本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造設(shè)備，即離子注入機，特別是一種引出電極驅(qū)動裝置，屬半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

隨著集成電路工藝技術(shù)的提高，對離子注入設(shè)備提出了更高的要求，離子注入元素的種類更多，離子注入設(shè)備的應(yīng)用范圍更廣，其可應(yīng)用于各種材料改性、半導(dǎo)體器件制造以及大功率器件如SiC電子器件制造等領(lǐng)域，并要求離子注入設(shè)備自動化程度較高，操作簡單方便，工作穩(wěn)定。

現(xiàn)有的引出電極驅(qū)動裝置可實現(xiàn)大部分離子元素的引出，其運動密封方式大多采用滑動密封，本引出電極驅(qū)動裝置采用焊接波紋管連接密封方式，具有運動平穩(wěn)可靠，真空度好的優(yōu)點。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種引出電極驅(qū)動裝置，該引出電極驅(qū)動裝置在保證良好密封性條件下，能夠?qū)崿F(xiàn)引出電極三自由度運動，包括x軸旋轉(zhuǎn)運動、x向水平運動、z向水平運動。具有良好的運動平穩(wěn)性和密封性，方便后續(xù)離子注入工藝調(diào)試。

一種引出電極驅(qū)動析裝置，包括離子引出模塊、引出驅(qū)動模塊、真空滑動模塊等，所述離子引出模塊包括引出地電極、引出抑制電極、絕緣柱，引出地電極和引出抑制電極通過絕緣柱連接，引出地電極和引出抑制電極的引出縫寬為5mm、引出縫長為50mm，極間絕緣性好，能夠滿足各種離子的引出。

所述引出驅(qū)動模塊包括x軸旋轉(zhuǎn)運動部件、x向運動部件、z向運動部件、驅(qū)動軸臂、驅(qū)動電機，所述x軸旋轉(zhuǎn)運動模塊主要由電動機驅(qū)動同步帶輪實現(xiàn)x軸旋轉(zhuǎn)運動；x向水平運動模塊主要由驅(qū)動電機驅(qū)動絲杠，絲桿螺母固定在滑動板上，在這里導(dǎo)軌起到導(dǎo)向作用，進而實現(xiàn)絲杠與螺母的相對運動，實現(xiàn)x向水平運動；所述z向水平運動模塊主要由驅(qū)動電機驅(qū)動同步帶輪，通過同步帶，使絲杠轉(zhuǎn)動，絲桿螺母固定在滑動板上，絲桿與螺母產(chǎn)生相對轉(zhuǎn)動，進而實現(xiàn)z向水平運動。該引出驅(qū)動模塊能夠?qū)崿F(xiàn)離子引出電極三自由度運動，方便后續(xù)離子注入工藝調(diào)試。

所述真空模塊包括引出驅(qū)動桿、真空安裝板、波紋管、驅(qū)動連接塊、O型密封圈，引出驅(qū)動桿固定在驅(qū)動連接塊上并穿過波紋管，通過波紋管使真空安裝板與驅(qū)動連接塊之間形 成密封腔體，引出驅(qū)動桿可以在保證真空的條件下，同過波紋管完成各自由度的運動，并且引出驅(qū)動桿上設(shè)有水冷循環(huán)，具有良好的水冷效果。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所具有的有益效果為：本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，拆裝維護方便；能夠?qū)μ胤N離子進行引出，引出驅(qū)動桿冷效果好，并且該引出電極驅(qū)動裝置在保證良好密封性條件下，能夠?qū)崿F(xiàn)引出電極三自由度運動，包括x軸旋轉(zhuǎn)運動、x向水平運動、z向水平運動。具有良好的運動平穩(wěn)性和密封性，方便后續(xù)離子注入工藝調(diào)試。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實施例結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一實施例離子引出模塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明一實施例引出驅(qū)動模塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明一實施例真空模塊結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實施方式

如圖1所示，本發(fā)明一實施例包括離子引出模塊(1)、引出驅(qū)動模塊(2)、真空模塊(3)等。

本一種引出電極驅(qū)動析裝置，主要采用低電壓引出方式，為了能夠引出離子，本設(shè)計采用三電極方式，離子源弧室引出板可作為高電壓極、本引出模塊結(jié)構(gòu)如圖2所示，主要由引出地電極(11)和引出抑制(12)組成，引出地電極和引出抑制電極通過絕緣柱連接(13)，引出地電極和引出抑制電極的引出縫寬為5mm、引出縫長為50mm，引出抑制電極安裝板上采用燕尾槽安裝方式，抑制電極維護方便，極間絕緣性好，能夠滿足特種離子的引出要求。

所述引出驅(qū)動模塊如圖3所示，主要包括x軸旋轉(zhuǎn)運動部件(21)、x向運動部件(22)、z向運動部件(23)、驅(qū)動軸臂(24)、驅(qū)動電機(25)，所述x軸旋轉(zhuǎn)運動模塊(21)主要由驅(qū)動電機帶動小帶輪轉(zhuǎn)動，通過同步帶實現(xiàn)大帶輪的轉(zhuǎn)動運動，進而實現(xiàn)x軸旋轉(zhuǎn)運動；x向水平運動模塊主要由驅(qū)動電機驅(qū)動絲杠，絲桿螺母固定在滑動板上，在這里導(dǎo)軌起到導(dǎo)向作用，進而實現(xiàn)絲杠與螺母的相對運動，實現(xiàn)x向水平運動；所述z向水平運動模塊主要由驅(qū)動電機驅(qū)動同步帶輪，通過同步帶，使絲杠轉(zhuǎn)動，絲桿螺母固定在滑動板上，絲桿與螺母產(chǎn)生相對轉(zhuǎn)動，進而實現(xiàn)z向水平運動。該引出驅(qū)動模塊能夠?qū)崿F(xiàn)離子引出電極三自由度運動，方便后續(xù)離子注入工藝調(diào)試。

所述真空模塊包括引出驅(qū)動桿、真空安裝板、波紋管、驅(qū)動連接塊、O型密封圈，引出驅(qū)動桿固定在驅(qū)動連接塊上并穿過波紋管，通過波紋管使真空安裝板與驅(qū)動連接塊之間形成密封腔體，引出驅(qū)動桿可以在保證真空的條件下，同過波紋管完成各自由度的運動，并 且引出驅(qū)動桿上設(shè)有水冷循環(huán)，具有良好的水冷效果。