專利名稱：電子化學(xué)痕量檢測器的制作方法
電子化學(xué)痕量檢測器
本發(fā)明涉及環(huán)境中的痕量檢測，具體地說，涉及空氣中揮發(fā)性化 學(xué)物質(zhì)的痕量檢測。
在本領(lǐng)域中，使用昂貴的設(shè)備作為檢測儀器，由于需要設(shè)置如實(shí) 驗(yàn)室那樣的條件以獲得可靠的結(jié)果，這些儀器很龐大。現(xiàn)在有用作現(xiàn) 場檢測器的且尺寸規(guī)格更經(jīng)濟(jì)的檢測器，但其校準(zhǔn)技術(shù)價(jià)格昂貴，這 阻礙了這些產(chǎn)品的直接批量生產(chǎn)。因此，大部分應(yīng)用受到成本限制， 這些類型的檢測器不能方便地得到廣泛使用。
本領(lǐng)域有一種檢測傳感器使用微熱板技術(shù)，它是在微熱板上的半 導(dǎo)體傳感器，在熱板上會(huì)發(fā)生關(guān)于要檢測的痕量的化學(xué)反應(yīng)。具體而
言，這種MOS型檢測器利用某個(gè)加熱溫度下在傳感器表面發(fā)生氧化 還原反應(yīng)時(shí)傳感器的電阻變化。
但是，此類熱板技術(shù)對(duì)溫度變化極敏感，因此重要的是實(shí)現(xiàn)在預(yù) 定溫度下進(jìn)行痕量檢測。具體而言，加熱器的電阻是由溫度決定的， 這暗示需要進(jìn)行電流調(diào)整來實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的溫度。這可通過將熱電阻器平 衡到預(yù)定電阻器值的平衡電路來實(shí)現(xiàn)。
美國專利4847783公開了一種平衡電路，它包括用于將加熱元件 調(diào)準(zhǔn)到預(yù)定電阻器值的可調(diào)電阻器。其加熱元件采用具有預(yù)定電阻-溫度特性的鉑金電阻元件。但是，實(shí)際上，雖然鉑金電阻元件可示出 幾乎完美的線性溫度性能，但由于這些元件的偏差變化很大，因此， 實(shí)際溫度可因樣品不同而異。因此，通過將加熱元件預(yù)設(shè)為預(yù)定值， 實(shí)現(xiàn)可重復(fù)然而未知的精確溫度。
因此，對(duì)于不同傳感器，可在由加熱元件的不同偏置導(dǎo)致的變化 溫度感測到某個(gè)化學(xué)物質(zhì)，因而不同的傳感器可引起不同的檢測結(jié) 果。因此，要提供具有可重復(fù)結(jié)果的可靠傳感器，據(jù)此傳感器結(jié)果可
關(guān)聯(lián)到包括已識(shí)別化學(xué)成份或物質(zhì)足跡(footprint)的標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)庫， 溫度關(guān)系至關(guān)重要。但是，進(jìn)行單獨(dú)的校準(zhǔn)設(shè)置，在經(jīng)調(diào)整處理的溫 度和氣體環(huán)境下測試每個(gè)傳感器，是件4艮麻煩的事情。
一方面，最好提供可免除麻煩的單獨(dú)校準(zhǔn)動(dòng)作的傳感器。另一方 面，最好提供魯棒且穩(wěn)定的傳感器，傳感器提供可復(fù)制數(shù)據(jù)并可以較 低成本生產(chǎn)。
相應(yīng)地，提供了根據(jù)權(quán)利要求1的特征的傳感器。具體而言，在 上述類型的傳感器中，本發(fā)明提供用于測量加熱元件中耗散功率和用 于基于預(yù)定功率-溫度特性，根據(jù)加熱元件中耗散功率來計(jì)算實(shí)際溫度 的測試電路。相應(yīng)地，使用標(biāo)準(zhǔn)組件可得到與預(yù)設(shè)溫度小于1-1.5°C 的偏差。因此，可提供在中性條件下易于重設(shè)的低成本傳感器。這一 般可在工廠設(shè)置中完成，或者由在某些預(yù)處理氣體環(huán)境中需要重設(shè)傳 感器的用戶完成。這樣，在傳感器板上提供了一種自動(dòng)校準(zhǔn)工具，該 工具在置于中性環(huán)境中時(shí)可輕松地調(diào)準(zhǔn)可調(diào)電阻器以提供實(shí)際溫度。 從參照附圖的附加說明中，可明白其它特征和優(yōu)點(diǎn)。

