專利名稱：一種轉移硅片的設備及使用方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種在操作轉移硅片時的工裝設備及使用方法，可用于幫助硅 片在生產過程中的轉移，特別適用于晶體硅太陽電池生產中，將多片疊層狀態(tài)的 硅片以單片的狀態(tài)轉移出來，有效降低轉移硅片過程中所帶來的硅片碎片率，是 一種生產太陽電池的過程中用來轉移硅片的工裝設備及相關的使用方法。
背景技術：
在目前太陽電池市場上，單晶、多晶硅太陽電池占據了 90%以上的市場份 額。這類太陽電池制作在被稱為硅片的單晶或多晶硅基板上。在太陽電池的生產 過程中，經常需要將多片疊層狀態(tài)的硅片以單片的狀態(tài)轉移出來，以單片的狀態(tài) 進入下一道工序進行加工。
圖1示出的是一種上述硅片轉移裝置的結構示意圖。該裝置由底板、硅片 轉移系統、硅片感應系統組成。
在實際生產操作過程中，操作人員手持可撿起硅片的工具(如鑷子或真空 吸筆)將硅片從多片疊層狀態(tài)分開為單片放置狀態(tài)。由于手工操作的不穩(wěn)定性， 在取、放硅片的操作中，容易造成硅片破碎。而且，隨著太陽電池生產所要求的 硅片面積不斷增大、硅片厚度不斷減小，直接以手工操作的方式將多片疊層狀態(tài) 的硅片分開將難以滿足大規(guī)模、高速生產太陽電池，同時保持低硅片破碎率的要 求。
在太陽電池生產過程中，獲得低硅片破碎率是獲得盈利的必要條件。
發(fā)明內容
為實現以上目的，本發(fā)明的技術方案是提供一種硅片轉移裝置，其特征
3在于，由硅片放置底座、硅片疊層或者是放置硅片的裝置(如花籃)等硅片疊裝 裝置、硅片存在信號發(fā)送器、硅片存在感應器件、硅片存在信號處理機構和底座 升降伺服機構組成，可上下移動的底座與托盤升降伺服機構連接，硅片傳輸裝置 與硅片升降機構相連接，硅片疊層設于底座上，硅片傳輸裝置與硅片感應器件相 連接，硅片感應器件置于硅片經硅片傳輸帶輸出后到達的位置。
由于硅片容易吸附在設備上，因此在硅片轉移出來之后的位置上設置氣孔， 通過氣流在硅片下面形成一定的支撐力，防止硅片吸附在設備上，方便硅片下一 歩的轉移。
在轉移過程中，為了控制硅片傳輸，本發(fā)明引入了硅片存在感應裝置，艮P， 硅片存在信號發(fā)送器、硅片存在感應器件、硅片存在信號處理機構。 本發(fā)明的優(yōu)點是能提高生產效率，減少硅片破碎。
圖l為本發(fā)明工作示意圖2為本發(fā)明裝置示意圖
圖3為本發(fā)明工作原理圖
具體，方式
本發(fā)明提供了一種在用圖1所示用來分開疊層狀態(tài)的硅片的工裝設備，該設 備由工作臺Ol、傳送帶02、硅片感應器03、氣孔04、滾軸05、升降機構06 組成。該裝置可避免手工操作失誤帶來的碎片，從而可降低生產成本、提高太陽 電池的在線生產效率。
本工裝的使用方法如下所述 硅片疊層放置在本裝置上如圖2所示。本發(fā)明工作示意圖如圖l所示。本 發(fā)明裝置的硅片升降機構06中間裝有滾軸05，通過滾軸05與傳送帶02的運動， 硅片從疊層中(區(qū)域A)轉移出來進入傳送帶02(區(qū)域B)上，沿著圖中箭頭指向 到達區(qū)域C，裝置中氣孔04有輕微的吹氣對硅片產生一定的支撐，使硅片不吸 附在設備上，此時操作人員手持可撿起硅片的工具(如鑷子或真空吸筆)將硅片從區(qū)域C取走，如圖1中區(qū)域D。此時硅片感應器03感應到底座上的硅片被取 走從而對升降機構06發(fā)出命令開始下一片硅片的傳輸，周而復始，硅片叢疊層 狀態(tài)轉移為單片的操作完成。所有原先在發(fā)明工裝上疊層狀態(tài)的硅片就以單片的 狀態(tài)轉移出去，操作完畢。
權利要求
1、 一種轉移硅片的設備以及方法，其特征在于，由工作臺01、傳送帶02、硅片感應器03、氣孔04、滾軸05、升降機構06組成。硅片放置底座、 硅片疊層、硅片存在信號發(fā)送器、硅片存在感應器件、硅片存在信號處 理機構和底座升降伺服機構構成該套裝置的整個系統，可上下移動的底 座與托盤升降伺服機構連接，硅片傳輸裝置與硅片升降機構相連接，硅 片疊層設于底座上，硅片傳輸裝置與硅片感應器件相連接，硅片感應器 件置于硅片經硅片傳輸帶輸出后到達的位置。
2、 放置在升降機構上的可以是硅片疊層也可以是放置硅片的裝置(如花籃) 等放置疊裝硅片的裝置。
全文摘要
本裝置主要用于硅片的轉移。其特征在于，硅片升降裝置以及與之相連接的硅片傳輸裝置將硅片疊層以單片狀態(tài)通過傳輸帶轉移出去，通過硅片存在感應器件感應硅片的存在并發(fā)出信號給硅片傳輸裝置，來實現硅片的轉移。并且通過在硅片轉移出來之后的位置上設置氣孔，通過氣流在硅片下面形成一定的支撐力，防止硅片吸附在設備上，方便硅片下一步的轉移。解決了手工轉移硅片帶來的不穩(wěn)定性問題。本發(fā)明優(yōu)點是能提高生產效率，降低碎片率。
文檔編號H01L21/67GK101312141SQ200710041178
公開日2008年11月26日 申請日期2007年5月24日 優(yōu)先權日2007年5月24日
發(fā)明者郭里輝 申請人:上海交大泰陽綠色能源有限公司