一種太陽能電池片制備系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種太陽能電池片制備系統(tǒng)，由電池片制絨拋光裝置、清洗裝置、氧化裝置、擴散裝置、刻蝕裝置、PECVD裝置、金屬化裝置依次連接組成；所述電池片制絨拋光裝置包括依次連接的初步制絨槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、拋光槽、第三水槽、制絨槽和第四水槽，以及設(shè)于各槽上方用于托送硅片的下滾輪。本發(fā)明提供的太陽能電池片制備系統(tǒng)，拋光硅片背面獲得平坦的表面，而后只在正面制備出黑硅絨面結(jié)構(gòu)，降低硅片正面反射率的同時，提高背面反射率，減小復合面積，從而提升電池的電壓、電流和效率，有效提升黑硅電池電性能，并減少化學品的消耗。
【專利說明】一種太陽能電池片制備系統(tǒng)
[0001]
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及太陽能【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種正面黑硅制絨、反面拋光的太陽能電池片制備系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0003]黑硅傳統(tǒng)雙面制絨是在多晶硅片常規(guī)清洗制絨的基礎(chǔ)上繼續(xù)生長小絨面，表面會形成多層絨面及深坑結(jié)構(gòu)。經(jīng)過傳統(tǒng)黑硅濕法雙面刻蝕后，對電池背面負面影響大，致使背面形成很深且多層的納米結(jié)構(gòu)，這種不平坦結(jié)構(gòu)不僅會導致鋁背場與硅的結(jié)合不佳，較大的比表面積更會大大增加表面載流子復合中心數(shù)量，且導致減少了光線入射到背面后被反射再利用率，因此給背面鈍化效果及電流收集帶來了一定的負面影響，極大影響了電池的轉(zhuǎn)換效率。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]發(fā)明目的:針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供一種對硅片正面制備黑硅絨面結(jié)構(gòu)、對硅片背面拋光的太陽能電池片制備系統(tǒng)。
[0005]技術(shù)方案:一種太陽能電池片制備系統(tǒng)，由電池片制絨拋光裝置、清洗裝置、氧化裝置、擴散裝置、刻蝕裝置、PECVD裝置、金屬化裝置依次連接組成；所述電池片制絨拋光裝置包括依次連接的初步制絨槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、拋光槽、第三水槽、制絨槽和第四水槽，以及設(shè)于各槽上方用于托送硅片的下滾輪；
所述初步制絨槽用于盛放初步制絨溶液，其上方設(shè)有用于下壓硅片的上滾輪，在上滾輪和下滾輪的作用下，硅片從所述初步制絨溶液中穿過并進行初步制絨，去除損傷層；所述混酸清洗槽用于盛放清洗溶液，其上方設(shè)有用于下壓硅片的上滾輪，在上滾輪和下滾輪的作用下，硅片從所述清洗溶液中穿過并去除雜質(zhì)離子；
所述拋光槽用于盛放拋光溶液，其上方設(shè)有與該拋光槽連接的水刀，所述拋光溶液通過水刀噴灑在硅片上表面進行拋光，硅片下表面不接觸拋光溶液；
所述制絨槽用于盛放制絨溶液，硅片在所述制絨溶液液面上進行下表面制絨，硅片上表面不接觸制絨溶液。
[0006]所述初步制絨槽盛放的初步制絨溶液為HF和順03的混合溶液。
[0007]所述混酸清洗槽盛放的清洗溶液為HF和HCL的混合溶液。
[0008]所述拋光槽盛放的拋光溶液為KOH溶液或HF和HNO 3的溶混合液。
[0009]所述制絨槽盛放的制絨溶液為AgN03、H202和HF的混合溶液。
[0010]所述水槽上方設(shè)有連接到該水槽的水刀，便于水槽內(nèi)純水的循壞使用。
[0011]所述初步制絨槽、混酸清洗槽、拋光槽、制絨槽內(nèi)均設(shè)有濃度檢測裝置，用于檢測溶液中各組分的濃度值。
[0012]所述太陽能電池片制備系統(tǒng)還設(shè)有化學藥液添加盒，用于向溶液槽內(nèi)補充所需的溶液；
所述化學藥液添加盒包括初步制絨溶液添加盒、清洗溶液添加盒、拋光溶液添加盒、黑硅制絨溶液添加盒。
[0013]有益效果:本發(fā)明提供的太陽能電池片制備系統(tǒng)，拋光硅片背面獲得平坦的表面，而后只在正面制備出黑硅絨面結(jié)構(gòu)，降低硅片正面反射率的同時，提高背面反射率，減小復合面積，從而提升電池的電壓、電流和效率，有效提升黑硅電池電性能，并減少化學品的消耗。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明的太陽能電池片制備系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合具體實施例，進一步闡明本發(fā)明，應理解這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。
[0016]如圖1所示的太陽能電池片制備系統(tǒng)，由設(shè)備上料段1、初步制絨槽2、第一水槽3、混酸清洗槽4、第二水槽5、拋光槽6、第三水槽7、制絨槽8、第四水槽9、清洗裝置17、氧化裝置18、擴散裝置19、刻蝕裝置20、PECVD裝置21、金屬化裝置22依次連接構(gòu)成，其中設(shè)備上料段1、初步制絨槽2、第一水槽3、混酸清洗槽4、第二水槽5、拋光槽6、第三水槽7、制絨槽8、第四水槽9構(gòu)成電池片制絨拋光裝置；所述電池片制絨拋光裝置上方設(shè)有用于托送硅片的下滾輪10，由于初步制絨槽2和混酸清洗槽4中反應劇烈產(chǎn)生大量氣泡，使得硅片在槽內(nèi)到處飄動，因此在初步制絨槽2和混酸清洗槽4上方還設(shè)有用于下壓硅片的上滾輪11，所述上滾輪11位于下滾輪10的上方，硅片在上滾輪和下滾輪的作用下穿過溶液；所述拋光槽6和各水槽上方均設(shè)有連接到該槽的水刀12。
