半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液及生產(chǎn)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種清洗液，尤其是一種可一次性去除半導(dǎo)體硅片固定膠及污染物的半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液及生產(chǎn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體硅片是由專業(yè)的切割設(shè)備和金剛砂切割液切割而得。切割過(guò)程中需要將硅錠用固定膠固定在托盤上，切割后，就需將此粘接在硅片上的固定膠徹底去除。在切割過(guò)程中機(jī)械設(shè)備潤(rùn)滑的油脂、金剛砂或工作液中的金屬離子以及硅片與空氣接觸后形成的氧化物層等均可對(duì)硅片造成不同程度的污染，亦應(yīng)在切割后去除，否則將會(huì)影響硅片的質(zhì)量。目前硅片廠家多選用乳酸的水溶液進(jìn)行脫膠，不僅用量大，而且脫膠效率低，既不能在清洗固定膠的同時(shí)將上述油污、粉塵、氧化物層和金屬雜質(zhì)等污染物一并去除，只能更換清洗劑，再次清洗去除其它污染物，耗費(fèi)工時(shí)，成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述技術(shù)問(wèn)題，提供一種可一次性去除半導(dǎo)體硅片固定膠及污染物的半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液及生產(chǎn)方法。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:一種半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液，其特征在于所用原料及質(zhì)量百分比如下:氨基三甲叉膦酸60?90%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽0.5?5%、氫氟酸1?10%、AE0-9 1?10%、乙二胺四乙酸鈉1?5%和純水余量。
[0005]所用原料及最佳質(zhì)量百分比如下:氨基三甲叉膦酸70%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽4%、氫氟酸5%、AE0-9 1%、乙二胺四乙酸鈉2%和純水18%。
[0006]—種上述半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液的生產(chǎn)方法，其特征在于按照如下步驟進(jìn)行:先將乙二胺四乙酸鈉充分溶解在定量的純水中，依次注入氨基三甲叉膦酸、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽和AE0-9，攪拌15分鐘后添加氫氟酸，再繼續(xù)攪拌30分鐘即可。
[0007]本發(fā)明原料來(lái)源廣泛，制備方法簡(jiǎn)單，所采用的氨基三甲叉膦酸，其磷氧官能團(tuán)對(duì)硅原子有更強(qiáng)的選擇性，因此對(duì)于硅片上的固定膠和粉塵具有優(yōu)異的清洗效果;磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽具有優(yōu)異的滲透性，可加速固定膠和粉塵的清除；乙二胺四乙酸鈉絡(luò)合金屬離子，氫氟酸清除氧化物層，AE0-9乳化油污，各組分協(xié)同作用，可一次性清洗去除硅片表面的固定膠、金屬雜質(zhì)、氧化物、粉塵及油污等各種污染物，大大提高生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
【具體實(shí)施方式】
[0008]實(shí)施例1:
所用原料及質(zhì)量百分比如下:氨基三甲叉膦酸70%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽4%、氫氟酸5%、AE0-9 (脂肪醇乙氧基化物)1 %、乙二胺四乙酸鈉2%和純水18%。
[0009]生產(chǎn)方法如下:先將計(jì)算量的乙二胺四乙酸鈉溶解在計(jì)算量的純水中，充分溶解；依次注入計(jì)算量的氨基三甲叉膦酸、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽和AE0-9，攪拌15分鐘，攪拌速度為200轉(zhuǎn)/分鐘;添加計(jì)算量的氫氟酸，充分?jǐn)嚢?0分鐘即可，攪拌速度為200轉(zhuǎn)/分鐘。
[0010]實(shí)施例2:
所用原料及質(zhì)量百分比如下:氨基三甲叉膦酸90%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽0.5%、氫氟酸1%、ΑΕ0-9 1%、乙二胺四乙酸鈉1%和純水余量。
[0011]生產(chǎn)方法同實(shí)施例1。
[0012]實(shí)施例3:
氨基三甲叉膦酸60%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽5%、氫氟酸10%、AE0-9 10%、乙二胺四乙酸鈉1%和純水余量。
[0013]實(shí)施例4:
氨基三甲叉膦酸60%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽0.5%、氫氟酸1%、ΑΕ0-9 1%、乙二胺四乙酸鈉5%和純水余量。
[0014]將本發(fā)明實(shí)施例1、實(shí)施例2、實(shí)施例3或?qū)嵤├?的原液，加水稀釋質(zhì)量濃度5?30%按照常規(guī)方法清洗，可一次性清洗去除硅片表面的固定膠、金屬雜質(zhì)、氧化物、粉塵及油污等各種污染物，之后用清水漂洗一次即可。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液，其特征在于所用原料及質(zhì)量百分比如下: 氨基三甲叉膦酸60?90%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽0.5?5%、氫氟酸1?10%、AE0-9 1?10%、乙二胺四乙酸鈉1~5%和純水余量。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液，其特征在于所用原料及質(zhì)量百分比如下:氨基三甲叉膦酸70%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽4%、氫氟酸5%、AEO-9 1%、乙二胺四乙酸鈉2%和純水18%。3.—種如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液的生產(chǎn)方法，其特征在于按照如下步驟進(jìn)行:先將乙二胺四乙酸鈉充分溶解在定量的純水中，依次注入氨基三甲叉膦酸、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽和AEO-9，攪拌15分鐘后添加氫氟酸，再繼續(xù)攪拌30分鐘即可。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種可一次性去除半導(dǎo)體硅片固定膠及污染物的半導(dǎo)體硅片脫膠清洗液，所用原料及質(zhì)量百分比如下：氨基三甲叉膦酸60~90%、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽0.5~5%、氫氟酸1~10%、AEO-9？1~10%、乙二胺四乙酸鈉1~5%和純水余量。生產(chǎn)方法是先將乙二胺四乙酸鈉充分溶解在定量的純水中，依次注入氨基三甲叉膦酸、磺化琥珀酸二辛酯鈉鹽和AEO-9，攪拌15分鐘后添加氫氟酸，再繼續(xù)攪拌30分鐘即可。大大提高生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】C11D3/60, C11D3/34, C11D3/36, C11D1/72, C11D3/30, C11D3/04
【公開號(hào)】CN105441200
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510878691
【發(fā)明人】楊同勇
【申請(qǐng)人】三達(dá)奧克化學(xué)股份有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請(qǐng)日】2015年12月4日