一種離子注入機的照明連鎖裝置的制造方法
【專利摘要】一種離子注入機的照明連鎖裝置。包括主電路和控制電路。該裝置特征在于，照明可以實現(xiàn)連鎖控制。打開任意門，都能使照明燈亮，只有關(guān)閉所有門，才能使照明燈滅。節(jié)能方便，不需要照明時，照明燈會自動關(guān)閉。說明書對裝置進行了詳細闡述。
【專利說明】
一種離子注入機的照明連鎖裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ] 本發(fā)明涉及離子注入機的一種照明連鎖裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]首先隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，離子注入機作為其產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)，在市場的地位越來越大。同時對工藝提出了更高的要求，不僅需要技術(shù)更先進，精度更高的設(shè)備，還需要更加人性化、更加方便實用的離子注入機。其次，能源問題已經(jīng)是二十一世紀經(jīng)濟發(fā)展的首要問題。任何設(shè)備的投入使用都有著嚴格的耗能指標(biāo)。離子注入機作為國家重點的高科技裝備，更應(yīng)該在節(jié)能的方面起到表率作用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是針對上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而提出的一種用于離子注入機的照明連鎖裝置。
[0004]本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0005]一種離子注入機的照明連鎖裝置。包括主電路和控制電路。主電路由斷路器(QF)、接觸器(KM)和照明燈(LI?L3)組成，通過斷路器(QF)和接觸器控制主電路的通斷，具體連接方式如圖1所示?？刂苹芈酚尚谐涕_關(guān)(SQl?SQ5)、繼電器(Kl?K5)和24V開關(guān)電源組成，通過門動作觸發(fā)行程開關(guān)控制接觸器(KM)的通斷，具體連接方式如圖2所示。
[0006]相對現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述電路的有益效果在于:
[0007]1.照明可以實現(xiàn)連鎖控制。打開任意門，都能使照明燈亮，只有關(guān)閉所有門，才能使照明燈滅。
[0008]2.節(jié)能方便。不需要照明時，燈會自動關(guān)閉。
【附圖說明】
[0009]圖1:是本發(fā)明所述離子注入機的照明連鎖裝置的主電路圖。
[0010]圖2:是本發(fā)明所述離子注入機的照明連鎖裝置的控制電路圖。
【具體實施方式】
[0011]當(dāng)操作員開任意門時，門觸發(fā)行程開關(guān)(SQ)的常開觸點閉合，中間繼電器線圈(K)通電，觸點吸合，從而使接觸器線圈(KM)通電，觸點閉合，主電路通電，照明燈(LI?L3)亮；當(dāng)操作員關(guān)閉所有門時，所有行程開關(guān)(SQ)均斷開，所有繼電器線圈(K)失電，觸點均為常開觸點，接觸器線圈(KM)失電，主電路斷開，照明燈(LI?L3)滅。
[0012]本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【主權(quán)項】
1.一種離子注入機的照明連鎖裝置。包括主電路和控制電路。2.如權(quán)利要求1所述的一種照明連鎖裝置，其特征在于:照明可以實現(xiàn)連鎖控制。打開任意門，都能使照明燈亮，只有關(guān)閉所有門，才能使照明燈滅。節(jié)能方便，不需要照明時，照明燈自動關(guān)閉。
【文檔編號】H05B37/02GK105898949SQ201410788909
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2014年12月18日
【發(fā)明人】馬少志
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司