電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置。包括待鈍化處理的第一鋼瓶，還包括輸出管道與第一鋼瓶相通的置換氣體鋼瓶、氣源鋼瓶，和輸入管道與第一鋼瓶相通的回收氣體鋼瓶以及抽氣管道與第一鋼瓶相通的抽風(fēng)機(jī)，所述的置換氣體鋼瓶、氣源鋼瓶的輸出管道上設(shè)置第一、第二開(kāi)關(guān)閥，所述的回收氣體鋼瓶的輸入管道上設(shè)置第三開(kāi)關(guān)閥，所述的抽風(fēng)機(jī)的抽氣管道上設(shè)置第四開(kāi)關(guān)閥，所述的第一鋼瓶置于加熱裝置的加熱腔內(nèi)，所述的回收氣體鋼瓶置于冷凝裝置的冷凝腔內(nèi)，所述的加熱腔內(nèi)設(shè)置溫感控制單元，溫感控制單元控制加熱裝置使得加熱腔內(nèi)溫度控制60?200℃，所述的回收氣體鋼瓶的輸入管道上位于第三開(kāi)關(guān)閥的下位設(shè)置氣體回抽裝置。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于電子級(jí)氣體領(lǐng)域，涉及電子級(jí)氣體鋼瓶的內(nèi)部處理，具體涉及一種電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電子級(jí)氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。而電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體是集成電路芯片制造中最重要摻雜介質(zhì)之一，在離子注入工藝中起到十分關(guān)鍵的作用，同時(shí)也是發(fā)光二極管、高效太陽(yáng)能電池制造工藝中合成化合物半導(dǎo)體砷化鎵、磷砷化鎵的最主要原料之一。無(wú)論是集成電路還是發(fā)光二極管、高效太陽(yáng)能電池，都在國(guó)民經(jīng)濟(jì)生活、國(guó)防科工業(yè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
[0003]當(dāng)前在上述領(lǐng)域中應(yīng)用的砷化氫、磷化氫及其混合氣體的純度要求都在6N(99.9999%)以上，主要的雜質(zhì)氣體含量都要求低于0.lppm。這里解釋下，一般純度達(dá)到5N(99.999%)以上氣體的就稱(chēng)為電子級(jí)了。其中水分是最主要也是最難除去的雜質(zhì)。要生產(chǎn)出如此高要求的氣體，不僅生產(chǎn)工藝系統(tǒng)中的水分要嚴(yán)格控制，但如果沒(méi)有合格的鋼瓶容器，也是不可能生產(chǎn)出品質(zhì)合格產(chǎn)品的。這是因?yàn)橥ㄟ^(guò)機(jī)械加工處理，鋼瓶?jī)?nèi)壁也只能達(dá)到一定的粗糙度，也就是鋼瓶?jī)?nèi)壁表面仍然會(huì)存在非常細(xì)微的凹坑，這樣殘留在鋼瓶容器內(nèi)的水分吸附在鋼瓶?jī)?nèi)壁的凹坑上，而現(xiàn)有的電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶采用傳統(tǒng)的加熱抽真空的處理方法，無(wú)法使水分降到0.1ppm以下，也就會(huì)出現(xiàn)鋼瓶盛裝電子級(jí)的砷化氫、磷化氫及其混合氣體的純度會(huì)降低，影響待裝產(chǎn)品的合格率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明目的是提供一種電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，通過(guò)本裝置對(duì)鋼瓶?jī)?nèi)部處理，把鋼瓶?jī)?nèi)水分降到0.1ppm以下，這樣鋼瓶用于盛裝電子級(jí)的砷化氫、磷化氫及其混合氣體，砷化氫、磷化氫及其混合氣體的純度大大提高。