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的氣體傳感器的典型布局； 圖2示出了暴露于濃度變化的多種成分或化學(xué)物質(zhì)的可加熱金屬 氧化物傳感器的響應(yīng)特征曲線；
圖3示出了三個(gè)熱板傳感器的測量電阻溫度圖； 圖4示出了本發(fā)明概念的優(yōu)選實(shí)施例；以及 圖5示出了與圖3中相同的加熱元件的功率-溫度關(guān)系。 轉(zhuǎn)到圖1,它示出了用于實(shí)現(xiàn)也稱為熱板傳感器2的可加熱傳導(dǎo) 板2的化學(xué)痕量檢測器1的典型布局。熱板傳感器2 —般采用金屬氧 化物傳感元件3,該元件對(duì)在與加熱元件4有緊鄰空間關(guān)系的傳感器 表面區(qū)域附近發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)敏感。此傳感元件3特別顯示傳導(dǎo)性的 變化，這取決于其暴露的表面區(qū)域5附近進(jìn)行反應(yīng)的化學(xué)痕量。各種 金屬氧化物傳感元件3已公知，包括(但不限于)添加或未添加催化 劑的氧化錫、氧化鋅、氧化鐵和氧化鵠傳感器，催化劑包括(但不限
于)柏和4巴。
熱板2由加熱元件4加熱，該元件最好固定在通過MEMS(微機(jī)電 系統(tǒng))技術(shù)生產(chǎn)的傳感元件3附近，從而確保傳導(dǎo)傳感元件3與加熱元 件4的同一溫度。加熱元件4具有低的熱質(zhì)量，且由處理器6控制， 以實(shí)現(xiàn)所述傳感元件3中穩(wěn)定的溫度。 一般情況下，如圖4進(jìn)一步所 示，這由形成為惠斯登電橋的平衡電路實(shí)現(xiàn)。
此外，傳感元件3連接到檢測電路7,該電路檢測與存在傳導(dǎo)板 時(shí)進(jìn)行反應(yīng)的化學(xué)痕量的存在相一致的傳感元件3中的電阻變化。與 處理器6設(shè)置的預(yù)設(shè)溫度有關(guān)的檢測電路7的輸出被存儲(chǔ)在檢測器的 內(nèi)部存儲(chǔ)元件8中，該元件可為任何類型的存儲(chǔ)器， 一般為閃存。
除其它值外，存儲(chǔ)元件8中可存儲(chǔ)檢測電路中的相對(duì)于多個(gè)預(yù)設(shè) 溫度的多個(gè)檢測阻值，以形成多個(gè)化學(xué)物質(zhì)9的足跡(footprint), 這些足跡通過將熱才反暴露到氣體流10而由熱板2感測到?；蛘撸?br> 熱板可遭受停滯空氣。
在所示的實(shí)施例中，要經(jīng)通信終端11發(fā)射到基站12的結(jié)果存儲(chǔ) 在存儲(chǔ)元件8中，基站包括用于存儲(chǔ)預(yù)定化學(xué)物質(zhì)足跡的數(shù)據(jù)庫。因 此，存儲(chǔ)的足跡可傳遞到包括數(shù)據(jù)庫13的基站12,以提供存儲(chǔ)元件 8中任何所述存儲(chǔ)足跡與已知化學(xué)物質(zhì)數(shù)據(jù)庫13中存儲(chǔ)的任何足跡的 最佳匹配14。這樣，特別檢測的化學(xué)物質(zhì)成分可經(jīng)公知的模式識(shí)別和 標(biāo)識(shí)軟件技術(shù)來識(shí)別。
雖然在此實(shí)施例中，感測到的化學(xué)成分的識(shí)別可在外部基站12 中聯(lián)機(jī)或脫機(jī)地完成，但該檢測器也可配備特定的匹配例程，該例程 可將檢測到的足跡與檢測器1板上一個(gè)或多個(gè)預(yù)定的化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行匹 配。這樣，可輕松地修改檢測器1以提供用于檢測特定預(yù)定化學(xué)物質(zhì) 的檢測器。在此實(shí)施例(未圖示)中，檢測器1因此另外包括用于比較 存儲(chǔ)的足跡與預(yù)定化學(xué)物質(zhì)的預(yù)存儲(chǔ)足跡集的比較電路，以確定特定 的^r測到化學(xué)物質(zhì)。
