專利名稱：一種改進(jìn)的太陽能電池片pecvd設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一 太陽能電池片的生產(chǎn)設(shè)備，特別是一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前，現(xiàn)有的太陽能電池片PECVD設(shè)備一般包括有反應(yīng)腔室，該反應(yīng)腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設(shè)有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通。此種結(jié)構(gòu)的太陽能電池片PECVD設(shè)備在對(duì)樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4也會(huì)附著于附塵槽和氣體噴淋小孔上，經(jīng)過長時(shí)間的生產(chǎn)后，附塵槽和氣體噴淋小孔上會(huì)附著一層厚厚的Si3N4,當(dāng)氣體噴淋小孔被堵時(shí)，就會(huì)影響特氣的流量，從而影響到硅片的膜厚以及折射率，導(dǎo)致不良片。因此需要經(jīng)常對(duì)設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)，清理附塵槽上的Si3N4以及對(duì)氣體噴淋小孔用電鉆進(jìn)行通孔，且通孔時(shí)，鉆頭很容易斷裂，卡在孔里，且清理下來的Si3N4有很多仍會(huì)遺留在特氣管道內(nèi)，當(dāng)氣體噴淋小孔或特氣管道被堵時(shí)，可能還要進(jìn)行更換，提高了成本，且保養(yǎng)設(shè)備需耗費(fèi)很多時(shí)間及精力，降低了產(chǎn)量，給企業(yè)帶來經(jīng)濟(jì)損失。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種更加便于保養(yǎng)，可降低成本，提高產(chǎn)量，給企業(yè)帶來更好的經(jīng)濟(jì)效益的改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備。本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，包括有反應(yīng)腔室，該反應(yīng)腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設(shè)有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通，所述氣體噴淋管上附有一可拆卸的附塵板，該附塵板上設(shè)有與所述氣體噴淋管上的氣體噴淋小孔相對(duì)應(yīng)的相同孔徑的附塵孔，該附塵孔與氣體噴淋管上與其相對(duì)應(yīng)的氣體噴淋小孔相重合。所述氣體噴淋小孔均勻設(shè)于氣體噴淋管上。所述附塵板與所述氣體噴淋管采用金屬材料制成。所述附塵板與所述氣體噴淋管之間的接觸面密合。所述附塵板可滑動(dòng)的卡固于附塵槽上。由上述對(duì)本實(shí)用新型的描述可知，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是通過在PECVD設(shè)備反應(yīng)腔室的氣體噴淋管上附一可拆卸的附塵板，可保證在對(duì)樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4會(huì)附著于附塵板的附塵孔上，不會(huì)對(duì)氣體噴淋小孔堵塞，需要清理時(shí)，可直接將附塵板拆卸下來進(jìn)行通孔，對(duì)特氣管道及氣體噴淋管無直接影響，這樣就降低了保養(yǎng)時(shí)通孔的難度，減少了保養(yǎng)所需的時(shí)間，可提高產(chǎn)量，且可節(jié)省因特氣管道或氣體噴淋小孔堵塞進(jìn)行更換所耗費(fèi)的資金，降低了成本，給企業(yè)帶來更好的經(jīng)濟(jì)效益。
圖I是本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
的反應(yīng)腔室的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
的反應(yīng)腔室的部分結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
的反應(yīng)腔室的部分結(jié)構(gòu)剖視圖；圖4是本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
的氣體噴淋管與附塵板的側(cè)視結(jié)構(gòu)剖視圖；圖5是本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
的氣體噴淋管與附塵板的正視結(jié)構(gòu)剖視圖。圖中1.附塵槽，2.特氣管道，3.氣體噴淋管，4.氣體噴淋小孔，5.附塵板，6.附塵孔，7.等離子石英管，8.銅導(dǎo)線，9.卡口。