這些氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、發(fā)光二極管(LED)、平板顯示(TFT)、太陽(yáng)能電池(PV)制造領(lǐng)域。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:一種電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，包括待鈍化處理的第一鋼瓶，所述的裝置還包括輸出管道與第一鋼瓶相通的置換氣體鋼瓶、氣源鋼瓶，和輸入管道與第一鋼瓶相通的回收氣體鋼瓶以及抽氣管道與第一鋼瓶相通的抽風(fēng)機(jī)，所述的置換氣體鋼瓶、氣源鋼瓶的輸出管道上設(shè)置第一、第二開(kāi)關(guān)閥，所述的回收氣體鋼瓶的輸入管道上設(shè)置第三開(kāi)關(guān)閥，所述的抽風(fēng)機(jī)的抽氣管道上設(shè)置第四開(kāi)關(guān)閥，所述的第一鋼瓶置于加熱裝置的加熱腔內(nèi)，所述的回收氣體鋼瓶置于冷凝裝置的冷凝腔內(nèi)，所述的加熱腔內(nèi)設(shè)置溫感控制單元，溫感控制單元控制加熱裝置使得加熱腔內(nèi)溫度控制為60-200°C，所述的回收氣體鋼瓶的輸入管道上位于第三開(kāi)關(guān)閥的下位設(shè)置氣體回抽裝置。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)效果在于:本發(fā)明的處理過(guò)程是這樣的:先關(guān)閉第一、第二、第三開(kāi)關(guān)閥，打開(kāi)第四開(kāi)關(guān)閥，同時(shí)啟動(dòng)加熱裝置，加熱裝置配合加熱裝置加熱腔內(nèi)的溫感控制單元使得加熱裝置的加熱腔內(nèi)溫度控制為100-200 °C并持續(xù)數(shù)小時(shí)，使得第一鋼瓶?jī)?nèi)的水分特別是內(nèi)壁凹坑上的水分蒸發(fā)并由抽風(fēng)機(jī)通過(guò)抽氣管道抽出，抽出一段時(shí)間后，停止抽風(fēng)機(jī)的抽氣工作，并關(guān)閉第四開(kāi)關(guān)閥，再打開(kāi)置換氣體鋼瓶輸出管道上的第一開(kāi)關(guān)閥，使得置換氣體鋼瓶?jī)?nèi)的置換氣體通過(guò)第一鋼瓶?jī)?nèi)進(jìn)行吹掃置換，由于第一鋼瓶被加熱并已由抽風(fēng)機(jī)抽氣所以現(xiàn)在第一鋼瓶?jī)?nèi)的氣壓較低，也就是第一鋼瓶相對(duì)置換氣體鋼瓶為負(fù)壓，置換氣體鋼瓶的置換氣體直接吸向第一鋼瓶?jī)?nèi)，這樣第一鋼瓶?jī)?nèi)形成水蒸汽與置換氣體的混合物，這個(gè)負(fù)壓作用結(jié)束后，再打開(kāi)第四開(kāi)關(guān)閥，關(guān)閉第一開(kāi)關(guān)閥，啟動(dòng)抽風(fēng)機(jī)，抽風(fēng)機(jī)抽取水蒸汽與置換氣體的混合物，隨著水蒸汽與置換氣體的混合物的逐漸抽取第一鋼瓶?jī)?nèi)壓力逐漸降低，至第一鋼瓶為真空狀態(tài)，在較低壓甚至真空情況下，水蒸汽在60°C仍然是蒸汽狀態(tài)，所以加熱裝置加熱腔內(nèi)的溫度可以降低至60°C以上。