本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造設(shè)備，即離子注入機(jī)，特別是一種束流檢測裝置，屬半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

隨著集成電路工藝技術(shù)的提高，對離子注入設(shè)備提出了更高的要求，離子注入元素的種類更多，離子注入設(shè)備的應(yīng)用范圍更廣，其可應(yīng)用于各種材料改性、半導(dǎo)體器件制造以及大功率器件如SiC電子器件制造等領(lǐng)域，并要求離子注入設(shè)備自動(dòng)化程度較高，操作簡單方便，工作穩(wěn)定。

現(xiàn)有的束流檢測裝置可實(shí)現(xiàn)束流大小的檢測，其運(yùn)動(dòng)密封方式采用單一的滑動(dòng)密封，本束流檢測裝置采用焊接波紋管連接密封方式，并加以滑塊導(dǎo)軌進(jìn)行固定，使其直線運(yùn)動(dòng)更加穩(wěn)定。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種束流檢測裝置，該束流檢測裝置在保證良好真空條件下，能夠?qū)崿F(xiàn)平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)。從而提高束流檢測的穩(wěn)定性。

一種束流檢測裝置，包括束流接收模塊、氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊、波紋管真空密封模塊(3)，其特征在于：該束流檢測裝置能夠接收分析器后端的束流，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對束流大小準(zhǔn)確的測量，具有直線運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，測量準(zhǔn)確，不影響高真空等優(yōu)點(diǎn)。

所述束流接收模塊，包括法拉第杯、磁鐵、磁鐵固定板、石墨等組成，將法拉第杯，磁鐵，磁鐵固定板，石墨連接，其特征在于：能夠準(zhǔn)確的測量束流的大小，杯體四周有一個(gè)冷卻水回路，保證帶走杯體因接束流而產(chǎn)生的熱量，增強(qiáng)束流接收模塊的使用壽命。。

所述氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊，包括氣缸運(yùn)動(dòng)部件、導(dǎo)軌滑塊、導(dǎo)軌支撐架、氣缸導(dǎo)管連接塊，其特征在于：該氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊保證了束流接收模塊的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，有效的提高了設(shè)備的穩(wěn)定性。

所述的束流檢測裝置，波紋管真空密封模塊，包括真空波紋管、真空腔體、軸，其特征在于：主軸穿過波紋管，通過波紋管使真空腔體與氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊之間形成活動(dòng)密閉真空腔。該真空模塊密封連接采用焊接波紋管的方式，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)可靠，真空度好。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所具有的有益效果為：本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，拆裝維護(hù)方便；能夠?qū)Ω吣艽笫鬟M(jìn)行檢測，并且該梳理檢測裝置在保證良好密封性條件下，能夠?qū)崿F(xiàn)束流接收模塊直線運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例束流接收模塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明一實(shí)施例氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明一實(shí)施例波紋管真空密封模塊結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本發(fā)明一實(shí)施例包括束流接收模塊(1)、氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊(2)、波紋管真空密封模塊(3)等。

一種束流檢測裝置，主要采用氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，波紋管密封方式，所述束流接收模塊，包括法拉第杯、磁鐵、磁鐵固定板、石墨等組成，將法拉第杯，磁鐵，磁鐵固定板，石墨連接，其特征在于：能夠準(zhǔn)確的測量束流的大小，杯體四周有一個(gè)冷卻水回路，保證帶走杯體因接束流而產(chǎn)生的熱量，增強(qiáng)束流接收模塊的使用壽命。所述氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊，包括氣缸運(yùn)動(dòng)部件、導(dǎo)軌滑塊、導(dǎo)軌支撐架、氣缸導(dǎo)管連接塊，其特征在于：該氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊保證了束流接收模塊的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，有效的提高了設(shè)備的穩(wěn)定性。所述的束流檢測裝置，波紋管真空密封模塊，包括真空波紋管、真空腔體、軸，其特征在于：主軸穿過波紋管，通過波紋管使真空腔體與氣缸導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)模塊之間形成活動(dòng)密閉真空腔。該真空模塊密封連接采用焊接波紋管的方式，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)可靠，真空度好。