圖2示出了熱板2的不同導(dǎo)電率響應(yīng)，具體針對(duì)20和80ppm甲
苯濃度(分別為曲線15和16)及50和100 ppm醋酸丁酯濃度(分別為曲 線17和18)。此外，示出了空響應(yīng)19,示出了所檢測的相對(duì)于變化溫 度的傳導(dǎo)性。 一般的檢測溫度在200與600。C之間變化。通常可示出， 金屬氧化物傳感器對(duì)于不同的化學(xué)物質(zhì)在不同的溫度值產(chǎn)生峰傳導(dǎo) 值并在不同的峰值上。例如，甲苯的傳導(dǎo)性通常高于醋酸丁酯的傳導(dǎo) 性。但是，很明顯，在未知精確溫度設(shè)置的情況下，即使是在各種溫 度作了測試，在20 ppm曱苯與100 ppm醋酸丁酯之間的分辨力也很 差。因此，溫度的準(zhǔn)確設(shè)置對(duì)獲得可靠的測試結(jié)果至關(guān)重要。
一般情況下，金屬氧化物傳感器3對(duì)可氧還原物質(zhì)敏感。 一般情 況下，各種成分根據(jù)特定的溫度設(shè)置而顯示其最大傳導(dǎo)性。通過獲得 在各種溫度的檢測結(jié)果，可獲得多種化學(xué)物質(zhì)的足跡。此足跡可與如 參照?qǐng)D1所述存儲(chǔ)在數(shù)椐庫13中的已知純物質(zhì)或混合物的多個(gè)足跡 進(jìn)行比較。
圖3示出加熱元件4的測量電阻溫度圖。正如將參照?qǐng)D4進(jìn)一步 闡明的一樣，加熱元件4可在平衡電路中集成以將其電阻器值預(yù)設(shè)為 預(yù)定值。因此，平衡電路可提供加熱元件4的預(yù)設(shè)電阻器值，從而根 據(jù)圖3所示的電阻溫度曲線圖得到預(yù)定的溫度。
但是，圖3的曲線圖顯示熱板2的溫度相對(duì)于預(yù)設(shè)的電阻器值有 顯著變化。對(duì)于所示出的三個(gè)熱板Wl、 W2和W3，熱板W1和W2 是同一類型。這意味著加熱元件4的宏觀尺寸幾乎相同。不過，在室 溫下電阻僅變化1.5歐姆、預(yù)設(shè)電阻為160歐姆的情況下，加熱元件 有25。C的差別?？梢钥吹剑魶]有加熱元件4的單獨(dú)校準(zhǔn)而將加熱 元件4預(yù)設(shè)為固定電阻，則會(huì)產(chǎn)生不可接受的溫度擴(kuò)散，這影響了檢 測器的可靠性。
圖4示出了本發(fā)明概念的優(yōu)選實(shí)施例。具體而言，圖4示出處理 器6和具有用于將加熱元件4調(diào)節(jié)到預(yù)定電阻器值的可調(diào)電阻器21 的平纟纖電路20。
平衡電路20基本上包括惠斯頓電橋布置的固定電阻器R5、 R6、
R7、 R8，并組合了可加熱電阻器4(圖中示為RH)和作為可調(diào)電阻器 21(圖中示為U10)的可調(diào)數(shù)字電位器。數(shù)字電位器21具有很好的線性。 橋接電路20中的電阻由與數(shù)字電位器21并聯(lián)連接的電阻器R8確定。 此電阻器R8(以及其它固定電阻器R5、 R6和R7)具有很精確的阻值， 一般具有小于0.1%的誤差范圍。該電路通過控制跨船口熱元件4的電 壓的運(yùn)算放大器22(U11)而平衡。具體而言，放大器U11將控制放大 器+、-端子之間的電壓，使之不存在電壓差，即使得電橋平衡。在 電壓差較高時(shí)，通過加熱元件4(RH)的電流將增大。傳導(dǎo)增大電流的 加熱元件4將變熱并且電阻相應(yīng)地上升。因此，加熱元件4的預(yù)"&阻 值可得到控制，其中，加熱元件4的阻值已知可表達(dá)為R5、 R6、 R8 阻值的比率和由可調(diào)數(shù)字電位器(圖中示為U10)確定的R7的分?jǐn)?shù)。
另外，圖4示出了用于平衡電路20的測試電路23，用以測量加 熱元件4中的耗散功率，并基于下面參照?qǐng)D5進(jìn)一步闡明的預(yù)定功率 -溫度特性曲線根據(jù)加熱元件4中的耗散功率計(jì)算實(shí)際溫度。