就這樣或者再以上述方法依次循環(huán)使得鋼瓶?jī)?nèi)水分降到0.1ppm以下，再關(guān)閉第四開(kāi)關(guān)閥，打開(kāi)第二開(kāi)關(guān)閥，同理，由于第一鋼瓶的真空負(fù)壓作用，氣源鋼瓶?jī)?nèi)的砷化氫、磷化氫及其混合氣體吸入第一鋼瓶?jī)?nèi)，負(fù)壓作用完成后，關(guān)閉第二開(kāi)關(guān)閥，啟動(dòng)加熱裝置加熱加熱腔內(nèi)的第一鋼瓶，持續(xù)10-48小時(shí)，使得砷化氫、磷化氫及其混合氣體位于第一鋼瓶?jī)?nèi)壁上形成一層鈍化膜，再打開(kāi)第三開(kāi)關(guān)閥，置氣體回抽裝置將第一鋼瓶?jī)?nèi)的砷化氫、磷化氫及其混合氣體全部吸入回收氣體鋼瓶?jī)?nèi)，防止第一鋼瓶?jī)?nèi)有多余的毒性砷化氫、磷化氫及其混合氣體，再通過(guò)冷凝裝置的冷凝腔對(duì)回收氣體鋼瓶的氣體進(jìn)行凝固，進(jìn)一步防止砷化氫、磷化氫及其混合氣體由于氣體擴(kuò)散出現(xiàn)污染。至此，本裝置的工作全部完成。通過(guò)本裝置對(duì)鋼瓶?jī)?nèi)部處理，把鋼瓶?jī)?nèi)水分降到
0.1ppm以下，這樣鋼瓶用于盛裝電子級(jí)的砷化氫、磷化氫及其混合氣體，砷化氫、磷化氫及其混合氣體的純度大大提高。這些氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、發(fā)光二極管(LED)、平板顯示(TFT )、太陽(yáng)能電池(PV )制造領(lǐng)域。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]參照附圖，一種電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，包括待鈍化處理的第一鋼瓶I，所述的裝置還包括輸出管道與第一鋼瓶I相通的置換氣體鋼瓶9、氣源鋼瓶3，和輸入管道與第一鋼瓶I相通的回收氣體鋼瓶6以及抽氣管道與第一鋼瓶I相通的抽風(fēng)機(jī)8，所述的置換氣體鋼瓶9、氣源鋼瓶3的輸出管道上設(shè)置第一、第二開(kāi)關(guān)閥a、b，所述的回收氣體鋼瓶6的輸入管道上設(shè)置第三開(kāi)關(guān)閥c，所述的抽風(fēng)機(jī)8的抽氣管道上設(shè)置第四開(kāi)關(guān)閥d，所述的第一鋼瓶I置于加熱裝置2的加熱腔內(nèi)，所述的回收氣體鋼瓶6置于冷凝裝置7的冷凝腔內(nèi)，所述的加熱腔內(nèi)設(shè)置溫感控制單元，溫感控制單元控制加熱裝置2使得加熱腔內(nèi)溫度控制為60-200°C，所述的回收氣體鋼瓶6的輸入管道上位于第三開(kāi)關(guān)閥c的下位設(shè)置氣體回抽裝置f。參照?qǐng)D1，本發(fā)明的處理過(guò)程是這樣的:先關(guān)閉第一、第二、第三開(kāi)關(guān)閥
