聯(lián)鎖限制而不能操作。4.一種離子注入機的可選擇的連鎖配置方法，其特征在于聯(lián)鎖條件界面化，使操作更簡便易懂。
【文檔編號】H01J37/317GK105895484SQ201410788907
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2014年12月18日
【發(fā)明人】王博喜
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司