在此實(shí)施例中，測試電路23包括直接連接到加熱元件4端子的一 對(duì)測試端子24(—個(gè)接地)。此設(shè)置成用來使用熟悉的公式V^/Rh奸算 電阻器中的功率耗散提供了一種可方便實(shí)現(xiàn)的電路21, vh是檢測到 的跨越加熱元件4的電壓差。另外，rh指示從平衡電路20得到的加 熱元件4的真實(shí)阻值。
在一實(shí)施例中，測試電路23包括為數(shù)字電位器21計(jì)算偏置值的 計(jì)算電路25。具體而言，測試電路23包括啟動(dòng)計(jì)算電路25的開關(guān) 26。在此實(shí)施例中，測試電路23測量預(yù)定的中性條件下的耗散功率。
在啟動(dòng)后，執(zhí)行校準(zhǔn)熱板化學(xué)痕量檢測器1的方法。具體而言， 使用測試電路23,通過調(diào)節(jié)可調(diào)電阻器21向熱板2提供預(yù)定的功率 電平。在放置時(shí)，傳感器置于中性環(huán)境中，預(yù)定的功率電平可通過使 用已知的加熱器板的功率-溫度特性而與設(shè)定溫度相關(guān)。因此，預(yù)定的 多個(gè)溫度的精確i殳定點(diǎn)可提供給加熱元件4的處理器6， >夂人而將可調(diào) 電阻器21的零位調(diào)到與設(shè)定溫度有關(guān)的預(yù)設(shè)值。
在另一實(shí)施例中，測試電路可連接到校準(zhǔn)電路，向處理器6提供 查閱表以計(jì)算預(yù)設(shè)電阻器值，從而向所述加熱元件提供預(yù)定實(shí)際溫 度。在此實(shí)施例中，如虛線27所示，檢測器1即具體而言的處理器6 例如在工廠設(shè)置中可^l妄到單獨(dú)的測試電路23上。在預(yù)定的中性條件 下，通過調(diào)節(jié)可調(diào)電阻器21，向加熱元件4提供了一系列預(yù)定功率設(shè) 置。相應(yīng)地，通過使用加熱器板的功率-溫度特性，提供了對(duì)這些功率 設(shè)置的一系列預(yù)定溫度。這樣，可提供用于設(shè)定溫度的一系列設(shè)定點(diǎn)， 形成用來提供預(yù)設(shè)電阻器值的到可調(diào)電阻器21的查閱表，從而向所 述加熱元件4提供預(yù)定的實(shí)際溫度。查閱表隨后在處理器6中集成， 具體而言在將可調(diào)電阻器設(shè)到預(yù)定溫度設(shè)置時(shí)要訪問的本地存儲(chǔ)器
中提供。
通過如上本文所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，可由測試電路23測量 加熱元件4的精確溫度，而不必依賴可能因樣品不同而異的加熱元件 的電阻-溫度特性。具體而言，可為加熱元件提供精確設(shè)定點(diǎn)。
因此，在使用此設(shè)定點(diǎn)時(shí)，可通過調(diào)節(jié)平衡電路中的電阻器而將 溫度設(shè)為實(shí)際已知的溫度。實(shí)現(xiàn)此溫度的功率量可與化學(xué)痕量的耗散 反應(yīng)能相關(guān)聯(lián)。實(shí)際上，計(jì)算電路25可設(shè)置成用來計(jì)算從測試端子 24測量的輸入功率和算出的輸入功率之差。例如通過使用在校準(zhǔn)后從 預(yù)設(shè)電阻器值21得到的已知實(shí)際溫度，并通過使用加熱元件4的功 率-溫度特性將它與加熱元件4中計(jì)算的功率相關(guān)，可提供此算出的輸 入功率。
這樣，其實(shí)可在感測元件3的測量傳導(dǎo)性之外提供表征化學(xué)物質(zhì) 的新方式。
在另一實(shí)施例中，使用了熱板2的動(dòng)態(tài)溫度調(diào)制。在此實(shí)施例中， 處理器6設(shè)置成用來向加熱元件4提供滑動(dòng)溫度。因此，通過向加熱 元件4提供預(yù)定的動(dòng)態(tài)溫度分布，并得到傳感元件3的感測傳導(dǎo)性， 可從傳感器收集更多的信息而提供到在數(shù)據(jù)庫13中實(shí)現(xiàn)的模式識(shí)別 軟件，該數(shù)據(jù)庫在此場合存儲(chǔ)在標(biāo)準(zhǔn)條件下測量的隨已知實(shí)際溫度和