a、b、c，打開(kāi)第四開(kāi)關(guān)閥d，同時(shí)啟動(dòng)加熱裝置2，加熱裝置2配合加熱裝置2加熱腔內(nèi)的溫感控制單元使得加熱裝置2的加熱腔內(nèi)溫度控制為100-200°C并持續(xù)數(shù)小時(shí)，使得第一鋼瓶I內(nèi)的水分特別是內(nèi)壁凹坑上的水分蒸發(fā)并由抽風(fēng)機(jī)8通過(guò)抽氣管道抽出，抽出一段時(shí)間后，停止抽風(fēng)機(jī)8的抽氣工作，并關(guān)閉第四開(kāi)關(guān)閥d，再打開(kāi)置換氣體鋼瓶9輸出管道上的第一開(kāi)關(guān)閥a，使得置換氣體鋼瓶9內(nèi)的置換氣體通過(guò)第一鋼瓶I內(nèi)進(jìn)行吹掃置換，這里說(shuō)明下，所述的置換氣體鋼瓶9內(nèi)的置換氣體必須是性能穩(wěn)定的氣體，譬如氮?dú)?、氫氣、以及氦氣、氬氣之?lèi)的惰性氣體，且置換氣體須無(wú)毒。當(dāng)置換氣體鋼瓶9內(nèi)的置換氣體是相對(duì)較輕的氫氣或者氦氣，將置換氣體鋼瓶9的輸出管道深入第一鋼瓶I的內(nèi)底部進(jìn)行吹掃置換，當(dāng)置換氣體鋼瓶9內(nèi)的置換氣體是相對(duì)較重的氮?dú)饣蛘邭鍤?，可以將置換氣體鋼瓶9的輸出管道直接聯(lián)通至第一鋼瓶I瓶口，如圖1，再說(shuō)明下，由于第一鋼瓶I被加熱并已由抽風(fēng)機(jī)8抽氣所以現(xiàn)在第一鋼瓶I內(nèi)的氣壓較低，也就是第一鋼瓶I相對(duì)置換氣體鋼瓶9為負(fù)壓，置換氣體鋼瓶9的置換氣體直接吸向第一鋼瓶I內(nèi)，這樣第一鋼瓶I內(nèi)形成水蒸汽與置換氣體的混合物，這個(gè)負(fù)壓作用結(jié)束后，再打開(kāi)第四開(kāi)關(guān)閥d，關(guān)閉第一開(kāi)關(guān)閥a，啟動(dòng)抽風(fēng)機(jī)8，抽風(fēng)機(jī)8抽取水蒸汽與置換氣體的混合物，隨著水蒸汽與置換氣體的混合物的逐漸抽取第一鋼瓶I內(nèi)壓力逐漸降低，至第一鋼瓶I為真空狀態(tài)，在較低壓甚至真空情況下，水蒸汽在60°C仍然是蒸汽狀態(tài)，所以加熱裝置2加熱腔內(nèi)的溫度可以降低至60°C以上。就這樣或者再以上述方法依次循環(huán)使得鋼瓶?jī)?nèi)水分降到0.1ppm以下，再關(guān)閉第四開(kāi)關(guān)閥d，打開(kāi)第二開(kāi)關(guān)閥b，同理，由于第一鋼瓶I的真空負(fù)壓作用，氣源鋼瓶3內(nèi)的砷化氫、磷化氫及其混合氣體吸入第一鋼瓶I內(nèi)，負(fù)壓作用完成后，關(guān)閉第二開(kāi)關(guān)閥b，啟動(dòng)加熱裝置2加熱加熱腔內(nèi)的第一鋼瓶I，持續(xù)10-48小時(shí)，使得砷化氫、磷化氫及其混合氣體位于第一鋼瓶I內(nèi)壁上形成一層鈍化膜，再打開(kāi)第三開(kāi)關(guān)閥c，置氣體回抽裝置f將第一鋼瓶I內(nèi)的砷化氫、磷化氫及其混合氣體全部吸入回收氣體鋼瓶6內(nèi)，防止第一鋼瓶I內(nèi)有多余的毒性砷化氫、磷化氫及其混合氣體，再通過(guò)冷凝裝置7的冷凝腔對(duì)回收氣體鋼瓶6的氣體進(jìn)行凝固，進(jìn)一步防止砷化氫、磷化氫及其混合氣體由于氣體擴(kuò)散出現(xiàn)污染。至此，本裝置的工作全部完成。
[0009]優(yōu)選的，所述的氣源鋼瓶3直接采用裝置經(jīng)過(guò)酸鹽反應(yīng)并凈化得到砷化氫、磷化氫及其混合氣體的鋼瓶，或者采用所述的第一鋼瓶I。