[0017]初步制絨槽2盛放的常規(guī)初步制絨溶液為HF和圓03的混合溶液；混酸清洗槽4盛放的常規(guī)清洗溶液為HF和HCL的混合溶液；拋光槽6盛放的常規(guī)拋光溶液為KOH溶液或HF和HNO 3的溶混合液；制絨槽8盛放的常規(guī)制絨溶液為AgNO 3、H202和HF的混合溶液；第一水槽3、第二水槽5、第三水槽和第四水槽9盛放的溶液為純水。其中拋光槽6為噴淋槽，只有水刀對硅片上表面噴淋拋光溶液，硅片下表面不接觸拋光溶液；其他所有水槽也為噴淋槽，通過上表面水刀噴淋結(jié)合下表面浸沒水中進行硅片清洗；初步制絨槽2和混酸清洗槽4為浸沒式槽，硅片完全浸沒于化學藥液中；制絨槽為只有硅片下表面接觸制絨溶液的水上漂模式槽。
[0018]本實施例提供的太陽能電池片制備系統(tǒng)設(shè)有化學藥液添加盒，包括初步制絨溶液添加盒13、清洗溶液添加盒14、拋光溶液添加盒15、制絨溶液添加盒16 ;所述太陽能電池片制備系統(tǒng)通過純水管道直接向第一水槽3、第二水槽5、第三水槽7和第四水槽9添加純水；通過初步制絨溶液添加盒13、清洗溶液添加盒14、拋光溶液添加盒15、制絨溶液添加盒16分別向初步制絨槽2、混酸清洗槽4、拋光槽6、制絨槽8補充所需溶液。所述初步制絨槽2、混酸清洗槽4、拋光槽6和制絨槽8內(nèi)還設(shè)有濃度檢測裝置，用于檢測溶液中各組分的濃度值。
[0019]原始硅片從入料口進入設(shè)備上料段1，進入2浸泡反應，進行初步制絨去除硅片損傷層后，進入第一水槽3清洗，再進入混酸清洗槽4浸泡反應，去除硅片雜質(zhì)離子后，進入第二水槽5清洗，硅片下表面不接觸拋光溶液，上表面經(jīng)過拋光槽6上方的水刀12噴灑拋光溶液進行上表面拋光后，進入第三水槽7清洗，再進入制絨槽8，硅片上表面不接觸制絨溶液，下表面在制絨溶液液面上進行黑硅制絨后，進入第四水槽9清洗，然后將片子放入清洗裝置20清洗，再進入氧化裝置21氧化，進入擴散裝置22進行擴散，進入刻蝕裝置23進行刻蝕，進入PECVD裝置24進行鍍膜，最后進入金屬化裝置25進行金屬化，即可制成電池片。
【權(quán)利要求】
1.一種太陽能電池片制備系統(tǒng)，由電池片制絨拋光裝置、清洗裝置、氧化裝置、擴散裝置、刻蝕裝置、裝置、金屬化裝置依次連接組成，其特征在于:所述電池片制絨拋光裝置包括依次連接的初步制絨槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、拋光槽、第三水槽、制絨槽和第四水槽，以及設(shè)于各槽上方用于托送硅片的下滾輪； 所述初步制絨槽用于盛放初步制絨溶液，其上方設(shè)有用于下壓硅片的上滾輪，在上滾輪和下滾輪的作用下，硅片從所述初步制絨溶液中穿過并進行初步制絨，去除損傷層； 所述混酸清洗槽用于盛放清洗溶液，其上方設(shè)有用于下壓硅片的上滾輪，在上滾輪和下滾輪的作用下，硅片從所述清洗溶液中穿過并去除雜質(zhì)離子； 所述拋光槽用于盛放拋光溶液，其上方設(shè)有與該拋光槽連接的水刀，所述拋光溶液通過水刀噴灑在硅片上表面進行拋光，硅片下表面不接觸拋光溶液； 所述制絨槽用于盛放制絨溶液，硅片在所述制絨溶液液面上進行下表面制絨，硅片上表面不接觸制絨溶液。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述初步制絨槽盛放的初步制絨溶液為冊和圓03的混合溶液。
3.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述混酸清洗槽盛放的清洗溶液為冊和的混合溶液。
4.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述拋光槽盛放的拋光溶液為1(0?溶液或冊和圓0 3的溶混合液。
5.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述制絨槽盛放的制絨溶液為仏勵3、％02和冊的混合溶液。
6.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述水槽上方設(shè)有連接到該水槽的水刀。
7.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述初步制絨槽、混酸清洗槽、拋光槽、制絨槽內(nèi)均設(shè)有濃度檢測裝置。
8.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述太陽能電池片制備系統(tǒng)還包括化學藥液添加盒。
9.如權(quán)利要求8所述的太陽能電池片制備系統(tǒng)，其特征在于:所述化學藥液添加盒包括初步制絨溶液添加盒、清洗溶液添加盒、拋光溶液添加盒、黑硅制絨溶液添加盒。
【文檔編號】H01L31/18GK104505438SQ201510003710
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2015年1月5日 優(yōu)先權(quán)日:2015年1月5日
【發(fā)明者】羅西佳, 蔣仙, 吳而義, 李華, 范瓊, 劉林華 申請人:無錫德鑫太陽能電力有限公司