專利名稱：一種改進的太陽能電池片pecvd設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一 太陽能電池片的生產設備，特別是一種改進的太陽能電池片PECVD設備。
背景技術：
目前，現有的太陽能電池片PECVD設備一般包括有反應腔室，該反應腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通。此種結構的太陽能電池片PECVD設備在對樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4也會附著于附塵槽和氣體噴淋小孔上，經過長時間的生產后，附塵槽和氣體噴淋小孔上會附著一層厚厚的Si3N4,當氣體噴淋小孔被堵時，就會影響特氣的流量，從而影響到硅片的膜厚以及折射率，導致不良片。因此需要經常對設備進行保養(yǎng)，清理附塵槽上的Si3N4以及對氣體噴淋小孔用電鉆進行通孔，且通孔時，鉆頭很容易斷裂，卡在孔里，且清理下來的Si3N4有很多仍會遺留在特氣管道內，當氣體噴淋小孔或特氣管道被堵時，可能還要進行更換，提高了成本，且保養(yǎng)設備需耗費很多時間及精力，降低了產量，給企業(yè)帶來經濟損失。
實用新型內容本實用新型的主要目的是克服現有技術的缺點，提供一種更加便于保養(yǎng)，可降低成本，提高產量，給企業(yè)帶來更好的經濟效益的改進的太陽能電池片PECVD設備。本實用新型采用如下技術方案一種改進的太陽能電池片PECVD設備，包括有反應腔室，該反應腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通，所述氣體噴淋管上附有一可拆卸的附塵板，該附塵板上設有與所述氣體噴淋管上的氣體噴淋小孔相對應的相同孔徑的附塵孔，該附塵孔與氣體噴淋管上與其相對應的氣體噴淋小孔相重合。所述氣體噴淋小孔均勻設于氣體噴淋管上。所述附塵板與所述氣體噴淋管采用金屬材料制成。所述附塵板與所述氣體噴淋管之間的接觸面密合。所述附塵板可滑動的卡固于附塵槽上。由上述對本實用新型的描述可知，與現有技術相比，本實用新型的有益效果是通過在PECVD設備反應腔室的氣體噴淋管上附一可拆卸的附塵板，可保證在對樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4會附著于附塵板的附塵孔上，不會對氣體噴淋小孔堵塞，需要清理時，可直接將附塵板拆卸下來進行通孔，對特氣管道及氣體噴淋管無直接影響，這樣就降低了保養(yǎng)時通孔的難度，減少了保養(yǎng)所需的時間，可提高產量，且可節(jié)省因特氣管道或氣體噴淋小孔堵塞進行更換所耗費的資金，降低了成本，給企業(yè)帶來更好的經濟效益。
圖I是本實用新型具體實施方式
的反應腔室的整體結構示意圖；圖2是本實用新型具體實施方式
的反應腔室的部分結構示意圖；圖3是本實用新型具體實施方式
的反應腔室的部分結構剖視圖；圖4是本實用新型具體實施方式
的氣體噴淋管與附塵板的側視結構剖視圖；圖5是本實用新型具體實施方式
的氣體噴淋管與附塵板的正視結構剖視圖。圖中1.附塵槽，2.特氣管道，3.氣體噴淋管，4.氣體噴淋小孔，5.附塵板，6.附塵孔，7.等離子石英管，8.銅導線，9.卡口。
具體實施方式以下通過具體實施方式