[0010]這里說(shuō)明下，經(jīng)過(guò)酸鹽反應(yīng)并凈化得到砷化氫、磷化氫及其混合氣體可以直接裝入鋼瓶形成氣源鋼瓶3，這種氣源鋼瓶3的砷化氫、磷化氫及其混合氣體純度相對(duì)不是很高，但是作為第一鋼瓶I的鈍化膜使用氣，第一鋼瓶I的純度是可以達(dá)到6N的，但是有的電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體的純度須要達(dá)到7N，這就需要?dú)庠翠撈?的鈍化膜使用氣的純度更純，這樣采用上述純度達(dá)到6N的第一鋼瓶I的氣體作為使用氣，這樣得到的新的第一鋼瓶I的鈍化膜使用氣其純度是可以達(dá)到7N甚至純度更高。
[0011]進(jìn)一步的，所述的抽風(fēng)機(jī)8的抽氣管道上設(shè)置溫控裝置4，溫控裝置4的溫控溫度為60-200°C，所述的置換氣體鋼瓶9、氣源鋼瓶3的輸出管道、回收氣體鋼瓶6的輸入管道均接在抽風(fēng)機(jī)8的抽氣管道上，所述的第四開(kāi)關(guān)閥d設(shè)置于抽氣管道上位于抽風(fēng)機(jī)8的抽風(fēng)口處。
[0012]通過(guò)溫控裝置4控制抽風(fēng)機(jī)8的抽氣管道溫度與加熱裝置2加熱腔內(nèi)相匹配，防止從第一鋼瓶I出來(lái)的氣體，特別是水蒸氣在抽風(fēng)機(jī)8的抽氣管道上液化冷凝、再回流至第一鋼瓶I，造成工作量的加大。
[0013]再進(jìn)一步的，抽風(fēng)機(jī)8的抽氣管道上置換氣體鋼瓶9輸出管道的連接位位于氣源鋼瓶3輸出管道連接位以及回收氣體鋼瓶6輸入管道連接位的上位。
[0014]如圖1，這里，置換氣體鋼瓶9的置換氣體采用氮?dú)饣蛘邭鍤猓@樣置換氣體鋼瓶9的進(jìn)氣口相對(duì)氣源鋼瓶3的進(jìn)氣口以及回收氣體鋼瓶6吸氣口對(duì)第一鋼瓶I的距離最近，也就是置換氣體鋼瓶9的置換氣體相對(duì)第一鋼瓶I的路徑較短，提高置換氣體的置換效率。
[0015]再進(jìn)一步的，抽風(fēng)機(jī)8的抽氣管道上位于置換氣體鋼瓶9輸出管道連接位的上位設(shè)置置換氣體檢測(cè)裝置5。
[0016]這里需要說(shuō)明下，為了進(jìn)一步保證第一鋼瓶I內(nèi)無(wú)可能存在的其它雜質(zhì)這個(gè)雜質(zhì)可能是由于置氣體回抽裝置f對(duì)于第一鋼瓶I抽氣或者說(shuō)抽真空不凈導(dǎo)致的，再打開(kāi)第一開(kāi)關(guān)閥a，由于負(fù)壓作用置換氣體鋼瓶9的置換氣體進(jìn)入第一鋼瓶I，再關(guān)閉第一開(kāi)關(guān)閥a，打開(kāi)第四開(kāi)關(guān)閥d，通過(guò)抽風(fēng)機(jī)8再抽氣(這里說(shuō)明下，這里抽得的置換氣體與砷化氫、磷化氫及其混合氣體的混合氣毒性非常非常低，完全達(dá)到自然排放的標(biāo)準(zhǔn))，并以此循環(huán)，通過(guò)置換氣體檢測(cè)裝置5的檢測(cè)檢查第一鋼瓶I內(nèi)抽氣只有置換氣體無(wú)任何雜質(zhì)氣即可，這樣得到第一鋼瓶I裝置的砷化氫、磷化氫及其混合氣體電子級(jí)純度會(huì)更高。
[0017]優(yōu)選的，所述的置換氣體鋼瓶9的輸出管道上位于第一開(kāi)關(guān)閥a的上位設(shè)置第一減壓供氣裝置el，所述的氣源鋼瓶3的輸出管道上位于第二開(kāi)關(guān)閥b的上位設(shè)置第二減壓供氣裝置e2。