具體實(shí)施方式以下通過具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。參照?qǐng)DI、圖2、圖3、圖4和圖5，一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，包括有反應(yīng)腔室、氣路控制系統(tǒng)及電控系統(tǒng)，所述反應(yīng)腔室分別連接于氣路控制系統(tǒng)及電控系統(tǒng)，該反應(yīng)腔室包括有附塵槽I及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道2及固定于所述附塵槽I上的設(shè)有氣體噴淋小孔4的氣體噴淋管3，該氣體噴淋小孔4均勻設(shè)于氣體噴淋管3上，該氣體噴淋管3與特氣管道2相連通，所述氣體噴淋管3上附有一可拆卸的附塵板5，該附塵板5可滑動(dòng)的卡固于附塵槽I上，該附塵板5上設(shè)有與所述氣體噴淋管3上的氣體噴淋小孔4相對(duì)應(yīng)的相同孔徑的附塵孔6，該附塵孔6與氣體噴淋管3上與其相對(duì)應(yīng)的氣體噴淋小孔4相重合，該附塵板5與所述氣體噴淋管3采用金屬材料制成，該附塵板5與氣體噴淋管3之間的接觸面密合。所述附塵槽I上還設(shè)有等離子石英管7，該等離子石英管7中間穿設(shè)有銅導(dǎo)線8，該等離子石英管7通過設(shè)置于附塵槽I兩端的卡口 9固定于附塵槽I上。參照?qǐng)DI、圖2、圖3、圖4和圖5，本實(shí)用新型的反應(yīng)腔室用于在硅片表面沉積氮化娃薄膜，通過操作電控系統(tǒng)及氣路控制系統(tǒng)，使氨氣和娃燒從氣體噴淋小孔4噴出，在低氣壓下利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，氨氣和硅烷就會(huì)進(jìn)行一些化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)在等離子石英管7產(chǎn)生的等離子體作用下在樣品表面形成固態(tài)薄膜，在對(duì)樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4會(huì)附著于附塵板5的附塵孔6上，不會(huì)對(duì)氣體噴淋小孔4堵塞，需要清理時(shí)，可直接將附塵板5拆卸下來進(jìn)行通孔，對(duì)特氣管道2及氣體噴淋管3無直接影響，這樣就降低了保養(yǎng)時(shí)通孔的難度，減少了保養(yǎng)所需的時(shí)間，可提高產(chǎn)量，且可節(jié)省因特氣管道2或氣體噴淋小孔4堵塞進(jìn)行更換所耗費(fèi)的資金，降低了成本。所述附塵板5與氣體噴淋管3之間的接觸面密合，可保持良好的密封性，當(dāng)接觸面出現(xiàn)密封不好時(shí)，泄漏的地方就會(huì)附著上Si3N4,附著后也能保持良好的密封性。上述僅為本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)構(gòu)思并不局限于此，凡利用此構(gòu)思對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行非實(shí)質(zhì)性的改動(dòng)，均應(yīng)屬于侵犯本實(shí)用新型保護(hù)范圍的行為。
權(quán)利要求1.一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，包括有反應(yīng)腔室，該反應(yīng)腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設(shè)有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通，其特征在于所述氣體噴淋管上附有一可拆卸的附塵板，該附塵板上設(shè)有與所述氣體噴淋管上的氣體噴淋小孔相對(duì)應(yīng)的相同孔徑的附塵孔，該附塵孔與氣體噴淋管上與其相對(duì)應(yīng)的氣體噴淋小孔相重合。
2.如權(quán)利要求I所述的一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，其特征在于所述氣體噴淋小孔均勻設(shè)于氣體噴淋管上。
3.如權(quán)利要求I所述的一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，其特征在于所述附塵板與所述氣體噴淋管采用金屬材料制成。
4.如權(quán)利要求I所述的一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，其特征在于所述附塵板與所述氣體噴淋管之間的接觸面密合。
5.如權(quán)利要求I所述的一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，其特征在于所述附塵板可滑動(dòng)的卡固于附塵槽上。
專利摘要一種改進(jìn)的太陽能電池片PECVD設(shè)備，包括有反應(yīng)腔室，該反應(yīng)腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設(shè)有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通，所述氣體噴淋管上附有一可拆卸的附塵板，該附塵板上設(shè)有與所述氣體噴淋管上的氣體噴淋小孔相對(duì)應(yīng)的相同孔徑的附塵孔，該附塵孔與氣體噴淋管上與其相對(duì)應(yīng)的氣體噴淋小孔相重合。本實(shí)用新型可保證在對(duì)樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4會(huì)附著于附塵板的附塵孔上，不會(huì)對(duì)氣體噴淋小孔堵塞，需要清理時(shí)，可直接將附塵板拆卸下來進(jìn)行通孔，降低了通孔難度，減少了保養(yǎng)所需時(shí)間，可提高產(chǎn)量，降低成本，給企業(yè)帶來更好的經(jīng)濟(jì)效益。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202736889SQ201120382400
公開日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2011年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月9日
發(fā)明者林國春, 許新湖, 梁興芳 申請(qǐng)人:陽光大地(福建)新能源有限公司