對本實用新型作進一步的描述。參照圖I、圖2、圖3、圖4和圖5，一種改進的太陽能電池片PECVD設備，包括有反應腔室、氣路控制系統及電控系統，所述反應腔室分別連接于氣路控制系統及電控系統，該反應腔室包括有附塵槽I及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道2及固定于所述附塵槽I上的設有氣體噴淋小孔4的氣體噴淋管3，該氣體噴淋小孔4均勻設于氣體噴淋管3上，該氣體噴淋管3與特氣管道2相連通，所述氣體噴淋管3上附有一可拆卸的附塵板5，該附塵板5可滑動的卡固于附塵槽I上，該附塵板5上設有與所述氣體噴淋管3上的氣體噴淋小孔4相對應的相同孔徑的附塵孔6，該附塵孔6與氣體噴淋管3上與其相對應的氣體噴淋小孔4相重合，該附塵板5與所述氣體噴淋管3采用金屬材料制成，該附塵板5與氣體噴淋管3之間的接觸面密合。所述附塵槽I上還設有等離子石英管7，該等離子石英管7中間穿設有銅導線8，該等離子石英管7通過設置于附塵槽I兩端的卡口 9固定于附塵槽I上。參照圖I、圖2、圖3、圖4和圖5，本實用新型的反應腔室用于在硅片表面沉積氮化娃薄膜，通過操作電控系統及氣路控制系統，使氨氣和娃燒從氣體噴淋小孔4噴出，在低氣壓下利用輝光放電使樣品升溫到預定的溫度，氨氣和硅烷就會進行一些化學反應，同時在等離子石英管7產生的等離子體作用下在樣品表面形成固態(tài)薄膜，在對樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4會附著于附塵板5的附塵孔6上，不會對氣體噴淋小孔4堵塞，需要清理時，可直接將附塵板5拆卸下來進行通孔，對特氣管道2及氣體噴淋管3無直接影響，這樣就降低了保養(yǎng)時通孔的難度，減少了保養(yǎng)所需的時間，可提高產量，且可節(jié)省因特氣管道2或氣體噴淋小孔4堵塞進行更換所耗費的資金，降低了成本。所述附塵板5與氣體噴淋管3之間的接觸面密合，可保持良好的密封性，當接觸面出現密封不好時，泄漏的地方就會附著上Si3N4,附著后也能保持良好的密封性。上述僅為本實用新型的一個具體實施方式
，但本實用新型的設計構思并不局限于此，凡利用此構思對本實用新型進行非實質性的改動，均應屬于侵犯本實用新型保護范圍的行為。
權利要求1.一種改進的太陽能電池片PECVD設備，包括有反應腔室，該反應腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通，其特征在于所述氣體噴淋管上附有一可拆卸的附塵板，該附塵板上設有與所述氣體噴淋管上的氣體噴淋小孔相對應的相同孔徑的附塵孔，該附塵孔與氣體噴淋管上與其相對應的氣體噴淋小孔相重合。
2.如權利要求I所述的一種改進的太陽能電池片PECVD設備，其特征在于所述氣體噴淋小孔均勻設于氣體噴淋管上。
3.如權利要求I所述的一種改進的太陽能電池片PECVD設備，其特征在于所述附塵板與所述氣體噴淋管采用金屬材料制成。
4.如權利要求I所述的一種改進的太陽能電池片PECVD設備，其特征在于所述附塵板與所述氣體噴淋管之間的接觸面密合。
5.如權利要求I所述的一種改進的太陽能電池片PECVD設備，其特征在于所述附塵板可滑動的卡固于附塵槽上。
專利摘要一種改進的太陽能電池片PECVD設備，包括有反應腔室，該反應腔室包括有附塵槽及供氣裝置，該供氣裝置包括有特氣管道及固定于所述附塵槽上的設有氣體噴淋小孔的氣體噴淋管，該氣體噴淋管與特氣管道相連通，所述氣體噴淋管上附有一可拆卸的附塵板，該附塵板上設有與所述氣體噴淋管上的氣體噴淋小孔相對應的相同孔徑的附塵孔，該附塵孔與氣體噴淋管上與其相對應的氣體噴淋小孔相重合。本實用新型可保證在對樣品表面沉積形成固態(tài)薄膜的過程中，Si3N4會附著于附塵板的附塵孔上，不會對氣體噴淋小孔堵塞，需要清理時，可直接將附塵板拆卸下來進行通孔，降低了通孔難度，減少了保養(yǎng)所需時間，可提高產量，降低成本，給企業(yè)帶來更好的經濟效益。
文檔編號H01L31/18GK202736889SQ201120382400
公開日2013年2月13日 申請日期2011年10月9日 優(yōu)先權日2011年10月9日
發(fā)明者林國春, 許新湖, 梁興芳 申請人:陽光大地(福建)新能源有限公司