[0018]設(shè)置的第一減壓供氣裝置el、第二減壓供氣裝置e2使得從置換氣體鋼瓶9以及氣源鋼瓶3輸出的氣體壓力較低，進(jìn)而使得輸氣平穩(wěn)輸出。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，包括待鈍化處理的第一鋼瓶(I)，其特征在于:所述的裝置還包括輸出管道與第一鋼瓶(I)相通的置換氣體鋼瓶(9)、氣源鋼瓶(3)，和輸入管道與第一鋼瓶(I)相通的回收氣體鋼瓶(6)以及抽氣管道與第一鋼瓶(I)相通的抽風(fēng)機(jī)(8)，所述的置換氣體鋼瓶(9)、氣源鋼瓶(3)的輸出管道上設(shè)置第一、第二開(kāi)關(guān)閥(a、b)，所述的回收氣體鋼瓶(6)的輸入管道上設(shè)置第三開(kāi)關(guān)閥(C)，所述的抽風(fēng)機(jī)(8)的抽氣管道上設(shè)置第四開(kāi)關(guān)閥(d)，所述的第一鋼瓶(I)置于加熱裝置(2)的加熱腔內(nèi)，所述的回收氣體鋼瓶(6)置于冷凝裝置(7)的冷凝腔內(nèi)，所述的加熱腔內(nèi)設(shè)置溫感控制單元，溫感控制單元控制加熱裝置(2)使得加熱腔內(nèi)溫度控制為60-2000C，所述的回收氣體鋼瓶(6)的輸入管道上位于第三開(kāi)關(guān)閥(c)的下位設(shè)置氣體回抽裝置(f)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，其特征在于:所述的氣源鋼瓶(3)直接采用裝置經(jīng)過(guò)酸鹽反應(yīng)并凈化得到砷化氫、磷化氫及其混合氣體的鋼瓶，或者采用所述的第一鋼瓶(I)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，其特征在于:所述的抽風(fēng)機(jī)(8)的抽氣管道上設(shè)置溫控裝置(4)，溫控裝置(4)的溫控溫度為60-200°C，所述的置換氣體鋼瓶(9)、氣源鋼瓶(3)的輸出管道、回收氣體鋼瓶(6)的輸入管道均接在抽風(fēng)機(jī)(8)的抽氣管道上，所述的第四開(kāi)關(guān)閥(d)設(shè)置于抽氣管道上位于抽風(fēng)機(jī)(8)的抽風(fēng)口處。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，其特征在于:抽風(fēng)機(jī)(8)的抽氣管道上置換氣體鋼瓶(9)輸出管道的連接位位于氣源鋼瓶(3)輸出管道連接位以及回收氣體鋼瓶(6)輸入管道連接位的上位。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，其特征在于:所述的置換氣體鋼瓶(9)的輸出管道上位于第一開(kāi)關(guān)閥(a)的上位設(shè)置第一減壓供氣裝置(el)，所述的氣源鋼瓶(3)的輸出管道上位于第二開(kāi)關(guān)閥(b)的上位設(shè)置第二減壓供氣裝置(e2)。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子級(jí)砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置，其特征在于:抽風(fēng)機(jī)(8)的抽氣管道上位于置換氣體鋼瓶(9)輸出管道連接位的上位設(shè)置置換氣體檢測(cè)裝置(5)。
【文檔編號(hào)】C01B6/06GK106064807SQ201610553688
【公開(kāi)日】2016年11月2日
【申請(qǐng)日】2016年7月14日
【發(fā)明人】曾慶騰, 許召文
【申請(qǐng)人】合肥正帆電子材料有限公司