溫度動(dòng)態(tài)而變化的預(yù)定化學(xué)物質(zhì)的傳導(dǎo)率圖。
圖5示出兩個(gè)宏觀上相同的熱板傳感器2的功率-溫度特性。所謂 "宏觀上相同"是指熱板2的通常相同的幾何結(jié)構(gòu)，也說是說，通常 相同的用于從加熱元件4和傳感元件3導(dǎo)熱的傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)。兩個(gè)加熱元 件Wl和W2的功率-溫度特性似乎基本相同，雖然加熱元件Wl示出 在22.3。C電阻為88.1歐姆，而加熱元件W2示出在22.1。C電阻為97.4 歐姆，差別超過10%。功率-溫度特性在標(biāo)準(zhǔn)條件下、清潔空氣中的室 溫度下是有效的。在非標(biāo)準(zhǔn)條件下，可測量實(shí)際溫度并用于重新計(jì)算 功率-溫度特性。這樣，可為數(shù)字電位器21的預(yù)定的多個(gè)設(shè)置R一得 到加熱元件4 TsensOT的溫度。這提供了可用線性遞歸轉(zhuǎn)換成函數(shù)的規(guī)線 (gauge line)。
Rpot = F(TSens0r) [1]
此式可在操作處理器6的軟件中實(shí)現(xiàn)，以使溫度可預(yù)設(shè)為可小于 3-5。C的偏離。
雖然本發(fā)明已用有限數(shù)量的實(shí)施例陳述，但本領(lǐng)域技術(shù)人員將理 解，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下可進(jìn)行其各種修改和修正。例如， 可通過更間接地耦合到加熱元件的測試電路23，例如測量圖4力文大器 Ull輸出電壓的端子，得到在加熱元件中的耗散功率。 一種備選或另 加的方式是，測試電路23無需使用平衡電路20，而是可利用數(shù)字電 位器21的預(yù)設(shè)值來直接測量加熱器的電阻。
本發(fā)明并不限于說明中所示的實(shí)施例的公開內(nèi)容，而是包含其變 化和修改，并且由隨附權(quán)利要求書及其等同物確定其范圍。
權(quán)利要求
1.一種熱板化學(xué)痕量檢測器，包括-可加熱傳導(dǎo)板，包含具有預(yù)定功率-溫度特性的加熱元件；-平衡電路，包含用于調(diào)準(zhǔn)所述加熱元件到預(yù)定電阻器值的可調(diào)電阻器；-處理器，用于調(diào)節(jié)所述可調(diào)電阻器，以在所述可加熱傳導(dǎo)板中提供穩(wěn)定的溫度；-檢測電路，用于檢測所述可加熱傳導(dǎo)板中的電阻變化，這與在所述傳導(dǎo)板存在時(shí)反應(yīng)的化學(xué)痕量的存在相一致；其特征在于設(shè)有-測試電路，用于測量所述加熱元件中的耗散功率，并用于基于所述預(yù)定的功率-溫度特性，根據(jù)所述加熱元件中的耗散功率計(jì)算實(shí)際溫度。
2. 如權(quán)利要求1所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，其中，所述測試電 路可連接到校準(zhǔn)電路，該電路用于向所述處理器提供查閱表以提供預(yù) 設(shè)電阻器值，從而向所述加熱元件提供預(yù)定實(shí)際溫度。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，其中，所述測 試電路耦合到處理器以算出所述化學(xué)痕量的耗氣良應(yīng)能量，即測量的
4. 如權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，其中，所述 處理器設(shè)置成用來向所述加熱元件提供滑動(dòng)溫度。
5. 如權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，其中，所述 測試電路包括直接連接到所述加熱元件端子的一對(duì)測試端子。
