技術(shù)總結(jié)
一種形成圖案的方法包括：在下面層上形成引導(dǎo)圖案，在引導(dǎo)圖案和下面層上形成自組裝嵌段共聚物(BCP)層，將自組裝BCP層退火以形成被交替地且重復(fù)地排列的第一聚合物嵌段域和第二聚合物嵌段域，以及選擇性地去除第一聚合物嵌段域。引導(dǎo)圖案由可顯影抗反射材料形成。另外，引導(dǎo)圖案彼此間隔開，使得引導(dǎo)圖案中的每個(gè)的寬度小于引導(dǎo)圖案之間的距離。

技術(shù)研發(fā)人員：潘槿道;卜喆圭;許仲君;金弘益
受保護(hù)的技術(shù)使用者：愛思開海力士有限公司
文檔號(hào)碼：201510210383
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.29
技術(shù)公布日：2016.12.07