6. 如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，其中， 所述傳感器包括存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)至少多個(gè)與多個(gè)預(yù)設(shè)溫度相關(guān)的所 述檢測電路中檢測的阻值，以形成多個(gè)化學(xué)物質(zhì)的足跡。
7. 如權(quán)利要求6所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，其中，所述傳感器包括通信終端，用于將所存儲(chǔ)的足跡傳遞到存儲(chǔ)預(yù)定化學(xué)物質(zhì)的足跡 的數(shù)據(jù)庫，并用于形成所述足跡與任何所述存儲(chǔ)足跡的最佳匹配以確 定特別檢測的化學(xué)物質(zhì)。
8. 如權(quán)利要求6所述的熱板化學(xué)痕量檢測器，其中，所述傳感器 包括比豐支電路，用于將存儲(chǔ)的足跡與預(yù)定的一組預(yù)定化學(xué)物質(zhì)的預(yù)存 儲(chǔ)足跡進(jìn)行比較，以確定特別檢測的化學(xué)物質(zhì)。
9. 一種熱板化學(xué)痕量檢測器，其中，所述可加熱傳導(dǎo)板包含MOS 傳感器。
10. —種校準(zhǔn)熱板化學(xué)痕量檢測器的方法，所述檢測器包括可由 可調(diào)電阻器調(diào)準(zhǔn)的加熱器板，其中包括-將所述傳感器置于經(jīng)預(yù)調(diào)處理的中性環(huán)境中； -向所述加熱器板提供預(yù)定功率；-利用所述加熱器板的溫度-功率特征，使所述加熱器板中的所述 預(yù)定功率與設(shè)定溫度相關(guān)；以及-將所述可調(diào)電阻器的零位調(diào)到與所述設(shè)定溫度相關(guān)的預(yù)設(shè)值。
11. 如權(quán)利要求8所述的方法，其中，所述方法還包括利用所述 加熱器板的估計(jì)電阻-溫度特性來預(yù)設(shè)所述可調(diào)電阻器的預(yù)定阻值。
12. —種在熱板傳感器上識(shí)別化學(xué)物質(zhì)的方法，所述傳感器包括 加熱元件的可調(diào)節(jié)電阻，所述加熱元件具有預(yù)定的溫度-功率關(guān)系，包 括如下步驟-使用加熱元件的可調(diào)節(jié)電阻來給熱板預(yù)設(shè)一預(yù)定溫度； -測量所述加熱元件中的耗散功率；-使用所述預(yù)定的溫度-功率關(guān)系來將測量的耗散功率與估計(jì)功 率比較，并將測量的功率差與在所迷熱板上反應(yīng)的組合化學(xué)物質(zhì)的反 應(yīng)能相關(guān)聯(lián)；以及-基于所述測量功率差來識(shí)別所述化學(xué)物質(zhì)。
全文摘要
熱板化學(xué)痕量檢測器包括帶具有預(yù)定溫度-功率特征的加熱元件的可加熱傳導(dǎo)板。平衡電路包括用于調(diào)準(zhǔn)加熱元件到預(yù)定電阻器值的可調(diào)電阻器。處理器設(shè)置成用來調(diào)節(jié)可調(diào)電阻器，以在所述可加熱傳導(dǎo)板中提供穩(wěn)定的溫度，且檢測電路設(shè)置成用來檢測可加熱傳導(dǎo)板中的電阻變化，這與傳導(dǎo)板存在時(shí)反應(yīng)的化學(xué)痕量的存在相一致。根據(jù)本發(fā)明，測試電路設(shè)置成用來測量加熱元件中的耗散功率，并用于根據(jù)預(yù)定的溫度-功率特征由加熱元件中的耗散功率計(jì)算出實(shí)際溫度。
文檔編號(hào)G01N27/18GK101360991SQ200680051594
公開日2009年2月4日 申請(qǐng)日期2006年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月24日
發(fā)明者A·博斯 申請(qǐng)人:咨詢實(shí)施技術(shù)管理公司